【技术实现步骤摘要】
一种检测组件及压力传感器校准设备
本专利技术涉及压力传感器校准
，特别涉及一种适用于校准压力传感器的校准设备。
技术介绍
目前，压力传感器的大批量生产，在出厂前需要对其性能进行测试校准。现有的测试校准流程包括：常温测试、高温测试、次品分选、成品打码、冷却等过程。在上述过程中，传统作业方式是采用单一测试设备，依次进行单工位的测试与操作，造成工人劳动强度高，测试校准效率十分低下。且，由于不具有低温检测工位和复测工位，导致测试校准的准确度不高。现有的单机校准设备主要采用高低温冲击机对少数器件进行测试，通过在一个密封腔体中进行高低温转换而实现。但，测试校准过程中对密封性要求较高，因此，需要工人时刻关注设备，造成测试校准容易出现异常。另外，单机校准设备与单工位测试的测试过程可控性差、生产测试数据的可追溯性差，而且不同类型的产品需要不同的测试设备去测试，测试成本较高，且不同的测试设备占用较大的空间。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种检测组件及其压力传感器校准设备，其能够兼容多种压力传感...
【技术保护点】
1.一种检测组件，适用于校准至少两种压力传感器，其特征在于，该检测组件包括：/n第一检测站，用于校准第一压力传感器，该第一检测站包括第一探针组件，第一载具组件以及第一密封组件；以及/n第二检测站，用于校准第二压力传感器，该第二检测站包括第二探针组件，第二载具组件以及第二密封组件；/n其中，该第一压力传感器与该第二压力传感器相异，该第一探针组件与该第二探针组件相异，且该第一密封组件与该第二密封组件相异。/n
【技术特征摘要】
1.一种检测组件，适用于校准至少两种压力传感器，其特征在于，该检测组件包括：
第一检测站，用于校准第一压力传感器，该第一检测站包括第一探针组件，第一载具组件以及第一密封组件；以及
第二检测站，用于校准第二压力传感器，该第二检测站包括第二探针组件，第二载具组件以及第二密封组件；
其中，该第一压力传感器与该第二压力传感器相异，该第一探针组件与该第二探针组件相异，且该第一密封组件与该第二密封组件相异。
2.如权利要求1所述的检测组件，其特征在于，该第一压力传感器为差压压力传感器。
3.如权利要求2所述的检测组件，其特征在于，该第一探针组件为差压探针组件，该第一载具组件为差压载具组件，该第一密封组件为差压密封组件，其中，该差压载具组件包括差压压力传感器料盘，该差压压力传感器料盘包括多个差压压力传感器芯片；该差压密封组件包括多个气接头，该多个气接头与该多个差压压力传感器芯片一一对应，校准压力经由该气接头进入对应的该差压压力传感器芯片中。
4.如权利要求3所述的检测组件，其特征在于，该差压探针组件包括第一定位柱，该差压载具组件包括第一定位孔，该第一定位柱插入该第一定位孔中，该差压探针组件与该差压载具组件相对准。
5.如权利要求3所述的检测组件，其特征在于，该差压探针组件包括第一底面，该第一底面朝向该差压载具组件，该第一底面形成内凹的第一容置腔，该第一容置腔包括第一针板，多个第一探针与多个第一预压块分别突出于该第一针板，其中，该多个第一预压块与该多个差压压...
【专利技术属性】
技术研发人员：袁进书，于成奇，高洪连，
申请(专利权)人：苏州纳芯微电子股份有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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