一种超净高纯异丙醇高效节能环保连续生产工艺制造技术

本发明专利技术实施例公开了一种超净高纯异丙醇高效节能环保连续生产工艺，包括先将质量百分比浓度为98％的工业级异丙醇自分子筛吸附塔的塔底部进入，经分子筛吸附塔脱水后自塔顶部流出，得到含水量小于100ppm的高纯异丙醇，将分子筛吸附塔中取出的高纯异丙醇送入过滤器，以去除粒径1μm以上的颗粒，之后将过滤后的高纯异丙醇送入蒸馏塔中，通过精馏后进入冷凝器中，冷凝结束制得所述超净高纯异丙醇。本发明专利技术实施例提供超净高纯异丙醇高效节能环保连续生产工艺，通过依次经分子筛吸附塔、过滤器、蒸馏塔和冷凝器后制得的超净高纯异丙醇收率高，有效解决超净高纯异丙醇纯度不高的问题。

A continuous production process of super clean and high purity isopropanol with high efficiency, energy saving and environmental protection

【技术实现步骤摘要】
一种超净高纯异丙醇高效节能环保连续生产工艺
本专利技术涉及微电子化学试剂生产领域，具体涉及一种超净高纯异丙醇高效节能环保连续生产工艺。
技术介绍
随着半导体技术的迅速发展，对超净高纯试剂的要求越来越高。在集成电路(IC)的加工过程中，超净高纯试剂主要用于芯片及硅圆片表面的清洗和刻蚀，其纯度和洁净度对集成电路的成品率、电性能及可靠性有着十分重大的影响。超净高纯异丙醇作为一种重要的微电子化学品已经广泛用于半导体、大规模集成电路加工过程中的清洗、干燥等方面。随着IC的加工尺寸已进入亚微米、深亚微米时代，对与之配套的超净高纯异丙醇提出了更高的要求，要求颗粒和杂质含量降低1～3个数量级，达到国际半导体设备和材料组织制定的SEMIC12标准，其中金属阳离子含量小于0.1ppb，颗粒大小控制在0.5μm以下。目前，超净高纯异丙醇的纯度不高，成为人们亟待解决的问题。
技术实现思路
为此，本专利技术实施例提供一种超净高纯异丙醇高效节能环保连续生产工艺，以解决现有技术中超净高纯异丙醇纯度不高的问题。为了实现上述目的，本专利技术实本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超净高纯异丙醇高效节能环保连续生产工艺，其特征在于：包括先将质量百分比浓度为98％的工业级异丙醇自分子筛吸附塔的塔底部进入，经分子筛吸附塔脱水后自塔顶部流出，得到含水量小于100ppm的高纯异丙醇，将分子筛吸附塔中取出的高纯异丙醇送入过滤器，以去除粒径1μm以上的颗粒，之后将过滤后的高纯异丙醇送入蒸馏塔中，通过精馏后进入冷凝器中，冷凝结束制得所述超净高纯异丙醇。/n

【技术特征摘要】
1.一种超净高纯异丙醇高效节能环保连续生产工艺，其特征在于：包括先将质量百分比浓度为98％的工业级异丙醇自分子筛吸附塔的塔底部进入，经分子筛吸附塔脱水后自塔顶部流出，得到含水量小于100ppm的高纯异丙醇，将分子筛吸附塔中取出的高纯异丙醇送入过滤器，以去除粒径1μm以上的颗粒，之后将过滤后的高纯异丙醇送入蒸馏塔中，通过精馏后进入冷凝器中，冷凝结束制得所述超净高纯异丙醇。


2.根据权利要求1所述超净高纯异丙醇高效节能环保连续生产工艺，其特征在于：精馏后温度加热到低于沸点6—10℃，之后进入冷凝器中。


3.根据权利要求2所述超净高纯异丙醇高效节能环保连续生产工艺，其特征在于：还包括冷凝器中处理后再次加热到低于沸点10—15℃，之后再次进入冷凝器中。


4.根据权利要求3所述超净高纯异丙醇高效节能环保连续生产工艺，其特征在于：精馏后初次加热的温度高于...

【专利技术属性】
技术研发人员：戈士勇，何珂，
申请(专利权)人：江苏中德电子材料科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32