一种薄膜传感器标定装置及方法制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种薄膜传感器标定装置及方法，包括：激波管，激波管包括高压管体和低压管体，高压管体和低压管体之间设有膜片分隔；供气设备，用于给高压管体充气；第一压力传感器，设于低压管体的内壁上；第二标准压力传感器，设于测试端面，测试端面为低压管体远离高压管体一端的内端面；示波器，第一压力传感器和第二标准压力传感器均与示波器电连接；其中，通过给高压管体充气使膜片破裂产生激波，薄膜传感器设于测试端面，第一压力传感器为示波器的触发信号源，示波器采集第二标准压力传感器和薄膜传感器电信号。该标定装置结合标定方法能够准确获得薄膜传感器的动态特性。

A calibration device and method of thin film sensor

【技术实现步骤摘要】
一种薄膜传感器标定装置及方法
本专利技术属于传感器标定
，尤其涉及一种薄膜传感器标定装置及方法。
技术介绍
随着传感器技术的飞速发展以及各种新型材料的应用，一大批新型传感器开始涌现并凭借其优异的性能开始逐步取代一些旧式传感器，其中就包括薄膜传感器，薄膜传感器能感知压力的变化并输出电信号。薄膜传感器具有重量轻、柔软不脆、耐冲击、不易受水和化学药品的污染、易制成任意形状的面积不等的片或管状等优势。传感器的标定，就是通过实验建立传感器输入量和输出量之间的关系，同时也确定出不同使用条件下的误差关系。目前薄膜传感器的标定尚无统一且有效的方法，大多数厂家只能通过材料的特性参数来给出传感器的特性参数，然而薄膜传感器的封装、保护层等的存在势必会影响到薄膜传感器的特性参数。现有的文献和专利调研结果显示，激振器法和分离式霍普金森杆法是比较常用的两种方法。现有技术中无法准确确定加载到薄膜传感器表面的载荷值，即无法准确获得薄膜传感器的动态特性。
技术实现思路
为解决上述问题，本专利技术要解决的技术问题是提供一种薄膜传感本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种薄膜传感器标定装置，其特征在于，包括：/n激波管，所述激波管包括相连的高压管体和低压管体，所述高压管体和所述低压管体之间设有膜片分隔；/n供气设备，用于给所述高压管体充气；/n第一压力传感器，设于所述低压管体的内壁上；/n第二标准压力传感器，设于测试端面，所述测试端面为所述低压管体远离所述高压管体一端的内端面，待标定的薄膜传感器设于所述测试端面；/n示波器，所述薄膜传感器、所述第一压力传感器和所述第二标准压力传感器均与所述示波器电连接；/n其中，通过给所述高压管体充气使所述膜片破裂产生激波，所述第一压力传感器为所述示波器的触发信号源，所述示波器接收到所述触发信号源后开始采集所述第二标准...

【技术特征摘要】
1.一种薄膜传感器标定装置，其特征在于，包括：
激波管，所述激波管包括相连的高压管体和低压管体，所述高压管体和所述低压管体之间设有膜片分隔；
供气设备，用于给所述高压管体充气；
第一压力传感器，设于所述低压管体的内壁上；
第二标准压力传感器，设于测试端面，所述测试端面为所述低压管体远离所述高压管体一端的内端面，待标定的薄膜传感器设于所述测试端面；
示波器，所述薄膜传感器、所述第一压力传感器和所述第二标准压力传感器均与所述示波器电连接；
其中，通过给所述高压管体充气使所述膜片破裂产生激波，所述第一压力传感器为所述示波器的触发信号源，所述示波器接收到所述触发信号源后开始采集所述第二标准压力传感器和所述薄膜传感器的电信号。


2.根据权利要求1所述的薄膜传感器标定装置，其特征在于，包括温度传感器和温度调节器，用于检测和调节所述测试端面的温度。


3.根据权利要求2所述的薄膜传感器标定装置，其特征在于，所述温度调节器为半导体制冷片，所述半导体制冷片设于所述低压管体与所述测试端面相对的外端面上。


4.根据权利要求3所述的薄膜传感器标定装置，其特征在于，所述半导体制冷片设有散热装置。


5.根据权利要求1所述的薄膜传感器标定装置，其特征在于，包括用于检测高压管体和低压管体气压的气压检测装置。


6.根据权利要求1所述的薄膜传感器标定装置，其特征在于，包括真空抽取机，用于调节所述低压管体的气压。


7.一种薄膜传感器标定方法，基于权利要求1-6任意一项所述的薄膜传感器标定装置，其特征在于，包括以下步骤：
Step1：打开所述供气设备给所述高压管体充气，直至所述膜片破裂产生激波；
Step2：所述第一压力传感器接收到激...

【专利技术属性】
技术研发人员：从继庆，荆建平，陈昌敏，代泽增，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：上海;31