光栅波导微流体检测系统技术方案

本发明专利技术提供一种光栅波导微流体检测系统，包括微流体芯片、显微镜、测量装置和分析装置；微流体芯片包括：光栅波导和微流道，光栅波导包括出射光栅，出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内，还包括：依次由下而上设置的衬底、下包层、波导层、保护层、上包层和流道盖板，所述波导层用以形成所述光栅波导；所述保护层用以覆盖所述光栅波导并保护所述出射光栅；所述微流道贯穿所述上包层以暴露出所述保护层。具有有益效果：生产芯片级光学检测系统，把传统的台式甚至大型的光学系统缩小到芯片尺寸，保证同等甚至更出色的分析性能，实现微纳尺度下的生物样品的高通量芯片级光学检测和分析集成系统，大幅度降低系统成本。

【技术实现步骤摘要】
光栅波导微流体检测系统
本专利技术涉及一种光栅波导微流体检测系统，尤其涉及一种光栅波导微流体生物检测系统。
技术介绍
在现代生化分析流程中，高通量检测设备已经被广泛使用。这些设备大多采用基于微流体技术或者微孔阵列的生物芯片，装载在高性能的光学系统中，实现对诸如核酸、蛋白、病毒、细菌、细胞等等不同尺寸的生物样品的分析。这些光学系统的设计通常都基于复杂的几何光学，其体积大、成本高、需要光学准直、维护成本较高。在精准医疗时代，小型化、高性能、低成本和可移动的集成化分析系统受到很大关注。尤其是labonchip的概念，经过几十年的发展，基于微流体技术对生物样品的操控方面取得了长足的进步，但真正的labonchip系统仍然缺少一种微纳尺度下的高通量生物样品的芯片级的片上光学检测和分析集成系统。
技术实现思路
为解决目前现代生化分析仪器体积庞大、成本高和满足精准医疗时代所需求的仪器小型化、可移动和集成化等一系列新的需求。本专利技术通过集成电路量产工艺来生产这种芯片级光学检测和分析系统，将传统光学系统的功能通过集成光学或片上光学器本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光栅波导微流体检测系统，包括：微流体芯片、显微镜、测量装置和分析装置；所述微流体芯片包括：光栅波导和微流道，所述光栅波导包括出射光栅，其特征在于，所述出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内，所述显微镜用于收集所述微流道内的光信号并向所述测量装置传输所述光信号，所述测量装置用以处理所述光信号并产生待分析信号并向所述分析装置传输所述待分析信号，所述分析装置分析所述待分析信号形成光谱；/n所述微流体芯片还包括：依次由下而上设置的衬底、下包层、波导层、保护层、上包层和流道盖板，所述波导层是氮化硅材料，所述波导层用以形成所述光栅波导；所述保护层是二氧化硅材料，用以覆盖所...

【技术特征摘要】
1.一种光栅波导微流体检测系统，包括：微流体芯片、显微镜、测量装置和分析装置；所述微流体芯片包括：光栅波导和微流道，所述光栅波导包括出射光栅，其特征在于，所述出射光栅位于所述微流道下方用以将光沿垂直方向向上导入所述微流道内，所述显微镜用于收集所述微流道内的光信号并向所述测量装置传输所述光信号，所述测量装置用以处理所述光信号并产生待分析信号并向所述分析装置传输所述待分析信号，所述分析装置分析所述待分析信号形成光谱；
所述微流体芯片还包括：依次由下而上设置的衬底、下包层、波导层、保护层、上包层和流道盖板，所述波导层是氮化硅材料，所述波导层用以形成所述光栅波导；所述保护层是二氧化硅材料，用以覆盖所述光栅波导并保护所述出射光栅；
所述微流道贯穿所述上包层以暴露出所述保护层；
所述流道盖板覆盖所述微流道上开口，所述微流道盖板包括用以向所述微流道注入含待检测生物分子溶液的注液口；
所述下包层是厚度为2～3μm的二氧化硅，所述上包层是厚度为15～30μm的高分子聚合材料，所述微流道宽度为10-100μm。


2.根据权利要求1所述的系统，其特征在于，若干个所述光栅波导相互平行，以将光导入所述微流道，所述光栅波导的宽度...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈昌，刘博，王靖，
申请(专利权)人：上海新微技术研发中心有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31