聚合物复合真空部件制造技术

本发明专利技术涉及聚合物复合真空部件。一种测量计具有由聚合物材料形成的壳体以及布置在壳体中的一个或者多个电馈通引脚。电馈通引脚可以大体相互垂直地取向并且具有复杂的形状。

Polymer composite vacuum parts

【技术实现步骤摘要】
聚合物复合真空部件本申请是申请日为2016年01月13日，申请号为201680005708.3(PCT/US2016/013219)，专利技术名称为“聚合物复合真空部件”的专利申请的分案申请。
本专利技术涉及聚合物复合真空部件。
技术介绍
对于工业与研究真空系统两者的操作而言，精确且可重复的压力测量是一项重要的需求。在这些应用中用于测量真空度的压力测量计传感器基于广泛的技术原理来操作并且在它们的设计中合用共同的基本构件，这些基本构件包括：(1)容纳压力传感元件的密封性外壳；(2)利用电子经由电压与测量信号桥接外壳壁并且交换电力的电馈通部；以及(3)允许测量计传感器密封性连接至真空系统口的凸缘。以往压力测量计传感器依赖于利用金属材料以及陶瓷绝缘体的完善设计与制造方法。传统的测量计构建材料是真空技术研究自然演进的结果并且满足对真空压力传感器期望的机械、电与高真空的兼容特性。公知电离真空测量计，并且电离真空测量计包括热阴极测量计与冷阴极测量计两者。冷阴极电离测量计具有位于抽真空的外壳中的一对电极(即，阳极销与阴极笼)，抽真空的外壳连接本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电离测量计，所述电离测量计包括：/na)圆柱形阴极笼；/nb)聚合物真空壳体，所述聚合物真空壳体围绕所述圆柱形阴极笼；/nc)圆柱形磁体，所述圆柱形磁体围绕所述聚合物真空壳体；以及/nd)阳极馈通引脚，所述阳极馈通引脚被布置为直接穿过所述聚合物真空壳体。/n

【技术特征摘要】
20150115 US 62/103,968;20150710 US 62/191,1401.一种电离测量计，所述电离测量计包括：
a)圆柱形阴极笼；
b)聚合物真空壳体，所述聚合物真空壳体围绕所述圆柱形阴极笼；
c)圆柱形磁体，所述圆柱形磁体围绕所述聚合物真空壳体；以及
d)阳极馈通引脚，所述阳极馈通引脚被布置为直接穿过所述聚合物真空壳体。


2.根据权利要求1所述的电离测量计，其中，所述聚合物真空壳体包括基部，所述基部封闭所述聚合物真空壳体的端部，并且其中所述阳极馈通引脚被布置为穿过所述基部。


3.根据权利要求1所述的电离测量计，该电离测量计还包括被布置为直接穿过所述聚合物真空壳体并且电联接到所述圆柱形阴极笼的阴极馈通引脚。


4.根据权利要求3所述的电离测量计，其中，所述阴极馈通引脚被布置为穿过所述聚合物真空壳体的侧面。


5.根据权利要求3所述的电离测量计，其中，所述阳极馈通引脚或阴极馈通引脚具有非线性部。


6.根据权利要求5所述的电离测量计，其中，所述非线性部被布置为穿过所述聚合物真空壳体的聚合物材料。


7.根据权利要求3所述的电离测量计，其中，所述阳极馈通引脚或阴极馈通引脚具有布置在所述聚合物真空壳体的聚合物内的螺纹部。


8.根据权利要求3所述的电离测量计，其中，所述阳极馈通引脚或阴极馈通引脚还利用O形环联接至所述聚合物真空壳体。


9.根据权利要求3所述的电离测量计，其中，所述阳极馈通引脚或阴极馈通引脚具有布置在所述聚合物真空壳体的聚合物内的延伸的盘部。


10.根据权利要求3所述的电离测量计，其中，通过利用嵌入在所述聚合物真空壳体内的导电的基体联接两个导体而形成所述阳极馈通引脚或阴极馈通引脚。


11.根据权利要求1所述的电离测量计，其中，所述聚合物真空壳体还包括被一体地模制至所述聚合物真空壳体的凸缘以将所述测量计联接至处理室。


12.根据权利要求1所述的电离测量计，所述电离测量计还包括布置在所述圆柱形阴极笼内的溅射护罩，所述溅射护罩与所述阳极馈通引脚同轴。


13.根据权利要求1所述的电离测量计，所述电离测量计还包括起动器，所述起动器电联接至所述阳极馈通引脚并且布置在所述圆柱形阴极笼内。


14.根据权利要求1所述的电离测量计，其中，所述圆柱形阴极笼的上部具有唇，所述唇从所述圆柱形阴极笼沿径向向外延伸到所述聚合物真空壳体中。


15.根据权利要求1所述的电离测量计，所述电离测量计还包括联接至所述圆柱形阴极笼的上部的铁磁屏。


16.根据权利要求1所述的电离测量计，其中，所述聚合物壳体包括凸缘以将所述电离测量计联接至室。


17.根据权利要求1所述的电离测量计，所述电离测量计还包括绕所述阳极馈通引脚布置的、位于所述聚合物真空壳体内并且位于所述圆柱形阴极笼的基部下方的O形环。


18.根据权利要求1所述的电离测量计，所述电离测量计还包括印刷电路板，其中，所述阳极馈通引脚被布置为穿过所述印刷电路板并且所述聚合物真空壳体机械地联接至所述印刷电路板。


19.根据权利要求1所述的电离测量计，其中，所述聚合物真空壳体由聚醚醚酮(PEEK)、聚丙烯或者聚碳酸酯形成。


20.根据权利要求1所述的电离测量计，其中，所述聚合物真空壳体由具有小于5×10-6TorrLs-1cm-2的释气率的聚合物形成。


21.根据权利要求1所述的电离测量计，其中，所述聚合物真空壳体由不吸湿的聚合物形成。


22.根据权利要求18所述的电离测量计，所述电离测量计还包括外壳，所述外壳至少部分地围绕所述聚合物真空壳体与所述印刷电路板。


23.根据权利要求22所述的电离测量计，其中，所述外壳由聚合物形成。


24.根据权利要求22所述的电离测量计，所述电离测量计...

【专利技术属性】
技术研发人员：B·J·凯利，C·L·珀西，S·C·海因布赫，G·A·布鲁克，T·C·斯文尼，T·R·皮万卡科尔，
申请(专利权)人：万机仪器公司，
类型：发明
国别省市：美国;US