表面改性装置制造方法及图纸

从放电电极中直接排出气体，减少置换气体排放量的同时，还能够使气压分布均匀，以稳定地生成等离子体。放电室C内的放电电极E由多个电极构件8、9构成。并且，这些多个电极构件8、9夹持支撑构件4而相向配置，同时在这些多个电极构件8、9的相向部分形成有空隙，该空隙作为气体通道15向放电电极的前端开口。并且，从歧管3供给的置换气体经由节流孔供给到上述气体通道15中。

Surface modification device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】表面改性装置
本专利技术涉及一种通过电晕放电对处理基材表面进行表面处理的表面改性装置。
技术介绍
关于此种表面改性装置，对以树脂膜为处理基材的现有例进行说明。在电极室内，设置放电电极，与该放电电极相向设置作为相向电极的处理滚轴。并且，在电极室内，供给与表面改性的目对应的置换气体，将电极室内保持在置换气体环境下，同时对放电电极施加高频电压，以在放电电极与上述处理滚轴之间产生电场。通过向由此产生的电场供给置换气体，沿处理滚轴运送的树脂膜表面发生改性。并且，表面改性的精度因电极室内置换气体的浓度而异，因此，如果置换气体浓度不均，则在浓度较浓的位置与较稀薄的位置，其改性精度不同。而且，电极室的大小必须与通过处理滚轴运送的树脂膜尺寸相对应。因此，当树脂膜宽度达到10m的情况下，电极室也必须对应该树脂膜的宽度，则电极室的容积相当大。由此，在大容积电极室内，为将其中气体浓度固定在一定水平，必须加大置换气体供给量，相应地会降低生产率。于是，在专利文献1中公开一种方法，在放电电极与作为相向电极的处理滚轴之间本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种表面改性装置，其特征在于，具备：/n保持单元，其保持用于进行表面改性处理的处理基材；/n放电电极，其长度在所述处理基材的宽度方向上被保持；/n相向电极，其与所述放电电极相向，同时用于在其与所述放电电极之间产生电场；/n气体通道，其沿所述放电电极向所述处理基材方向引导置换气体，并且，向所述电场的生成区域喷出所述置换气体；/n歧管，其连接在气体供给源上，同时，其长度在所述放电电极的长度方向上被保持；/n节流孔，其设置在所述歧管与所述气体通道的连通进程中，同时，在所述歧管的长度方向上连续设置。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种表面改性装置，其特征在于，具备：
保持单元，其保持用于进行表面改性处理的处理基材；
放电电极，其长度在所述处理基材的宽度方向上被保持；
相向电极，其与所述放电电极相向，同时用于在其与所述放电电极之间产生电场；
气体通道，其沿所述放电电极向所述处理基材方向引导置换气体，并且，向所述电场的生成区域喷出所述置换气体；
歧管，其连接在气体供给源上，同时，其长度在所述放电电极的长度方向上被保持；
节流孔，其设置在所述歧管与所述气体通道的连通进程中，同时，在所述歧管的长度方向上连续设置。


2.根据权利要求1所述的表面改性装置，其特征在于，在所述放电电极的长度方向上设置一根所述歧管。


3.根据权利要求1所述的表面改性装置，其特征在于，具备多个所述歧管，该多个歧管在所述放电电极的长度方向上直线配置。


4.根据权利要求1所述的表面改性装置，其特征在于，所述歧管在所述放电电极的宽度方向上并列设置有多个。


5.根据权利要求1至4中任一项所述的表面改性装置，其特征在于，所述放电电极安装在所述歧管上，歧管构成放电电极的支撑结构。


6.根据权利要求1至5中任一项所述的表面改性装置，其特征在于，在所述歧管与所述气体通道连通进程中设置的所述节流孔，由在所述歧管长度方向上连续设置的多个小孔构成。


7.根据权利要求6所述的表面改性装置，其特征在于，在所述歧管与所述气体通道的连通进程中设置的所述节流孔，由在所述歧管上直接形成的多个小孔构成。


8.根据权利要求6所述的表面改性装置，其特征在于，在所述歧管与所述气体通道的连通进程中设置的所述节流孔，由在所述歧管上直接形成的1个或多个切口构成。


9.根据权利要求6所述的表面改性装置，其特征在于，在所述歧管与所述气体通道的连通进程中设置的所述节流孔，由歧管内设置的多孔质体的多个连续小孔构成。


10.根据权利要求6所述的表面改性装置，其特征在于，在所述歧管与所述气体通道的连通进程中设置的所述节流孔，形成于所述歧管与气体通道之间所设置的节流构件上。


11.根据权利要求10所述的表面改性装置，其特征在于，所述节流...

【专利技术属性】
技术研发人员：小木曾智，森下贵生，樱井行平，吉田纯也，杉村智，
申请(专利权)人：春日电机股份有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP