一种变焦冲孔装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种变焦冲孔装置，包括用于发出高斯激光束的激光器，以及沿光路依次设置的变束装置、整形装置、电动变倍扩束装置和激光振镜，所述高斯激光束经变束装置改变激光束尺寸和发散角后进入整形装置整形为平顶激光束/超高斯激光束，再经电动变倍扩束装置后改变激光束尺寸和发散角，最后经激光振镜偏转得到用于微孔加工的激光束。本实用新型专利技术使用变束装置，使整形器能兼容更多型号的激光器，使用电动变倍扩束镜，可实时获得不同尺寸的平顶聚焦光斑，增大加工不同尺寸微导孔的适用范围。同时改变现有激光加工装置的结构，减少零部件的使用，提高机器结构的稳定性。集成的聚焦光斑分析仪，可实时检测平顶聚焦效果，保证加工质量的一致性。

A zoom punching device

【技术实现步骤摘要】
一种变焦冲孔装置
本技术涉及激光加工设备
，特别涉及一种变焦冲孔装置。
技术介绍
高密度集成已经成为PCB行业目前的发展趋势，为在相同尺寸条件下尽可能获得更多的线路布置，在更小尺寸的微孔加工时，机械钻孔或者二氧化碳激光器等红外激光钻孔方法已无法加工更小的微孔，可见或紫外激光由于衍射效应远小于红外光，相同条件下可获得更小的聚焦光斑及更长的焦深，利用该特性进行激光冲孔加工具有极大优势。在专利文献中，授权公告号为CN104570363B，名称为一种高斯激光束整形方法和装置及精密激光微孔加工装置的专利技术公开了一种包括用于发出高斯激光束的激光器，其特征在于：还包括沿光路依次设置的扩束装置、整形装置、初聚透镜、小孔光阑、准直装置、光束偏转装置及聚焦透镜，所述高斯激光束经扩束装置扩束后进入整形装置整形为平顶激光束，所述平顶激光束先经小孔光阑拦截、初聚透镜初步会聚后进入准直装置进行准直，再经光束偏转装置改变其传播方向后，由聚焦透镜聚焦得到用于微孔加工的激光束。但在目前的激光加工过程中，由于整形器对输入的激光尺寸有较高的指定要求，单一的扩束镜很多本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种变焦冲孔装置，包括用于发出高斯激光束的激光器，其特征在于：还包括沿光路依次设置的变束装置，整形装置，电动变倍扩束装置和激光振镜，所述高斯激光束经变束装置改变激光束尺寸和发散角后进入整形装置整形为平顶激光束/超高斯激光束，所述平顶激光束/超高斯激光束经电动变倍扩束装置后改变激光束尺寸和发散角，最后经激光振镜偏转得到用于微孔加工的激光束。/n

【技术特征摘要】
1.一种变焦冲孔装置，包括用于发出高斯激光束的激光器，其特征在于：还包括沿光路依次设置的变束装置，整形装置，电动变倍扩束装置和激光振镜，所述高斯激光束经变束装置改变激光束尺寸和发散角后进入整形装置整形为平顶激光束/超高斯激光束，所述平顶激光束/超高斯激光束经电动变倍扩束装置后改变激光束尺寸和发散角，最后经激光振镜偏转得到用于微孔加工的激光束。


2.根据权利要求1所述的一种变焦冲孔装置，其特征在于，所述电动变倍扩束装置包括沿激光束光路布置的第一透镜、第二透镜和第三透镜，第一透镜和第三透镜为可沿激光束光轴移动的可动透镜，第二透镜为沿激光束光轴布置的固定透镜。


3.根据权利要求1所述的一种变焦冲孔装置，其特征在于，所述变焦冲孔装置还包括用于测量激光束光斑尺寸和焦距的聚焦光斑分析仪，分别与激光器、电动变倍扩束装置、激光振镜和聚焦光斑分析仪通讯连接的主机。


4.根据权利要求3所述的一种变焦冲孔装置，其特征在于，所述变焦冲孔装置还包括位于激光振镜下方的工作平台，聚焦光斑分析仪固定于所述工作平台侧边，所述工作平台与所述主机通讯连接。


5.根据权利要求1—4任意一项所述的一种变焦冲孔装置，其特征在...

【专利技术属性】
技术研发人员：梁宗森，陈国栋，吕洪杰，翟学涛，杨朝辉，高云峰，
申请(专利权)人：大族激光科技产业集团股份有限公司，深圳市大族数控科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44