一种高湿度N2产生器制造技术

本发明专利技术公开了一种高湿度N2产生器，包括水腔、气液汇流器、雾化腔、雾气导出器；水腔内安装有进水管，且进水管上安装有液位传感器用于水位低位进水补给警示；气液汇流器的顶部设有雾化帽，雾化帽位于雾化腔内，气液汇流器的底部设有若干与水腔相连通的进液孔和回流孔，气液汇流器的侧面设有溢流口和氮气入口；雾气导出器设有导出管，导出管的上端为湿氮出口，导出管的下端伸入至雾化腔内部，且导出管下端的侧面开设有数个与雾化腔相连通的孔道。本发明专利技术设计合理，结构简单，操作方便，可以提供高湿度的氮气，并有效控制氮气湿度，满足使用需要，稳定性高，有效保证装置的稳定度及耐久性，在水腔内的水不够时，能够自动控制进水，在过水时能够自动溢出做警示，具有推广价值。

【技术实现步骤摘要】
一种高湿度N2产生器
本专利技术属于加湿装置
，具体涉及一种高湿度N2产生器。
技术介绍
微电子行业带颗粒(abrasives)的化学品(研磨液，喷砂液，切割液，抛光液等等)，为免使用中沉降液面时在容器侧边因液体稀薄，同时因为一般防止污染会用氮气做氮封,且氮气一般都是99.99％干燥的；为防沉降液体面在容器表面析出颗粒(abrasives)/研磨砥粒，这些颗粒大部份在10-2000nm范围内，因为VanDerWarr力周边电位改变，会使得这些干燥颗粒聚集，等再落下到液面内时，会形成大颗粒沉积，这会改变这液体本来的颗粒分布，甚至会造成研磨/抛光(lapping,polishing)的刮痕，缺失，及研磨率不均匀。同时，氮气加湿器又必须控制湿度，也不允许氮气湿气沉淀到液体内稀释液体，造成化学品的浓度变化。必须是微细雾状的微粒喷出(1μm内)，RH(相对湿度)要求在95～99％RH高度湿气范围，现有的氮气加湿装置具有局限性，无法满足使用需要。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种高湿度N2产生器，以解决上述
技术介绍
中所提出的问题。为实现上述目的，本专利技术提供以下技术方案：一种高湿度N2产生器，其结构要点在于：包括：水腔，水腔内安装有进水管，且进水管上安装有液位传感器；气液汇流器，气液汇流器设于水腔的上方，且水腔和气液汇流器之间通过螺纹结构可拆卸连接，气液汇流器的顶部设有雾化帽，且雾化帽设有雾化细孔，气液汇流器的底部设有与水腔相连通的回流孔，气液汇流器的侧面设有溢流口和氮气入口；雾化腔，雾化腔设于气液汇流器上方，且气液汇流器和雾化腔之间通过螺纹结构可拆卸连接，雾化帽位于雾化腔内部；雾气导出器，雾气导出器设于雾化腔上方，且雾化腔和雾气导出器之间通过螺纹结构可拆卸连接，雾气导出器设有导出管，导出管的上端为湿氮出口，导出管的下端伸入至雾化腔内部，且导出管下端的侧面开设有数个与雾化腔相连通的孔道。作为优选的，水腔和气液汇流器的连接处设有密封圈。作为优选的，气液汇流器和雾化腔的连接处设有密封圈。作为优选的，雾化腔和雾气导出器的连接处设有密封圈。作为优选的，雾化细孔的内直径为0.5～3.0mm。与现有技术相比，本专利技术设计合理，结构简单，操作方便，可以提供高湿度的氮气，并有效控制氮气湿度，满足使用需要，稳定性高，有效保证装置的稳定度及耐久性，在水腔内的水不够时，能够自动控制进水，在过水时能够自动溢出做警示，具有推广价值。附图说明图1为本专利技术的分解结构示意图；图2为本专利技术的整体内部结构示意图；图中：1-水腔，2-进水管，3-液位传感器，4-气液汇流器，5-雾化帽，6-回流孔，7-溢流口，8-氮气入口，9-雾化腔，10-雾气导出器，11-导出管，12-湿氮出口，13-孔道，14-密封圈，15-雾化细孔。具体实施方式为使本专利技术实施方式的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本专利技术实施方式中的附图，对本专利技术实施方式中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施方式是本专利技术一部分实施方式，而不是全部的实施方式。基于本专利技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本专利技术保护的范围。因此，以下对在附图中提供的本专利技术的实施方式的详细描述并非旨在限制要求保护的本专利技术的范围，而是仅仅表示本专利技术的选定实施方式。基于本专利技术中的实施方式，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施方式，都属于本专利技术保护的范围。在本专利技术的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”、“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的设备或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括一个或者更多个该特征。在本专利技术的描述中，“多个”的含义是两个或两个以上，除非另有明确具体的限定。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本专利技术中的具体含义。在本专利技术中，除非另有明确的规定和限定，第一特征在第二特征之“上”或之“下”可以包括第一和第二特征直接接触，也可以包括第一和第二特征不是直接接触而是通过它们之间的另外的特征接触。而且，第一特征在第二特征“之上”、“上方”和“上面”包括第一特征在第二特征正上方和斜上方，或仅仅表示第一特征水平高度高于第二特征。第一特征在第二特征“之下”、“下方”和“下面”包括第一特征在第二特征正下方和斜下方，或仅仅表示第一特征水平高度小于第二特征。在本专利技术的描述中，需要说明的是，术语“上”、“下”、“左”、“右”、“内”、“外”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本专利技术和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本专利技术的限制。请参阅图1-2，本专利技术提供一种技术方案，一种高湿度N2产生器，包括：水腔1，所述的水腔1内安装有进水管2，且进水管2上安装有液位传感器3；气液汇流器4，所述的气液汇流器4设于水腔1的上方，且水腔1和气液汇流器4之间通过螺纹结构可拆卸连接，所述的气液汇流器4的顶部设有雾化帽5，且雾化帽5设有雾化细孔15，所述的气液汇流器4的底部设有与水腔1相连通的回流孔6，所述的气液汇流器4的侧面设有溢流口7和氮气入口8；雾化腔9，所述的雾化腔9设于气液汇流器4上方，且气液汇流器4和雾化腔9之间通过螺纹结构可拆卸连接，所述的雾化帽5设于雾化腔9内部；雾气导出器10，所述的雾气导出器10设于雾化腔9上方，且雾化腔9和雾气导出器10之间通过螺纹结构可拆卸连接，所述的雾气导出器10设有导出管11，所述的导出管11的上端为湿氮出口12，所述的导出管11的下端伸入至雾化腔9内部，且导出管11下端的侧面开设有数个与导出管11相连通的孔道13。其中，在本实施例中，所述的水腔1和气液汇流器4的连接处设有密封圈14。其中，在本实施例中，所述的气液汇流器4和雾化腔9的连接处设有密封圈14。其中，在本实施例中，所述的雾化腔9和雾气导出器10的连接处设有密封圈14。其中，在本实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高湿度N2产生器，其特征在于：包括：/n水腔，所述的水腔内安装有进水管，且进水管上安装有液位传感器用于水位低位进水补给警示；/n气液汇流器，所述的气液汇流器设于水腔的上方，且水腔和气液汇流器之间通过螺纹结构可拆卸连接，所述的气液汇流器的顶部设有雾化帽，且雾化帽设有雾化细孔，所述的气液汇流器的底部设有与水腔相连通的进液口和回流孔，所述的气液汇流器的侧面设有溢流口和氮气入口；/n雾化腔，所述的雾化腔设于气液汇流器上方，且气液汇流器和雾化腔之间通过螺纹结构可拆卸连接，所述的雾化帽位于雾化腔内部；/n雾气导出器，所述的雾气导出器设于雾化腔上方，且雾化腔和雾气导出器之间通过螺纹结构可拆卸连接，所述的雾气导出器设有导出管，所述的导出管的上端为湿氮出口，所述的导出管的下端伸入至雾化腔内部，且导出管下端的侧面开设有数个与雾化腔相连通的孔道。/n

【技术特征摘要】
1.一种高湿度N2产生器，其特征在于：包括：
水腔，所述的水腔内安装有进水管，且进水管上安装有液位传感器用于水位低位进水补给警示；
气液汇流器，所述的气液汇流器设于水腔的上方，且水腔和气液汇流器之间通过螺纹结构可拆卸连接，所述的气液汇流器的顶部设有雾化帽，且雾化帽设有雾化细孔，所述的气液汇流器的底部设有与水腔相连通的进液口和回流孔，所述的气液汇流器的侧面设有溢流口和氮气入口；
雾化腔，所述的雾化腔设于气液汇流器上方，且气液汇流器和雾化腔之间通过螺纹结构可拆卸连接，所述的雾化帽位于雾化腔内部；
雾气导出器，所述的雾气导出器设于雾化腔上方，且雾化腔和雾气导出器之间通过螺纹结构可拆卸连接，所述的雾气导出器...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑圣弘，
申请(专利权)人：深圳融科科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44