一种离子注入机的控制装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及离子注入机技术领域，具体为一种离子注入机的控制装置，包括控制箱主体，控制箱主体包括底端的底座，底座上端焊接箱体，箱体正面铰接有箱门，箱门正面设有凹槽，凹槽内设有控制面板，凹槽一侧铰接玻璃门，玻璃门另一端设有门锁，玻璃门上通过固定螺栓固定连接有把手，有益效果为：增加了对控制面板的保护装置，可以有效的保护控制面板，防止控制面板受到碰撞损坏或是误碰操作产生失误，提高了箱体本身的防尘防水效果，可以有效的保护内部电气元件，增加内部电气元件的使用寿命，还可以给内部电气元件增加保护装置，每组电气元件之间互相隔离，阻止火势蔓延，还可以缓冲爆炸冲击，降低爆炸威力，增加安全效果。

A control device of ion implanter

【技术实现步骤摘要】
一种离子注入机的控制装置
本技术涉及到离子注入机
，具体为一种离子注入机的控制装置。
技术介绍
离子注入机是高压小型加速器中的一种，应用数量最多。它是由离子源得到所需要的离子，经过加速得到几百千电子伏能量的离子束流，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入，还用于金属材料表面改性和制膜等。离子注入机一般由控制箱控制启动一级功能调节，传统的控制箱控制面板暴露设置在箱体外，没有保护装置，可能会出现误碰操作或碰撞损伤，并且不能防水防尘，可能会影响控制操作甚至损坏控制面板，而且传统的控制箱本身的防水效果也不够好，防尘效果也不够理想，而且在控制装置内部某一零部件损坏发生起火甚至爆炸时，没有一种保护装置，可能会使内部的所有零部件全部损坏，造成更大是损失，为此，本技术提出一种离子注入机的控制装置用于解决上述问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种离子注入机的控制装置，以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种离子注入机的控制装置，包括控制箱主体，所述控制箱主体包括底端的底座，所述底座上端焊接箱体，所述箱体正面铰接有箱门，所述箱门正面设有凹槽，凹槽内设有控制面板，所述凹槽一侧铰接玻璃门，所述玻璃门另一端设有门锁，所述玻璃门上通过固定螺栓固定连接有把手，所述玻璃门与凹槽连接处边缘粘接包裹有密封垫。优选的，所述箱门右端焊接有把手，把手旁的箱门边缘设有旋钮锁，所述箱门内侧中间一体成形的设有密封凸块，所述密封凸块上镶嵌连接有磁条，所述磁条外侧包裹有密封条，所述密封条粘接在密封凸块上。优选的，所述箱体两侧开设有散热口，所述散热口内镶嵌连接若干斜板，斜板内部镶嵌连接防尘网，所述箱体开口边缘处开设有密封凸块，所述密封凸块内镶嵌连接有铁片，所述铁片外侧包裹有密封条。优选的，所述底座呈中空状，前后两侧设有开口，开口内通过固定螺栓固定连接防尘网，所述底座上端焊接箱体。优选的，所述底座和箱体之间贯通开设有通风口，所述通风口内设有风扇。优选的，所述箱体内部通过固定螺栓固定连接若干安装板，所述安装板上开设有若干通风孔，所述通风孔之间竖向设有三组插槽，横向设有两组线槽，所述插槽内插接有保护罩，所述保护罩下端一体成形的设有插块，所述插块插接在插槽内，所述保护罩上开设有若干泄爆口。与现有技术相比，本技术的有益效果是：本技术增加了对控制面板的保护装置，可以有效的保护控制面板，防止控制面板受到碰撞损坏或是误碰操作产生失误，还可对控制面板防尘防水，提高了箱体本身的防尘防水效果，可以有效的保护内部电气元件，增加内部电气元件的使用寿命，还可以给内部电气元件增加保护装置，每组电气元件之间互相隔离，可以保证在某一组电器元件损坏起火或爆炸时，不会波及其他组的电气元件，减低损失，并且可以将火隔离，阻止火势蔓延，还可以缓冲爆炸冲击，将冲击波倾泄出去，降低爆炸威力，增加安全效果。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为图1的右视图；图3为图1的内部结构示意图；图4为图3中安装板的结构示意图；图5为图3中保护罩的结构示意图；图6为图5的俯视图。图中：1控制箱主体、2箱门、3控制面板、4玻璃门、5底座、6防尘网、7箱体、8散热口、9密封凸块、10磁条、11密封条、12密封凹槽、13通风口、14风扇、15安装板、16保护罩、17通风孔、18插槽、19线槽、20泄爆口、21插块。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参阅图1至图6，本技术提供一种技术方案：一种离子注入机的控制装置，包括控制箱主体1，控制箱主体1包括底端的底座5，底座5上端焊接箱体7，箱体7正面铰接有箱门2，箱门2正面设有凹槽，凹槽内设有控制面板3，凹槽一侧铰接玻璃门4，玻璃门4另一端设有门锁，玻璃门4上通过固定螺栓固定连接有把手，玻璃门4与凹槽连接处边缘粘接包裹有密封垫，通过玻璃门4可以保护控制面板3，防止误碰控制面板3造成操作失误，还可以防止碰撞损伤控制面板3增加保护效果。本技术可进一步设置为，箱门2右端焊接有把手，把手旁的箱门2边缘设有旋钮锁，箱门2内侧中间一体成形的设有密封凸块9，密封凸块9上镶嵌连接有磁条10，磁条10外侧包裹有密封条11，密封条11粘接在密封凸块9上。本技术可进一步设置为，箱体7两侧开设有散热口8，散热口8内镶嵌连接若干斜板，斜板内部镶嵌连接防尘网6，箱体7开口边缘处开设有密封凹槽12，密封凹槽12内镶嵌连接有铁片，铁片外侧包裹有密封条11，通过密封凸块9和密封凹槽12配合可以使箱门2和箱体7连接更加紧密，增加防水效果，并且将箱门2关闭后即使忘记锁紧，通过磁条10和铁片的配合也可以防止箱门2自动打开，进一步增加了防水防尘的效果，提高保护性和使用便利性。本技术可进一步设置为，底座5呈中空状，前后两侧设有开口，开口内通过固定螺栓固定连接防尘网6，底座5上端焊接箱体7，通过底座5可以防止地面回潮水汽侵入箱体内，损坏内部电器元件，有效增加防水效果，保护内部电器元件。本技术可进一步设置为，底座5和箱体7之间贯通开设有通风口13，通风口13内设有风扇14，通过通风口13和风扇14可以将冷风吸入到箱体7内，增加降温散热效果，并且通过防尘网6可以防止灰尘从通风口13进入到箱体7内，增加防护效果。本技术可进一步设置为，箱体7内部通过固定螺栓固定连接若干安装板15，安装板15上开设有若干通风孔17，通风孔17之间竖向设有三组插槽18，横向设有两组线槽19，插槽18内插接有保护罩16，保护罩16下端一体成形的设有插块21，插块21插接在插槽18内，保护罩16上开设有若干泄爆口20。工作原理：工作时，将控制箱主体1安装后即可开始使用，使用时将玻璃门4打开即可操作控制面板3，操作完成口关闭玻璃门4，通过玻璃门4可以防止外部碰撞损伤控制面板3，防止误碰造成操作失误，并且玻璃门4还可以防止灰尘和水侵入控制面板影响控制面板3的使用或使控制面板3损坏，增加对控制面板3的保护效果，控制箱主体1本身也提高可防水防尘效果，在箱门2内侧一体成形的设有密封凸块9，在箱体7正面中间开设有密封凹槽12，通过密封凸块9和密封凹槽12的配合可以增加箱体7开口处的封闭效果，有效增加防水防尘效果，而且箱体7下端焊接有底座5，通过底座5可以防止地面回潮水分侵入箱体7内损坏内部电气元件，安装内部电气元件时，首先将一组保护罩16导致插接在安装板15上的插槽18末端，然后再向安装板15上安装电气元件，最后在将另一组保护罩16正向插入到插槽18内，通过保护罩16可以将内部的一组电气元件保护起来并与其他组本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种离子注入机的控制装置，包括控制箱主体(1)，其特征在于：所述控制箱主体(1)包括底端的底座(5)，所述底座(5)上端焊接箱体(7)，所述箱体(7)正面铰接有箱门(2)，所述箱门(2)正面设有凹槽，凹槽内设有控制面板(3)，所述凹槽一侧铰接玻璃门(4)，所述玻璃门(4)另一端设有门锁，所述玻璃门(4)上通过固定螺栓固定连接有把手，所述玻璃门(4)与凹槽连接处边缘粘接包裹有密封垫。/n

【技术特征摘要】
1.一种离子注入机的控制装置，包括控制箱主体(1)，其特征在于：所述控制箱主体(1)包括底端的底座(5)，所述底座(5)上端焊接箱体(7)，所述箱体(7)正面铰接有箱门(2)，所述箱门(2)正面设有凹槽，凹槽内设有控制面板(3)，所述凹槽一侧铰接玻璃门(4)，所述玻璃门(4)另一端设有门锁，所述玻璃门(4)上通过固定螺栓固定连接有把手，所述玻璃门(4)与凹槽连接处边缘粘接包裹有密封垫。


2.根据权利要求1所述的一种离子注入机的控制装置，其特征在于：所述箱门(2)右端焊接有把手，把手旁的箱门(2)边缘设有旋钮锁，所述箱门(2)内侧中间一体成形的设有密封凸块(9)，所述密封凸块(9)上镶嵌连接有磁条(10)，所述磁条(10)外侧包裹有密封条(11)，所述密封条(11)粘接在密封凸块(9)上。


3.根据权利要求1所述的一种离子注入机的控制装置，其特征在于：所述箱体(7)两侧开设有散热口(8)，所述散热口(8)内镶嵌连接若干斜板，斜板内部镶嵌连接防尘网(6)，所述箱体(7)开...

【专利技术属性】
技术研发人员：杨洋，
申请(专利权)人：扬州信尚电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32