已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置制造方法及图纸

本发明专利技术的目的在于提供在具有曲面的涂布对象面尽可能将涂布物质均匀地涂布的已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置。本发明专利技术为制造在对象物(T)中具有曲面的涂布对象面(Tf)涂布有涂布物质的已涂布对象物的已涂布对象物的制造方法，具备下述步骤：对涂布对象面(Tf)供给涂布物质的供给步骤；及令对涂布对象面(Tf)供给有涂布物质的对象物(T)绕着与对象物(T)隔有距离的公转轴线(13a)的公转步骤。涂布物质延伸装置(1)具备令对象物(T)绕着与对象物(T)隔有距离的公转轴线(13a)旋转的公转部(10)。通过如上述的构成，能够使作用在涂布对象面(Tf)各部分的带动涂布物质的力接近于与离公转轴线(13a)的距离成比例的大小，从而能够抑制涂布在涂布对象面(Tf)的涂布物质的厚度的变异。

Manufacturing method of coated object and coating material extension device

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置
本专利技术有关已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置，具体而言为有关在具有曲面的涂布对象面尽可能将涂布物质均匀地涂布的已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置。
技术介绍
就在光盘等的基板上形成均匀厚度的树脂膜的技术而言，有旋转涂布(spincoat)法。旋转涂布法，将作为树脂膜的原料的树脂液供给至基板表面中央，令基板绕着通过基板表面中心且垂直于表面的旋转轴线旋转，据此使树脂液延伸到整个表面来形成树脂膜(参照例如下述的专利文献1)。[现有技术文献][专利文献]专利文献1：日本国特开2009-15923号公报。
技术实现思路
(专利技术所欲解决的课题)在上述的旋转涂布法中，当涂布树脂的表面为平坦的表面时，能够形成大致均匀厚度的树脂膜。然而，当涂布的树脂表面并非平坦而是球面状等曲面时，就难以形成均匀厚度的树脂膜。本专利技术鉴于上述课题，目的在于提供能够在具有曲面的涂布对象面尽可能将涂布物质均匀地涂布的一种已涂布对象物的制造方法及涂布物质延伸装置。(解决课题的手段)为了达成前述目的，本专利技术的第一态样的已涂布对象物的制造方法，例如参照图1及图3所示，制造在要涂布涂布物质R(参照例如图2)的对象物T中具有曲面的涂布对象面Tf涂布有涂布物质R的已涂布对象物的方法，其具备下述步骤：对涂布对象面Tf供给涂布物质R的供给步骤(S2)；及令对涂布对象面Tf供给有涂布物质R的对象物T绕着与对象物T隔有距离的公转轴线13a旋转的公转步骤(S8)。当如上述构成，能够使作用在涂布对象面各部分的带动涂布物质的力接近于与离公转轴线的距离成比例的大小，从而能够抑制涂布在涂布对象面的涂布物质的厚度的变异。此外，本专利技术的第二态样的已涂布对象物的制造方法为，例如参照图2及图3所示，在上述本专利技术的第一态样的已涂布对象物的制造方法中，供给步骤(S3)为以使涂布物质R接触涂布对象面Tf的一部分的方式构成；且具备有：在公转步骤(S8)之前，令对象物T旋转，而使涂布物质R与涂布对象面Tf接触的范围扩大的初步延伸步骤(S3)。当如上述构成，因涂布对象面具有曲面而在公转步骤中，即使涂布物质与涂布对象面接触的范围难以扩大时，仍能够通过初步延伸步骤使涂布物质接触涂布对象面的范围扩大。此外，本专利技术的第三态样的已涂布对象物的制造方法为，例如参照图2及图3所示，在上述本专利技术的第二态样的已涂布对象物的制造方法中，初步延伸步骤(S3)构成为，含有超过量脱离步骤(S4)，该已涂布对象物的制造方法为令在供给步骤(S2)中供给至涂布对象面Tf的涂布物质R中，超过预设量的量的涂布物质R从涂布对象面Tf脱离；且具备有：在公转步骤(S8)之前，回收在超过量脱离步骤(S4)中从对象物T脱离的涂布物质R的回收步骤(S5)。当如上述构成，通过在公转步骤之前令超过量的涂布物质从涂布对象面脱离，能够抑制在公转步骤中产生多余的涂布物质，并且回收脱离的涂布物质有效利用。此外，本专利技术的第四态样的已涂布对象物的制造方法为，例如参照图1及图3所示，在上述本专利技术的第一态样至第三态样中任一态样的已涂布对象物的制造方法中，具备有：令对在涂布对象面Tf供给有涂布物质R的对象物T绕着对象物T进行自转时的自转轴线23a旋转的自转步骤(S7)。当如上述构成，能够矫正公转步骤中的作用于涂布对象面各部分的带动涂布物质的力在以自转轴线为中心的涂布对象面上的周方向的大小的差异，从而能够谋求涂布在涂布对象面的涂布物质的厚度的均匀化。此外，本专利技术的第五态样的已涂布对象物的制造方法为，例如参照图1及图3所示，在上述本专利技术的第四态样的已涂布对象物的制造方法中，在自转步骤(S7)中作用于涂布对象面Tf上的涂布物质R的带动涂布物质R的力的最大值相对于在公转步骤(S8)中作用于涂布对象面Tf上的涂布物质R(参照例如图2)的带动涂布物质R的力的比为0.5以下。当如上述构成，能够避免公转步骤的作用被自转步骤所妨碍。此外，本专利技术的第六态样的已涂布对象物的制造方法为，例如参照图3所示，在上述本专利技术的第四态样或第五态样的已涂布对象物的制造方法中，自转步骤(S7)中的旋转速度比公转步骤(S8)中的旋转速度还慢。当如上述构成，通过进行旋转速度比公转慢的自转，能够改善公转步骤产生的涂布物质的厚度的较小的变异。此外，本专利技术的第七态样的已涂布对象物的制造方法为，例如参照图1及图3所示，在上述本专利技术的第四态样至第六态样中任一态样的已涂布对象物的制造方法中，在公转轴线13a与自转轴线23a交叉的位置，公转轴线13a与自转轴线23a的夹角α为15度以上165度以下。当如上述构成，能够使涂布在涂布对象面的涂布物质的厚度大致均匀。此外，本专利技术的第八态样的已涂布对象物的制造方法为，例如参照图1所示，在上述本专利技术的第一态样至第七态样中任一态样的已涂布对象物的制造方法中，当涂布对象面Tf以球面或略球面形成时，公转轴线13a与涂布对象面Tf在正交于公转轴线13a的方向的最短距离L相对于涂布对象面Tf的曲率半径Tfr(参照例如图2)的比为0.3以上5以下。此处，所谓的略球面，为椭圆面、抛物面、双曲面等接近球面的形状，此时的曲率半径典型而言为通过最小平方法获得的回归曲面的曲率半径。当如上述构成，能够在不过度扩大公转轴线与涂布对象面在正交于公转轴线的方向的最短距离下使涂布在涂布对象面的涂布物质的厚度大致均匀。此外，本专利技术的第九态样的已涂布对象物的制造方法为，例如参照图1所示，在上述本专利技术的第八态样的已涂布对象物的制造方法中，公转轴线13a与涂布对象面Tf在正交于公转轴线13a的方向的最短距离L相对于涂布对象面Tf的曲率半径Tfr(参照例如图2)的比为3以上。当如上述构成，不执行自转步骤时仍能够使涂布在涂布对象面的涂布物质的厚度大致均匀。为了达成上述目的，本专利技术的第十态样的涂布物质延伸装置，例如如图1所示，具备公转部10，其令形成有具有曲面的涂布对象面Tf的对象物T绕着与对象物T隔有距离的公转轴线13a旋转。当如上述构成，能够抑制涂布在涂布对象面的涂布物质的厚度的变异。此外，本专利技术的第十一态样的涂布物质延伸装置，例如如图1所示，在上述本专利技术的第十态样的涂布物质延伸装置1中，具备：自转部20，令对象物T绕着对象物T进行自转时的自转轴线23a旋转；及旋转速度调节部60，调节自转部20的旋转速度；其中，旋转速度调节部60经由控制装置构成，该控制装置为通过公转部10进行上述本专利技术的第四态样至第七态样中任一态样的已涂布对象物的制造方法中的公转步骤(S8(例如参照图3))、并且通过自转部20进行自转步骤(S7(例如参照图3))。当如上述构成，能够自动地进行涂布在涂布对象面的涂布物质的厚度的变异的抑制。(专利技术的效果)依据本专利技术，能够使作用在涂布对象面各部分的带动涂布物质的力接近于与离公转轴线的距离成比例的大小，从而能够抑制涂布在涂布对象面的涂布物质的厚度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种已涂布对象物的制造方法，所述制造方法为制造在要涂布涂布物质的对象物中具有曲面的涂布对象面涂布有前述涂布物质的已涂布对象物的方法，其具备下述步骤：/n对前述涂布对象面供给前述涂布物质的供给步骤；及/n令对前述涂布对象面供给有前述涂布物质的前述对象物绕着与前述对象物隔有距离的公转轴线旋转的公转步骤。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20180116 JP 2018-0052031.一种已涂布对象物的制造方法，所述制造方法为制造在要涂布涂布物质的对象物中具有曲面的涂布对象面涂布有前述涂布物质的已涂布对象物的方法，其具备下述步骤：
对前述涂布对象面供给前述涂布物质的供给步骤；及
令对前述涂布对象面供给有前述涂布物质的前述对象物绕着与前述对象物隔有距离的公转轴线旋转的公转步骤。


2.根据权利要求1所述的已涂布对象物的制造方法，其中，前述供给步骤为以使前述涂布物质接触前述涂布对象面的一部分的方式构成；
且该已涂布对象物的制造方法具备有：在前述公转步骤之前，令前述对象物旋转，而使前述涂布物质与前述涂布对象面接触的范围扩大的初步延伸步骤。


3.根据权利要求2所述的已涂布对象物的制造方法，其中，前述初步延伸步骤构成为含有超过量脱离步骤，该超过量脱离步骤为令在前述供给步骤中供给至前述涂布对象面的前述涂布物质中，超过预设量的量的前述涂布物质从前述涂布对象面脱离；
该已涂布对象物的制造方法具备有：在前述公转步骤之前，回收在前述超过量脱离步骤中从前述对象物脱离的前述涂布物质的回收步骤。


4.根据权利要求1至3中任一所述的已涂布对象物的制造方法，具备有：令对前述涂布对象面供给有前述涂布物质的前述对象物绕着前述对象物进行自转时的自转轴线旋转的自转步骤。


5.根据权利要求4所述的已涂布对象物的制造方法，其中，在前述自转步骤中作用于前述涂布对象面上的前述涂布物质的带动前述涂...

【专利技术属性】
技术研发人员：筱原信一，大久保达生，铃木隆之，山崎美弥，小泽直人，
申请(专利权)人：株式会社欧利生，
类型：发明
国别省市：日本;JP