一种镀在半导体激光器腔面用于选模的超窄带超薄反射膜制造技术

本发明专利技术公开一种镀在半导体激光器腔面用于选模的超窄带超薄反射膜，包括巴条，巴条中间是激活区，激活区的一面含超窄带超薄反射膜，超窄带反射膜由诱导层,极薄滤光膜和高反射膜组成，另一面是常规的部分反射输出面，可以是不镀膜解理面或镀膜的部分反射膜。本发明专利技术一种镀在半导体激光器腔面用于选模的超窄带超薄反射膜，在激励区一侧设置超窄带反射镜来选模，相比传统的光栅成本低，占用空间小，相比传统的PE腔选膜，带宽窄传输距离长，相比常规的超窄带反射镜，镀膜成本低，效率高，且便于封装。

An ultra narrow band ultra thin reflective film for mode selection on the cavity surface of a semiconductor laser

【技术实现步骤摘要】
一种镀在半导体激光器腔面用于选模的超窄带超薄反射膜
本专利技术属于反射膜
，具体涉及一种镀在半导体激光器腔面用于选模的超窄带超薄反射膜。
技术介绍
激光器输出的选模技术分为两个部分，一部分是对激光纵模的选取，另一部分是对激光横模的选取，前者对激光的输出频率影响较大，能够大大提高激光的相干性，常常也叫作激光的选频技术；后者是主要影响激光输出的光强均匀性，提高激光的亮度。大多数激光器为了得到较大的输出能量使用较长的激光谐振腔，这就使得激光器的输出是多模的，然而，基横模与高阶模相比，具有亮度高、发散角小、径向光强分布均匀、振荡频率单一的特点，具有最佳的时间和空间相干性。现有技术通常选模用FP腔或光栅。FP腔选模成本低，线宽大，边模抑制比差，用途少，光栅选模线宽窄，用途广，成本高，用超窄带反射镜来选模，成本低，常规的超窄带反射镜的镀膜成本高，因膜层厚反射面距离腔面远损耗大。
技术实现思路
（1）技术方案为了克服现有技术的不足之处，本专利技术提供一种镀在半导体激光器腔面用于选模的超窄带超薄反射膜，包括巴条本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种镀在半导体激光器腔面用于选模的超窄带超薄反射膜，包括巴条（1），其特征在于，所述超窄带超薄反射膜包含金属诱导膜（2）、窄带滤光膜（3）、高反膜（4）和耦合部分反射膜（6），所述巴条（1）的中间是激活区（5），所述超窄带超薄反射膜膜系结构从靠近所述激活区（5）起依次是所述金属诱导膜（2）、所述窄带滤光膜（3）、所述高反膜（4），所述的超窄带超薄反射率峰值波长的半高全宽小于2nm，所述激活区（5）的另一端面是所述耦合部分反射膜（6）。/n

【技术特征摘要】
1.一种镀在半导体激光器腔面用于选模的超窄带超薄反射膜，包括巴条（1），其特征在于，所述超窄带超薄反射膜包含金属诱导膜（2）、窄带滤光膜（3）、高反膜（4）和耦合部分反射膜（6），所述巴条（1）的中间是激活区（5），所述超窄带超薄反射膜膜系结构从靠近所述激活区（5）起依次是所述金属诱导膜（2）、所述窄带滤光膜（3）、所述高反膜（4），所述的超窄带超薄反射率峰值波长的半高全宽小于2nm，所述激活区（5）的另一端面是所述耦合部分反射膜（6）。


2.根据权利要求1所述的一种镀在半导体激光器腔面用于选模的超窄带超薄反射膜，其特征在于，所述窄带滤光膜（3）的高低折射率比大于2。


3.根据权利要求2所述的一种镀...

【专利技术属性】
技术研发人员：王启平，
申请(专利权)人：腾景科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35