【技术实现步骤摘要】
用于刻蚀机的高速旋转磁流体传动装置
本专利技术涉及磁流体密封
，尤其是一种用于刻蚀机的高速旋转磁流体传动装置。
技术介绍
磁流体密封技术由于其结构和性能上的优越性，在刻蚀机上得到了广泛应用；中国专利公开号为CN102864437A的专利技术专利，公开了一种用于MOCVD设备的旋转装置，其旋转主轴通过磁流体密封装置与马达连接；传统的磁流体密封装置只是一个带转轴的旋转密封装置，置于旋转密封装置外的驱动电机通过传动构件与转轴的一端连接，用于刻蚀机时，刻蚀机需要另设抽真空通道，存在磁流体密封装置的转轴旋转精度较低，占用刻蚀机空间较大，结构不够紧凑的不足，因此设计一种磁流体密封装置的转轴旋转精度较高，占用刻蚀机空间较小，结构紧凑的用于刻蚀机的高速旋转磁流体传动装置，成为亟待解决的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的是为了克服目前的磁流体密封装置，用于刻蚀机时，刻蚀机需要另设抽真空通道，存在磁流体密封装置的转轴旋转精度较低，占用刻蚀机空间较大，结构不够紧凑的不足，提供一种磁流体密封装置的转轴旋转精度较高，占用...
【技术保护点】
1.一种用于刻蚀机的高速旋转磁流体传动装置，包括：转轴，其特征是，所述的用于刻蚀机的高速旋转磁流体传动装置还包括：与转轴枢接的下壳体，与下壳体连接且与转轴枢接的上壳体，两个一一对应设于下壳体内侧围和上壳体内侧围的磁极腔，两个设有永磁体且一一对应装于两个磁极腔中的磁极片，两个一一对应设于转轴外侧围与两个磁极片之间的磁流体，设于上壳体下端的电机腔，套在转轴外且与电机腔顶面连接的电机隔环，设于电机腔中的无框力矩电机；无框力矩电机的转子与转轴连接，无框力矩电机的定子与电机隔环下端连接；转轴中设有抽真空通道。/n
【技术特征摘要】
1.一种用于刻蚀机的高速旋转磁流体传动装置，包括：转轴，其特征是，所述的用于刻蚀机的高速旋转磁流体传动装置还包括：与转轴枢接的下壳体，与下壳体连接且与转轴枢接的上壳体，两个一一对应设于下壳体内侧围和上壳体内侧围的磁极腔，两个设有永磁体且一一对应装于两个磁极腔中的磁极片，两个一一对应设于转轴外侧围与两个磁极片之间的磁流体，设于上壳体下端的电机腔，套在转轴外且与电机腔顶面连接的电机隔环，设于电机腔中的无框力矩电机；无框力矩电机的转子与转轴连接，无框力矩电机的定子与电机隔环下端连接；转轴中设有抽真空通道。
2.根据权利要求1所述的用于刻蚀机的高速旋转磁流体传动装置，其特征是，所述的转轴设有：中孔，同轴设置于中孔中的内轴，分别与下壳体下端和内轴下端螺接的固定圈；转轴下端与固定圈上端之间具有通气间隙；固定圈设有与通气间隙连接的通气道，通气道设有真空接头；内轴上端设有外径小于中孔直径的挡环；内轴外侧围与中孔侧围之间的空隙、通气间隙、通气道、真空接头构成抽真空通道抽真空通道。
3.根据权利要求2所述的用...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘黎明，周永君，张瀛，张楚楠，
申请(专利权)人：杭州慧翔电液技术开发有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江;33
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