已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供在具有曲面的涂布对象面尽可能将涂布物质均匀地涂布的已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置。本发明专利技术为制造在对象物(T)中具有曲面的涂布对象面(Tf)涂布有涂布物质的已涂布对象物的已涂布对象物的制造方法，具备下述步骤：对涂布对象面(Tf)供给涂布物质的供给步骤；及令对涂布对象面(Tf)供给有涂布物质的对象物(T)绕着与对象物(T)隔有距离的公转轴线(13a)的公转步骤。涂布物质延伸装置(1)具备令对象物(T)绕着与对象物(T)隔有距离的公转轴线(13a)旋转的公转部(10)。通过如上述的构成，能够使作用在涂布对象面(Tf)各部分的带动涂布物质的力接近于与离公转轴线(13a)的距离成比例的大小，从而能够抑制涂布在涂布对象面(Tf)的涂布物质的厚度的变异。

Manufacturing method of coated object and coating material extension device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置
本专利技术有关已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置，具体而言为有关在具有曲面的涂布对象面尽可能将涂布物质均匀地涂布的已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置。
技术介绍
就在光盘等的基板上形成均匀厚度的树脂膜的技术而言，有旋转涂布(spincoat)法。旋转涂布法，将作为树脂膜的原料的树脂液供给至基板表面中央，令基板绕着通过基板表面中心且垂直于表面的旋转轴线旋转，据此使树脂液延伸到整个表面来形成树脂膜(参照例如下述的专利文献1)。[现有技术文献][专利文献]专利文献1：日本国特开2009-15923号公报。
技术实现思路
(专利技术所欲解决的课题)在上述的旋转涂布法中，当涂布树脂的表面为平坦的表面时，能够形成大致均匀厚度的树脂膜。然而，当涂布的树脂表面并非平坦而是球面状等曲面时，就难以形成均匀厚度的树脂膜。本专利技术鉴于上述课题，目的在于提供能够在具有曲面的涂布对象面尽可能将涂布物质均匀地涂布的一种已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种已涂布对象物的制造方法，所述制造方法为制造在要涂布涂布物质的对象物中具有曲面的涂布对象面涂布有前述涂布物质的已涂布对象物的方法，其具备下述步骤：/n对前述涂布对象面供给前述涂布物质的供给步骤；及/n令对前述涂布对象面供给有前述涂布物质的前述对象物绕着与前述对象物隔有距离的公转轴线旋转的公转步骤。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180116 JP 2018-0052031.一种已涂布对象物的制造方法，所述制造方法为制造在要涂布涂布物质的对象物中具有曲面的涂布对象面涂布有前述涂布物质的已涂布对象物的方法，其具备下述步骤：
对前述涂布对象面供给前述涂布物质的供给步骤；及
令对前述涂布对象面供给有前述涂布物质的前述对象物绕着与前述对象物隔有距离的公转轴线旋转的公转步骤。


2.根据权利要求1所述的已涂布对象物的制造方法，其中，前述供给步骤为以使前述涂布物质接触前述涂布对象面的一部分的方式构成；
且该已涂布对象物的制造方法具备有：在前述公转步骤之前，令前述对象物旋转，而使前述涂布物质与前述涂布对象面接触的范围扩大的初步延伸步骤。


3.根据权利要求2所述的已涂布对象物的制造方法，其中，前述初步延伸步骤构成为含有超过量脱离步骤，该超过量脱离步骤为令在前述供给步骤中供给至前述涂布对象面的前述涂布物质中，超过预设量的量的前述涂布物质从前述涂布对象面脱离；
该已涂布对象物的制造方法具备有：在前述公转步骤之前，回收在前述超过量脱离步骤中从前述对象物脱离的前述涂布物质的回收步骤。


4.根据权利要求1至3中任一所述的已涂布对象物的制造方法，具备有：令对前述涂布对象面供给有前述涂布物质的前述对象物绕着前述对象物进行自转时的自转轴线旋转的自转步骤。


5.根据权利要求4所述的已涂布对象物的制造方法，其中，在前述自转步骤中作用于前述涂布对象面上的前述涂布物质的带动前述涂...

【专利技术属性】
技术研发人员：筱原信一，大久保达生，铃木隆之，山崎美弥，小泽直人，
申请(专利权)人：株式会社欧利生，
类型：发明
国别省市：日本;JP