复合过滤器制造技术

复合过滤器包括：外壳，其包括第一外壳、第二外壳，所述第一外壳形成有供流体导入的流体导入部，所述第二外壳结合于所述第一外壳而形成收纳空间，形成有供经过滤的所述流体排出的流体排出部；第一过滤器单元，其结合于所述第一外壳，对穿过所述流体导入部的所述流体的压力进行减压，使所述流体扩散，并对所述流体进行第一次过滤；及第二过滤器单元，其在所述收纳空间内，结合于所述第二外壳，在所述流体穿过所述流体排出部之前，对所述流体进行第二次过滤。

Composite filter

【技术实现步骤摘要】
复合过滤器
本专利技术涉及复合过滤器，特别是本专利技术涉及一种在具有能够用于半导体工序用制造设备的优秀过滤性能的同时，还防止因过滤前流体的压力及过滤后流体的压力差异导致的过滤器破损的复合过滤器。
技术介绍
一般而言，半导体元件通过在硅晶片上形成诸如有机膜、绝缘膜及金属膜的多样薄膜的薄膜形成工序、对薄膜进行图案化的薄膜图案化工序、向晶片流入离子的离子注入工序等复杂的制造工序及精密的制造装备而制造。为了制造半导体元件，需要有非常清洁的环境及高纯度工艺气体，这是因为当在工艺气体中含有颗粒时，颗粒成为极大降低半导体元件收率的原因。由于这种理由，在制造半导体元件的洁净室、配置于洁净室内部并制造半导体元件的多样工序设备中，大部分加装有对诸如颗粒的异物质进行过滤的高性能过滤器。作为半导体工序用过滤器，可以列举韩国授权专利第10-0900091号高清洁生产线用金属滤清元件及具备其的过滤器(授权日:2009.05.22)。所述高清洁生产线用金属滤清元件及具备其的过滤器具有的技术特征是，包括：一端，其具有堵塞的形态，是供流体流入的流入口部分；另一端，其具有打通的形态，是流入的流体中包含的浮游物质被过滤并流出的流出口部分；由具有不规则形状的粉末构成。所述半导体工序用过滤器在流入流入口并流入金属滤清元件的流体的压力及穿过金属滤清元件而排出到流出口的流体的压力之间存在压力偏差(或压力损失)。当该压力偏差为既定大小以上或发生急剧的压力偏差时，脆性弱的金属滤清元件急剧破损，会发生从破损的金属滤清元件发生的无数颗粒直接流入工序设备或洁净室内部的致命问题。【现有技术文献】【专利文献】(专利文献1)韩国授权专利第10-0900091号，高清洁生产线用金属滤清元件及具备其的过滤器(授权日：2009年05月22日)
技术实现思路
【本专利技术要解决的技术问题】本专利技术提供一种在满足符合半导体制造工序的高过滤性能的同时，防止因过滤导致的压力偏差或压力损失所引起的过滤器构件破损的复合过滤器。【技术方案】作为一个实施例，复合过滤器包括：外壳，其包括第一外壳、第二外壳，所述第一外壳形成有供流体导入的流体导入部，所述第二外壳结合于所述第一外壳而形成收纳空间，形成有供经过滤的所述流体排出的流体排出部；第一过滤器单元，其结合于所述第一外壳，对穿过所述流体导入部的所述流体的压力进行减压，使所述流体扩散，并对所述流体进行第一次过滤；及第二过滤器单元，其在所述收纳空间内，结合于所述第二外壳，在所述流体穿过所述流体排出部之前，对所述流体进行第二次过滤。一种复合过滤器，在所述收纳空间内相互相向地配置的所述第一过滤器单元及所述第二过滤器单元相互隔开配置。复合过滤器的所述第一过滤器单元以第一尺寸形成，所述第二过滤器单元以大于所述第一尺寸的第二尺寸形成。复合过滤器的所述第一过滤器单元以半圆柱形状及半球形状中某一种形状形成。复合过滤器的所述第一过滤器单元具有第一空隙率，所述第二过滤器单元以大于所述第一空隙率的第二空隙率形成。复合过滤器的所述第二空隙率为50％至80％。复合过滤器的所述第一过滤器单元具有第一硬度，所述第二过滤器单元具有所述第一硬度以下的第二硬度。在复合过滤器的所述第一外壳上形成有第一交换部，在所述第二外壳上形成有能拆卸地与所述第一交换部结合的第二交换部。复合过滤器的所述第二过滤器单元包括：烧结过滤器部，其在内部形成空间，烧结金属粉末而形成；及未烧结过滤器部，其包括填充于所述烧结过滤器部的所述空间的未烧结粉末。【有益效果】本专利技术的复合过滤器具有的效果是，在满足符合导体制造工序的高过滤性能的同时，能够防止因过滤导致的压力偏差或压力损失所引起的过滤器构件破损。附图说明图1是本专利技术一个实施例的复合过滤器的剖面图。图2是图1的“A”部分放大图。图3及图4是图示本专利技术一个实施例的第一过滤器单元的多样形态的剖面图。图5是本专利技术一个实施例的第一过滤器单元的“B”部分放大图。图6是本专利技术一个实施例的第二过滤器单元的“C”部分放大图。图7是本专利技术另一实施例的复合过滤器的剖面图。附图标记500...复合过滤器100...外壳200...第一过滤器单元300...第二过滤器单元具体实施方式下面说明的本专利技术可以施加多样的变换，可以拥有各种实施形态，在附图中示例性地图示特定实施例并在详细说明中进行详细说明。但是，这并非要把本专利技术限定于特定的实施形态，应理解为包括本专利技术的思想及技术范围内包含的所有变换、均等物以及替代物。在说明本专利技术方面，当判断认为对相关公知技术的具体说明可能混淆本专利技术要旨时，省略该详细说明。在本申请中使用的术语只是为了说明特定实施例而使用，并非要限定本专利技术之意。只要在文理上未明白地表示不同，单数的表现包括复数的表现。在本申请中，“包括”或“具有”等术语是要指定在说明书上记载的特征、数字、步骤、动作、构成要素、部件或它们的组合的存在，应理解为不预先排除一个或其以上的其它特征或数字、步骤、动作、构成要素、部件或它们的组合的存在或附加可能性。另外，第一、第二等术语可以用于区分、说明多样的构成要素，但所述构成要素不得由所述术语限定。所述术语只用于把一个构成要素区别于其它构成要素的目的。图1是本专利技术一个实施例的复合过滤器的剖面图。如果参照图1，复合过滤器500包括外壳100、第一过滤器单元200及第二过滤器单元300。外壳100发挥收纳及固定第一过滤器单元200及第二过滤器单元300的作用。外壳100例如可以由耐腐蚀性优秀、不发生颗粒的合成树脂材质或耐腐蚀性金属制作。在本专利技术的一个实施例中，外壳100包括第一外壳110及第二外壳120。第一外壳110可以形成有供将过滤的流体导入的流体导入部115，第一外壳110例如可以以在一侧形成有流体导入部115的板状形成。第二外壳120以筒状形成，第二外壳120结合于第一外壳110。随着第二外壳120结合于第一外壳110，在第一及第二外壳110、120之间形成有收纳空间125。在收纳空间125收纳后述的第一及第二过滤器单元200、300。在第二外壳120上，形成有供穿过第二过滤器单元300的流体排出的流体排出口125。图2是图1的“A”部分放大图。如果参照图1及图2，在第一外壳110及第二外壳120相互接触的部分，形成有可以相互结合或分离第一外壳110及第二外壳120的交换部129。在本专利技术的一个实施例中，交换部129包括第一交换部117及第二交换部127。在第一外壳110上形成第一交换部117，在第二外壳120上形成第二交换部127。例如，第一交换部117可以包括阴螺纹部，第二交换部127可以包括与阴螺纹部连结的阳螺纹部。在本专利技术的一个实施例中，可以利用在第一外壳1本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种复合过滤器，其特征在于，包括：/n外壳，其包括第一外壳、第二外壳，所述第一外壳形成有供流体导入的流体导入部，所述第二外壳结合于所述第一外壳而形成收纳空间，形成有供经过滤的所述流体排出的流体排出部；/n第一过滤器单元，其结合于所述第一外壳，对穿过所述流体导入部的所述流体的压力进行减压，使所述流体扩散，并对所述流体进行第一次过滤；及/n第二过滤器单元，其在所述收纳空间内，结合于所述第二外壳，在所述流体穿过所述流体排出部之前，对所述流体进行第二次过滤。/n

【技术特征摘要】
1.一种复合过滤器，其特征在于，包括：
外壳，其包括第一外壳、第二外壳，所述第一外壳形成有供流体导入的流体导入部，所述第二外壳结合于所述第一外壳而形成收纳空间，形成有供经过滤的所述流体排出的流体排出部；
第一过滤器单元，其结合于所述第一外壳，对穿过所述流体导入部的所述流体的压力进行减压，使所述流体扩散，并对所述流体进行第一次过滤；及
第二过滤器单元，其在所述收纳空间内，结合于所述第二外壳，在所述流体穿过所述流体排出部之前，对所述流体进行第二次过滤。


2.根据权利要求1所述的复合过滤器，其特征在于，
在所述收纳空间内相互相向地配置的所述第一过滤器单元及所述第二过滤器单元相互隔开配置。


3.根据权利要求1所述的复合过滤器，其特征在于，
所述第一过滤器单元以第一尺寸形成，所述第二过滤器单元以大于所述第一尺寸的第二尺寸形成。


4.根据权利要求1所述的复合过滤器，其特征在于，
所述第一过...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳明镐，
申请(专利权)人：株式会社UNILOK，
类型：发明
国别省市：韩国;KR