周期极化反转结构的制造方法技术

减小相邻的周期极化反转结构的间隔，并且同时防止电极片部间的绝缘击穿、提高周期极化反转结构的生产率。在强介电性晶体基板(1)的第一主面(1a)上设置由多个电极片部构成的第一电极片部排列体(2A)。通过对第一电极片部排列体(2A)施加电压而形成第一周期极化反转结构(5A)。在相邻的多个所述第一周期极化反转结构(5A)之间设置由多个电极片部(3)构成的第二电极片部排列体(2B)。通过对第二电极片部排列体(2B)施加电压而形成第二周期极化反转结构(5B)。

Manufacturing method of periodic polarization reversal structure

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】周期极化反转结构的制造方法
本专利技术涉及基于电压施加法的周期极化反转结构的制造。
技术介绍
作为在强电介质非线性光学材料上形成周期状的极化反转结构的方法，已知有所谓的电压施加法。在该方法中，在强介电性晶体基板的一个主面形成梳形电极，在另一个主面形成均匀电极，在两者之间施加脉冲电压。为了在2次高次谐波产生装置中获得高转换效率，需要在强介电性晶体内形成较深的极化反转结构。在专利文献1中记载了使形成了梳形电极以及均匀电极的铌酸锂基板与另一铌酸锂基板层叠一体化，并浸渍于绝缘油内来施加电压。另外，在专利文献2、3所述的方法中，在铌酸锂的Z切割基板的表面设置绝缘膜，在绝缘膜上设置条纹状且细长的间隙，然后设置导电膜从而将绝缘膜以及间隙包覆。并且，对该导电膜施加脉冲电压，从而在基板上形成周期极化反转结构。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开2005-070192专利文献2:日本特开2014-153555专利文献3:日本专利第4642065
技术实现思路
>为了量产具有周期极本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种周期极化反转结构的制造方法，在具有第一主面和第二主面的强介电性晶体基板上制造周期极化反转结构，其特征在于，/n所述周期极化反转结构的制造方法具有以下工序:/n在所述强介电性晶体基板的所述第一主面上设置由多个电极片部构成的第一电极片部排列体的工序；/n通过对所述第一电极片部排列体施加电压而形成第一周期极化反转结构的工序；/n在相邻的多个所述第一周期极化反转结构之间设置由多个电极片部构成的第二电极片部排列体的工序；以及/n通过对所述第二电极片部排列体施加电压而形成第二周期极化反转结构的工序。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171010 JP 2017-1967391.一种周期极化反转结构的制造方法，在具有第一主面和第二主面的强介电性晶体基板上制造周期极化反转结构，其特征在于，
所述周期极化反转结构的制造方法具有以下工序:
在所述强介电性晶体基板的所述第一主面上设置由多个电极片部构成的第一电极片部排列体的工序；
通过对所述第一电极片部排列体施加电压而形成第一周期极化反转结构的工序；
在相邻的多个所述第一周期极化反转结构之间设置由多个电极片部构成的第二电极片...

【专利技术属性】
技术研发人员：服部良祐，山口省一郎，下方英嗣，
申请(专利权)人：日本碍子株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP