一种制程设备的控制方法及装置制造方法及图纸

技术编号:24088104 阅读:34 留言:0更新日期:2020-05-09 06:53
本发明专利技术提供一种制程设备的控制方法及装置,该方法包括:获取所述制程组件的预设制程数据,其中所述预设制程数据包括多个预设制程参数;获取所述测量组件的测量数据;所述测量数据包括多个测量参数;所述测量参数与所述预设制程参数对应;根据所述测量数据在所述预设制程数据中选取满足设定条件的预设制程参数作为目标制程参数;根据目标制程参数对所述制程组件的初始制程参数进行调整,以使调整后的制程参数满足预设参数条件。本发明专利技术的制程设备的控制方法及装置,能够提高产品良率。

A control method and device of process equipment

【技术实现步骤摘要】
一种制程设备的控制方法及装置
本专利技术涉及显示
,特别是涉及一种制程设备的控制方法及装置。
技术介绍
显示面板在制程前需要设置好制程参数,对于同一批次的产品具有同一规格或者同一工艺,也即在制程过程中同一批次的显示面板采用同一制程参数进行制程。目前现有的显示面板的制程参数主要依赖人工进行设定。然而,当同一批次中的制作工艺或者产品规格变化时,如果仍然采用之前的制程参数,导致部分显示面板不符合制程要求,从而降低了产品良率。因此,有必要提供一种制程设备的控制方法及装置,以解决现有技术所存在的问题。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种制程设备的控制方法及装置,能够提高产品良率。为解决上述技术问题,本专利技术提供一种制程设备的控制方法,其中所述制程设备包括制程组件和测量组件,所述制程组件用于制作显示面板,所述测量组件用于对显示面板中各膜层进行测量,得到测量数据;所述方法包括:获取所述制程组件的预设制程数据,其中所述预设制程数据包括多个预设制程参数;获取所述测量组件的测量本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制程设备的控制方法,其特征在于,所述制程设备包括制程组件和测量组件,所述制程组件用于制作显示面板,所述测量组件用于对显示面板中各膜层进行测量,得到测量数据;所述方法包括:/n获取所述制程组件的预设制程数据,其中所述预设制程数据包括多个预设制程参数;/n获取所述测量组件的测量数据;所述测量数据包括多个测量参数;所述测量参数与所述预设制程参数对应;/n根据所述测量数据在所述预设制程数据中选取满足设定条件的预设制程参数作为目标制程参数;/n根据所述目标制程参数对所述制程组件的初始制程参数进行调整,以使调整后的制程参数满足预设参数条件。/n

【技术特征摘要】
1.一种制程设备的控制方法,其特征在于,所述制程设备包括制程组件和测量组件,所述制程组件用于制作显示面板,所述测量组件用于对显示面板中各膜层进行测量,得到测量数据;所述方法包括:
获取所述制程组件的预设制程数据,其中所述预设制程数据包括多个预设制程参数;
获取所述测量组件的测量数据;所述测量数据包括多个测量参数;所述测量参数与所述预设制程参数对应;
根据所述测量数据在所述预设制程数据中选取满足设定条件的预设制程参数作为目标制程参数;
根据所述目标制程参数对所述制程组件的初始制程参数进行调整,以使调整后的制程参数满足预设参数条件。


2.根据权利要求1所述的制程设备的控制方法,其特征在于,所述根据所述测量数据在所述预设制程数据中选取满足设定条件的预设制程参数作为目标制程参数的步骤包括:
当每个所述测量参数大于或等于预设阈值时,将所述测量参数对应的预设制程参数作为目标制程参数。


3.根据权利要求1所述的制程设备的控制方法,其特征在于,所述根据目标制程参数对所述制程组件的初始制程参数进行调整的步骤之前,所述方法还包括:
判断生产条件是否满足预设条件;
所述根据目标制程参数对所述制程组件的初始制程参数进行调整的步骤包括:
当所述生产条件满足预设条件时,根据目标制程参数对所述制程组件的初始制程参数进行调整。


4.根据权利要求3所述的制程设备的控制方法,其特征在于,
当所述生产条件不满足预设条件时,生成提示信息,以对所述生产条件进行调整。


5.根据权利要求3所述的制程设备的控制方法,其特征在于,所述判断生产条件是否满足预设条件的步骤包括:
当接收到所述制程组件发送的制程请求时,...

【专利技术属性】
技术研发人员:周利锋
申请(专利权)人:深圳市华星光电半导体显示技术有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

网友询问留言 已有0条评论
  • 还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。

1