热导气体分析仪制造技术

本实用新型专利技术公开了一种热导气体分析仪，该热导气体分析仪包括气室、设置在气室内的内腔、安装在内腔中的半导体热导传感器以及设置在内腔的一端的气流通路；气流通路上开设有分别与内腔的一端连通的进气孔和排气孔，进气孔开设在气流通路的进气侧，排气孔开设在气流通路的排气侧；传感器模块通过导线与数据分析模块连接；内腔的另一端通过密封胶密封。样气由气流通路的进气侧进入气流通路，然后通过气流通路上进气孔分流进入内腔中，降低了传感器模块收气流变化的影响，同时，该申请利用半导体热导传感器替换电热丝，稳定性好，可靠性强，灵敏度高，响应速度快，温度特性好，在使用时，漂移小，不需要频繁校准，可大大提高热导气体分析仪的性能。

Thermal conductivity gas analyzer

【技术实现步骤摘要】
热导气体分析仪
本技术涉及一种热导气体分析仪。
技术介绍
热导气体分析仪根据不同气体具有不同热传导能力的原理，通过测定混合气体导热系数来推算其中某些组分的含量。一般热导气体传感器采用电热丝作为感受气体热导系数变化的敏感元件。采用电热丝的热导气体传感器的分析仪需要两个敏感元件，一个用于测量，另一个用于参比，在工作时，用于参比的敏感元件阻值不发生变化，用于测量的敏感元件阻值随气体热导系数的变化而变化。通过惠斯通电桥很容易测得其阻值变化量，进而计算出被测气体浓度。如附图1所示，其中R3为测量敏感元件，位于样气流路中；R4为参比敏感元件，其密封于参比气体之中；R1、R2为固定值电阻器。R1、R2、R3和R4，再加上恒压源或恒流源，共同组成惠斯通电桥。然而电热丝需要经过手工切割、焊接、涂敷，封装等步骤，制作过程复杂，影响因素多，因而一致性较差。用于测量和参比的两个敏感元件阻值及温度系数需要高度匹配，否则将引起漂移。另外，为加强电热丝强度，需要在其表面涂覆玻璃或其他材料，导致敏感元件响应速度慢，灵敏度低。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种热导气体分析仪，其特征在于，包括气室、设置在气室内的内腔、安装在内腔中的传感器模块以及设置在内腔的一端的气流通路；所述气流通路上开设有分别与所述内腔的所述一端连通的进气孔和排气孔，所述进气孔开设在气流通路的进气侧，排气孔开设在气流通路的排气侧；所述传感器模块包括热导气体传感器和温度传感器；所述内腔的另一端通过密封胶密封。/n

【技术特征摘要】
1.一种热导气体分析仪，其特征在于，包括气室、设置在气室内的内腔、安装在内腔中的传感器模块以及设置在内腔的一端的气流通路；所述气流通路上开设有分别与所述内腔的所述一端连通的进气孔和排气孔，所述进气孔开设在气流通路的进气侧，排气孔开设在气流通路的排气侧；所述传感器模块包括热导气体传感器和温度传感器；所述内腔的另一端通过密封胶密封。


2.根据权利要求1所述的热导气体分析仪，其特征在于，所述进气孔的孔径小于排气孔的孔径。


3.根据权利要求1或2所述的热导气体分析仪，其特征在于，所述热导气体传感器为半导体热导传感器，半导体热导传感器采用MEMS技术将敏感元件集成于半导体底座上。


4.根据权利要求3所述的热导气体分析仪，其特征在于，所述气流通路的进气端内填充有透气填料。


5.根据权利要求4所述的热导气体分析仪，其特征在于，所述透气填料采用金属材料制成的透气填料。

【专利技术属性】
技术研发人员：郭磊，李环，
申请(专利权)人：重庆川仪分析仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆;50