一种用于硅片线切机主轴冷却的高速旋转接头制造技术

技术编号:24155237 阅读:55 留言:0更新日期:2020-05-15 22:48
本发明专利技术公开了一种用于硅片线切机主轴冷却的高速旋转接头,包括空心轴,所述空心轴内部活动设置有主轴,所述空心轴一端外侧设置有第一壳体,所述空心轴远离第一壳体的一端外侧设置有第二壳体。本发明专利技术通过将主轴套在空心轴内部,再在空心轴上分别安装第一壳体和第二壳体,进水口和出水口也是分别安装在第一壳体和第二壳体上的,在使用时,可通过空心轴与主轴之间的连接进行左右的转轴,再通过空心轴与第一壳体、第二壳体的连接实现上下的错位转动,即完成了壳不转、轴转动的效果,使得本旋转接头具有角度可调的效果,从而使得本旋转接头能够满足硅片线切机主轴更多的使用需求,从而使得本旋转接头具有较好的适应性。

A high speed rotary joint used for cooling the spindle of wafer cutting machine

【技术实现步骤摘要】
一种用于硅片线切机主轴冷却的高速旋转接头
本专利技术属于家兔产箱领域,尤其涉及一种用于硅片线切机主轴冷却的高速旋转接头。
技术介绍
旋转接头是指由介质:水,工作转速:3300rpm,工作温度:70℃,工作压力:7兆帕,过滤直径:60um旋转接头支持多个通路数量同时传送水的设计结构,采用法兰式连接,有效的集成到客户设备当中,旋转接头类型:液压旋转接头、高压旋转接头、多通路旋转接头、高速旋转接头、高温旋转接头、单通道旋转接头、专用旋转接头LED专用旋转接头、挖掘机专用旋转接头和机床专用旋转接头,随着各个领域的发展,对旋转结构的使用范围更加广泛,因此,对一种角度可调式旋转接头的需求日益增长。
技术实现思路
本专利技术提供一种用于硅片线切机主轴冷却的高速旋转接头,旨在解决上述
技术介绍
中所提出的问题。本专利技术是这样实现的,一种用于硅片线切机主轴冷却的高速旋转接头,包括空心轴,所述空心轴内部活动设置有主轴,所述空心轴一端外侧设置有第一壳体,所述空心轴远离第一壳体的一端外侧设置有第二壳体,所述第一壳体顶部设置有进水口,所述第二壳本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于硅片线切机主轴冷却的高速旋转接头,包括空心轴(1),其特征在于:所述空心轴(1)内部活动设置有主轴(2),所述空心轴(1)一端外侧设置有第一壳体(3),所述空心轴(1)远离第一壳体(3)的一端外侧设置有第二壳体(4),所述第一壳体(3)顶部设置有进水口(5),所述第二壳体(4)顶部设置有出水口(6),所述第一壳体(3)、第二壳体(4)内侧之间均设置有隔水环(7),所述第一壳体(3)、第二壳体(4)内部在隔水环(7)两端均设置机械密封机构(8),所述进水口(5)、出水口(6)底端在机械密封机构(8)外侧均设置有L型密封圈(9),所述第一壳体(3)、第二壳体(4)内部一端在空心轴(1)...

【技术特征摘要】
1.一种用于硅片线切机主轴冷却的高速旋转接头,包括空心轴(1),其特征在于:所述空心轴(1)内部活动设置有主轴(2),所述空心轴(1)一端外侧设置有第一壳体(3),所述空心轴(1)远离第一壳体(3)的一端外侧设置有第二壳体(4),所述第一壳体(3)顶部设置有进水口(5),所述第二壳体(4)顶部设置有出水口(6),所述第一壳体(3)、第二壳体(4)内侧之间均设置有隔水环(7),所述第一壳体(3)、第二壳体(4)内部在隔水环(7)两端均设置机械密封机构(8),所述进水口(5)、出水口(6)底端在机械密封机构(8)外侧均设置有L型密封圈(9),所述第一壳体(3)、第二壳体(4)内部一端在空心轴(1)外侧均设置有深沟球轴承(10),所述第一壳体(3)、第二壳体(4)内部在深沟球轴承(10)外侧均设置有挡圈(11),所述第一壳体(3)一端与第二壳体(4)之间设置有O型圈(12),所述第二壳体(4)、主轴(2)外部一端外侧表面均安装有内六角螺钉(13),所述第一壳体(3)、第二壳体(4)外侧表面均设置有消音器(20)。

【专利技术属性】
技术研发人员:侯继伟邢山山沈一峰
申请(专利权)人:杭州弘晟智能科技有限公司
类型:发明
国别省市:浙江;33

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