一种载板清废装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种载板清废装置，该载板清废装置包括条形板和吸尘器，条形板的底部沿条形板长度方向设有吸槽，吸槽内设有连接孔，连接孔从吸槽内延伸至条形板外壁，吸尘器的吸尘管与连接孔连接，条形板可置于载板上，并在吸槽内形成负压。本实用新型专利技术的载板清废装置通过设置条形板，在条形板的底部沿条形板长度方向设置吸槽，在吸槽内设置连接孔，连接孔从吸槽内延伸至条形板外壁，将吸尘器的吸尘管与连接孔连接，只需将条形板置于载板上，吸尘器即可在吸槽内形成负压，对载板上的碎硅片进行清理。

A kind of waste removal device for carrier plate

【技术实现步骤摘要】
一种载板清废装置
本技术涉及载板清理
，特别涉及一种载板清废装置。
技术介绍
硅片在生产时，通常将其放置在载板上，再通过传输机构将载板传输至各个预定工位进行加工，在传输工程中，载板上会产生一些的碎硅片，需要及时对载板上的碎硅片进行清理，而如何高效地对碎硅片进行清理，同时避免对载板产生损坏，一直是业界一大难题。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术目的在于提供一种结构简单，效率高，避免破坏载板的载板清废装置。其采用如下技术方案：一种载板清废装置，其包括条形板和吸尘器，所述条形板的底部沿条形板长度方向设有吸槽，所述吸槽内设有连接孔，所述连接孔从所述吸槽内延伸至所述条形板外壁，所述吸尘器的吸尘管与所述连接孔连接，所述条形板可置于载板上，并在所述吸槽内形成负压。作为本技术的进一步改进，所述吸槽内设有若干气压补偿孔，所述气压补偿孔从所述吸槽内延伸至所述条形板外壁。作为本技术的进一步改进，所述吸槽的长度与载板的宽度一致。作为本技术的进一步改进，所述条形板上设有转接板，所述转接板用于固定所述条形板。作为本技术的进一步改进，所述转接板上设有螺纹孔，所述转接板通过螺栓固定于机架上。作为本技术的进一步改进，所述吸槽周围设有软接触层。作为本技术的进一步改进，所述软接触层为特氟龙。作为本技术的进一步改进，所述连接孔的数量为二，两连接孔沿所述条形板的中心点对称设置。本技术的有益效果：本技术的载板清废装置通过设置条形板，在条形板的底部沿条形板长度方向设置吸槽，在吸槽内设置连接孔，连接孔从吸槽内延伸至条形板外壁，将吸尘器的吸尘管与连接孔连接，只需将条形板置于载板上，吸尘器即可在吸槽内形成负压，对载板上的碎硅片进行清理。上述说明仅是本技术技术方案的概述，为了能够更清楚了解本技术的技术手段，而可依照说明书的内容予以实施，并且为了让本技术的上述和其他目的、特征和优点能够更明显易懂，以下特举较佳实施例，并配合附图，详细说明如下。附图说明图1是本技术实施例中载板清废装置的整体结构示意图；图2是本技术实施例中条形板结构示意图一；图3是本技术实施例中条形板结构示意图二。标记说明：10、条形板；11、吸槽；12、连接孔；13、气压补偿孔；20、吸尘器；30、载板；40、转接板。具体实施方式下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步说明，以使本领域的技术人员可以更好地理解本技术并能予以实施，但所举实施例不作为对本技术的限定。如图1所示，为本技术的载板清废装置，该载板清废装置包括条形板10和吸尘器20。如图2-3所示，条形板10的底部沿条形板10长度方向设有吸槽11，吸槽11内设有连接孔12，连接孔12从吸槽11内延伸至条形板10外壁，吸尘器20的吸尘管与连接孔12连接，条形板10可置于载板30上，并在吸槽11内形成负压。吸槽11内设有若干气压补偿孔13，气压补偿孔13从吸槽11内延伸至条形板10外壁。气压补偿孔13用于在吸尘器20工作时，为吸尘11内补偿气压，避免吸槽11与载板30之间间隙过小，空气无法及时进入吸槽11内，无法及时有效地将载板30上的碎硅片吸起。在一实施例中，吸槽11的长度与载板30的宽度一致。条形板10上设有转接板40，转接板40用于固定条形板10。具体的，转接板40上设有螺纹孔，转接板40通过螺栓固定于机架上。在一实施例中，吸槽11周围设有软接触层，优选的，软接触层为特氟龙。避免条形板10与载板30发生碰撞，对载板30产生损坏。在本实施例中，连接孔12的数量为二，两连接孔12沿条形板10的中心点对称设置。在本技术的其他实施例中，连接孔12的数量可根据条形板10的长度来设置。工作时，通过转接板40将条形板10固定于机架上，载板30由传送带传送至吸槽11下方，吸尘器20打开，吸槽11与载板30之间形成负压，将载板30上的碎硅片吸走，在清废时，传送带同时输送载板30向前，形成边走边吸，最终将载板30完全清理干净。本技术的载板清废装置通过设置条形板，在条形板的底部沿条形板长度方向设置吸槽，在吸槽内设置连接孔，连接孔从吸槽内延伸至条形板外壁，将吸尘器的吸尘管与连接孔连接，只需将条形板置于载板上，吸尘器即可在吸槽内形成负压，对载板上的碎硅片进行清理。以上实施例仅是为充分说明本技术而所举的较佳的实施例，本技术的保护范围不限于此。本
的技术人员在本技术基础上所作的等同替代或变换，均在本技术的保护范围之内。本技术的保护范围以权利要求书为准。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种载板清废装置，其特征在于，包括条形板和吸尘器，所述条形板的底部沿条形板长度方向设有吸槽，所述吸槽内设有连接孔，所述连接孔从所述吸槽内延伸至所述条形板外壁，所述吸尘器的吸尘管与所述连接孔连接，所述条形板可置于载板上，并在所述吸槽内形成负压。/n

【技术特征摘要】
1.一种载板清废装置，其特征在于，包括条形板和吸尘器，所述条形板的底部沿条形板长度方向设有吸槽，所述吸槽内设有连接孔，所述连接孔从所述吸槽内延伸至所述条形板外壁，所述吸尘器的吸尘管与所述连接孔连接，所述条形板可置于载板上，并在所述吸槽内形成负压。


2.如权利要求1所述的载板清废装置，其特征在于，所述吸槽内设有若干气压补偿孔，所述气压补偿孔从所述吸槽内延伸至所述条形板外壁。


3.如权利要求1所述的载板清废装置，其特征在于，所述吸槽的长度与载板的宽度一致。


4.如权利要求...

【专利技术属性】
技术研发人员：张学强，戴军，张建伟，罗银兵，刘三利，祝志强，
申请(专利权)人：罗博特科智能科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32