一种增强拉曼效应的悬空衬底及其制备方法技术

技术编号:24165364 阅读:26 留言:0更新日期:2020-05-16 01:18
本发明专利技术属于检测拉曼光谱的技术领域,特别涉及一种增强拉曼效应的悬空衬底及其制备方法。所述增强拉曼效应的悬空衬底,包括纳米级厚度的悬空基片和沉积在所述悬空基片一侧的纳米级厚度的金属层,所述金属层上设置有周期性排列的通孔。本发明专利技术通过在悬空基片上镀一层纳米级厚度的金属,再利用聚焦离子束在金属层上加工周期穿孔阵列得到的衬底,方法简单,操作性强,成功率较高。

A kind of suspended substrate with enhanced Raman effect and its preparation method

【技术实现步骤摘要】
一种增强拉曼效应的悬空衬底及其制备方法
本专利技术属于检测拉曼光谱的
,特别涉及一种增强拉曼效应的衬底及其制备方法。
技术介绍
拉曼效应是一种很弱的散射,是由分子振动、固体中的光学声子等元激发与入射光相互作用产生的非弹性散射。由于在大分子或者较长波段情况下,不好测量材料的拉曼光谱,因此我们专利技术了一种可以增强拉曼效应的悬空衬底,可以解决这一问题。目前已经出现的表面增强拉曼散射的衬底是利用电化学、模板法等制备的。对于电化学方法,虽方便快速,但经过多次电化学氧化还原,使得电极变得粗糙,粗糙程度难以控制,会降低表面覆盖度与光谱的重现性。对于模板法,装置简单,形态可控。但是对于合成材料之后的处理硬模板的工艺流程复杂,若用软模板,则难以对合成材料的形貌进行控制。有部分现有专利技术在胶质金属颗粒如Ag或Au或者这些金属的粗糙表面上覆盖样品,来测其拉曼光谱,虽然可以增强样品拉曼光谱至1000倍,但是由于用来增强样品材料拉曼散射的衬底表面不光滑,不利于在其上均匀覆盖要增强的材料,因此用这种方法测量的结果不具有普遍性。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种增强拉曼效应的悬空衬底,其特征在于,包括纳米级厚度的悬空基片和沉积在所述悬空基片一侧的纳米级厚度的金属层,所述金属层上设置有周期性排列的通孔。/n

【技术特征摘要】
1.一种增强拉曼效应的悬空衬底,其特征在于,包括纳米级厚度的悬空基片和沉积在所述悬空基片一侧的纳米级厚度的金属层,所述金属层上设置有周期性排列的通孔。


2.根据权利要求1所述的增强拉曼效应的悬空衬底,其特征在于,所述悬空基片为氮化硅基片或氧化硅基片;
所述金属层为贵金属层。


3.根据权利要求2所述的增强拉曼效应的悬空衬底,其特征在于,所述贵金属层中的贵金属为银和/或金。


4.根据权利要求3所述的增强拉曼效应的悬空衬底,其特征在于,所述悬空基片的厚度为5~30nm;所述贵金属层的厚度为30~100nm。


5.根据权利要求1所述的增强拉曼效应的悬空衬底,其特征在于,所述通孔为圆形通孔。

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【专利技术属性】
技术研发人员:武山冷庆汪靖萱张朋
申请(专利权)人:阜阳师范大学
类型:发明
国别省市:安徽;34

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