【技术实现步骤摘要】
一种管式PERC太阳能电池背钝化结构及其制备方法
本专利技术涉及太阳能电池领域，尤其涉及一种管式PERC太阳能电池背钝化结构及其制备方法。
技术介绍
PERC(PassivatedEmitterRearContact)太阳电池是在背面镀钝化复合膜，再局部开槽接触的电池。与其他电池高效技术有很好的兼容性，所以PERC电池是目前应用比较广泛的一种高效太阳能电池，应用和发展前景广阔，PREC电池核心是在硅片的背面用氧化铝和氮化硅覆盖，由于沉积氧化铝钝化层较薄，需要在此膜上沉积氮化硅以起到保护作用、同时增强背面的反射率，以起到钝化表面、提高长波响应的作用，以此提高开路电压和短路电流，从而提升电池的转换效率。现有技术中，一般采用原子层沉积(ALD)和板式PERC形成氧化铝钝化层；其中，ALD形成的氧化铝膜具有均匀性良好，可精确控制钝化层的质量和厚度，但是其生产速度很慢，大规模工业化较为困难。板式PECVD由不同的腔室组成，每个腔室镀一层膜，一旦设备固定，复合膜的层数就已经固定，因此板式的PECVD的缺点是不能灵活的调节...
【技术保护点】
1.一种管式PERC太阳能电池背钝化结构的制备方法，其特征在于，包括：/n(1)将经过退火的太阳能电池片加载至管式PECVD设备中；/n(2)在所述太阳能电池片背面形成氧化铝层；/n(3)在管式PECVD设备中通入含氧混合气体，并采用所述含氧混合气体形成的等离子体对所述氧化铝层进行处理，以提升所述氧化铝层的负电荷密度；/n(4)在经过处理的氧化铝层上形成至少一层氮化硅层，即得到管式PERC太阳能电池背钝化结构成品。/n
【技术特征摘要】
1.一种管式PERC太阳能电池背钝化结构的制备方法，其特征在于，包括：
(1)将经过退火的太阳能电池片加载至管式PECVD设备中；
(2)在所述太阳能电池片背面形成氧化铝层；
(3)在管式PECVD设备中通入含氧混合气体，并采用所述含氧混合气体形成的等离子体对所述氧化铝层进行处理，以提升所述氧化铝层的负电荷密度；
(4)在经过处理的氧化铝层上形成至少一层氮化硅层，即得到管式PERC太阳能电池背钝化结构成品。
2.如权利要求1所述的管式PERC太阳能电池背钝化结构的制备方法，其特征在于，步骤(3)中，所述含氧混合气体至少包括O2、O3、N2O、NO2、H2O中的一种。
3.如权利要求1所述的管式PERC太阳能电池背钝化结构的制备方法，其特征在于，步骤(3)中，所述含氧混合气体为NH3和含氧气体的混合物；所述含氧气体为O2、O3、N2O、NO2、H2O中的一种或多种。
4.如权利要求1-3任一项所述的管式PERC太阳能电池背钝化结构的制备方法，其特征在于，步骤(2)中，在260-290℃下形成氧化铝层；
步骤(3)中，在300-400℃下对所述氧化铝层进行处理。
5.如权利要求1所述的管式PERC太阳能电池背钝化结构的制备方法，其特征在于，步骤(3)包括：
(3.1)在管式PECVD设备中通入N2O和NH3混合气体，控制反应温度为300-400℃，混合气体在射频脉冲的作用下形成等离子体，进而对氧化铝层进行处理；
(3.2)在管式PECVD设备中通入N2O，控制反应温度为300-400℃，N2O在射频脉冲的作用下形成等离子体，进而对氧化铝层进行处理。
6.如权利要求1所述的管式PERC太阳能电池背钝化结构的制备方法，其特征在于，步骤(3.1)中，N2O的流量为2-4slm，NH3的流量为2-4slm，处理时间为100-500s，射频功率为3000-6000W，占空比为8：(20-30)，腔室压强为800-1200mTorr；
步骤(3.2)中，N2O的流量为4-8slm，反应温度为300-400℃，反应时间为60-300s，射频功率为3000-6000W，占空比为8：(20-3...
【专利技术属性】
技术研发人员：杨苏平，曾超，尧海华，方结彬，林纲正，陈刚，
申请(专利权)人：广东爱旭科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44
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