一种半导体六边形微米碟激光器制造技术

本发明专利技术属于半导体微腔激光器领域，为解决六边形回音壁模式品质因子低与三角形回音壁模式出射难的问题：公开了一种半导体六边形微米碟激光器，该装置利用高折射率增益材料的受激辐射物理特性，通过分布式布拉格反射层来降低微腔激光器光学损耗，半导体六边形微米碟作为光学谐振腔与激光增益物质，激光器作为光学泵浦源提供光学增益，当增益超过微腔激光器阈值后产生激光出射；通过控制泵浦源激光光斑位于六边形微米碟角落，在受激辐射后产生双三角回音壁光学谐振模式的激光出射。本发明专利技术相比较常规六边形和三角形回音壁光谐振模式的激光器同时具有高的品质因子和易于激光出射的优点。

A semiconductor hexagon micro disk laser

【技术实现步骤摘要】
一种半导体六边形微米碟激光器
本专利技术涉及半导体微腔激光器领域，具体涉及一种半导体六边形微米碟激光器。
技术介绍
半导体材料在微纳发光器件与光电集成领域具有广阔的应用价值从而受到了科学家们的广泛关注。特别对于具有高折射率，直接带隙的半导体，如GaN,ZnO，GaAs，InP,钙钛矿等，可以直接作为增益物质与谐振腔来制作微腔激光器。此外，GaInN，AlGaN,GaInAs等化合物制作的探测器与发光器件还可以覆盖紫外，可见光，以及近红外的宽波段。回音壁模式(Whispering-galleryMode)微腔激光器由于使用光在介质表面全反射形成周期性谐振的原理，相较于法布里-珀罗模式(Fabry–PérotMode)具有体积小，品质因子高，阈值低，易集成等优点而被广泛研究。基于半导体材料的回音壁模式微腔激光器，可用于光通信，光存储，化学生物探测等领域。目前报道的半导体回音壁模式微腔激光器方面的研究主要使用微米碟结构，其中六边形微米碟被广泛研究，这是由于多数宽禁带，直接带隙的半导体多为纤锌矿结构，导致外延生长获得的微米碟为六棱柱的几何形态。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体六边形微米碟激光器，其特征在于包括：反射衬底，半导体六边形微米碟，激光器；所述半导体六边形微米碟设置在所述反射衬底上；激光器的出射光垂直于半导体六边形微米碟表面，且照射在半导体六边形微米碟的六个边角之中任意一个边角处；所述半导体六边形微米碟的侧壁均为平面，其中一个侧壁为前腔，其余五个侧壁为后腔；所述后腔表面均设置有分布式布拉格反射层，双三角回音壁光谐振模式的激光从前腔出射。/n

【技术特征摘要】
1.一种半导体六边形微米碟激光器，其特征在于包括：反射衬底，半导体六边形微米碟，激光器；所述半导体六边形微米碟设置在所述反射衬底上；激光器的出射光垂直于半导体六边形微米碟表面，且照射在半导体六边形微米碟的六个边角之中任意一个边角处；所述半导体六边形微米碟的侧壁均为平面，其中一个侧壁为前腔，其余五个侧壁为后腔；所述后腔表面均设置有分布式布拉格反射层，双三角回音壁光谐振模式的激光从前腔出射。


2.根据权利要求1所述的一种半导体六边形微米碟激光...

【专利技术属性】
技术研发人员：曹冰，何耿，王钦华，熊先杰，袁志豪，周浩，罗安林，陈王义博，徐立跃，
申请(专利权)人：苏州大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32