一种光刻胶生产用管道仪表阀门制造技术

本实用新型专利技术提供一种光刻胶生产用管道仪表阀门，包括阀体、阀杆、阀芯、上端盖和下端盖，所述阀体上下两端分别固定安装有上端盖和下端盖，上端盖和下端盖相对安装在阀体上下两端的通孔内并密封连接，旋柄带动阀杆的转动并通过内螺纹区旋转升降阀杆，从而控制阀芯与阀座的闭合和开启，防止液体压力冲击导致阀芯与阀座的松动，且便于调节流量的大小；上端盖的填料函和密封函双层密封防止液体渗漏，输出管道连接喉管加强抗震能力，进入管道与输出管道通过法兰连接便于更换；阀体设有上端盖和下端盖可拆卸安装，便于后期清理维护。

A pipeline instrument valve for photoresist production

【技术实现步骤摘要】
一种光刻胶生产用管道仪表阀门
本技术涉及光刻胶生产设备
，具体为一种光刻胶生产用管道仪表阀门。
技术介绍
光刻胶是微电子技术中微细图形加工的关键材料之一，特别是近年来大规模和超大规模集成电路的发展，更是大大促进了光刻胶的研究开发和应用；光刻胶又称为光致抗蚀剂，是由树脂、增光剂和溶剂三种主要成分组成的对光敏感的混合液体。光刻胶生产过程中，管道的仪表阀门工作时两端存在压力差，长时间工作之后容易产生松动，导致流速调节不准确和泄漏等问题，需要定时更换维护。
技术实现思路
本技术所解决的技术问题在于提供一种光刻胶生产用管道仪表阀门，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。本技术所解决的技术问题采用以下技术方案来实现：一种光刻胶生产用管道仪表阀门，包括阀体、阀杆、阀芯、上端盖和下端盖，所述阀体上下两端分别固定安装有上端盖和下端盖，上端盖和下端盖相对安装在阀体上下两端的通孔内并密封连接，所述阀杆贯穿上端盖并与上端盖螺纹连接，阀杆上端与旋柄固定连接，阀杆位于阀体内固定安装有阀芯，阀体内设有液体流动的流道，流道一端为进入管道，另一端本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光刻胶生产用管道仪表阀门，包括阀体、阀杆、阀芯、上端盖和下端盖，其特征在于：所述阀体上下两端分别固定安装有上端盖和下端盖，上端盖和下端盖相对安装在阀体上下两端的通孔内并密封连接，所述阀杆贯穿上端盖并与上端盖螺纹连接，阀杆上端与旋柄固定连接，阀杆位于阀体内固定安装有阀芯，阀体内设有液体流动的流道，流道一端为进入管道，另一端为输出管道，进入管道与输出管道之间相应位置设有对应阀芯的阀座，阀芯安装在阀座的上端并通过阀杆移动调节与阀座的合离，从而控制流道的断开和流通；所述上端盖对应阀杆的螺纹段设有内螺纹区，阀杆的螺纹段在内螺纹区内的螺纹连接；所述进入管道与输出管道的外端设有对接的法兰，进入管道与...

【技术特征摘要】
1.一种光刻胶生产用管道仪表阀门，包括阀体、阀杆、阀芯、上端盖和下端盖，其特征在于：所述阀体上下两端分别固定安装有上端盖和下端盖，上端盖和下端盖相对安装在阀体上下两端的通孔内并密封连接，所述阀杆贯穿上端盖并与上端盖螺纹连接，阀杆上端与旋柄固定连接，阀杆位于阀体内固定安装有阀芯，阀体内设有液体流动的流道，流道一端为进入管道，另一端为输出管道，进入管道与输出管道之间相应位置设有对应阀芯的阀座，阀芯安装在阀座的上端并通过阀杆移动调节与阀座的合离，从而控制流道的断开和流通；所述上端盖对应阀杆的螺纹段设有内螺纹区，阀杆的螺纹段在内螺纹区内的螺纹连接；所述进入管道与输出管道的外端设有对接的法兰，进入管道与输出管道通过法兰与管道对接。


2.根据权利要求1所述的一种光刻胶生产用管道仪表阀门，其特征在于：所述输出管道一侧的法兰固定连接有喉管，输出管道通过喉管与输液管道连接。


3.根据权利要求2所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：宋里千，陈武档，周国波，赖艺珠，梁荣增，
申请(专利权)人：福建泓光半导体材料有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35