一种具有过滤大颗粒物功能的颗粒物传感器芯片制造技术

本实用新型专利技术提供了一种具有过滤大颗粒物功能的颗粒物传感器芯片，包括：第一氧化铝基片；第二氧化铝基片，与所述第一氧化铝基片叠合；窄气道，位于所述第一氧化铝基片与所述第二氧化铝基片之间；工作电极对，设于所述窄气道内，包括两个相向设置的工作电极，任一所述工作电极均具有复数个梳子状的电极齿，一所述工作电极的电极齿与另一所述工作电极的电极齿相向交叉设置；窄气道，将所述窄气道连通于外部，且高度小于或等于任两相邻电极齿之间的间距的一半。本实用新型专利技术具有过滤大颗粒物功能，防止大粒径颗粒物沉积在PM传感器的交叉电极上，从而防止因电极间的电阻突变造成实际PM数量与输出信号不相关的情况出现。

A particle sensor chip with the function of filtering large particles

【技术实现步骤摘要】
一种具有过滤大颗粒物功能的颗粒物传感器芯片
本技术涉及一种颗粒物传感器芯片。
技术介绍
排放法规日益严格，随着“国Ⅵ”排放标准的执行，为了控制柴油机尾气排放中含有的大量颗粒物(PM)尤其是PM2.5颗粒物，国内外都在积极开展对多种废气过滤方式的研究。颗粒物捕集器(DPF)广泛应用于柴油车上，这也是实现柴油机颗粒物排放控制最为有效和简单的方法。DPF的可靠再生和失效监测需要精准的检测方法，而颗粒物传感器(PM传感器)在这方面发挥着非常重要的作用。PM传感器分电阻型、电化学型、漏电流型等，其中，以电阻型PM传感器居多。众所周知的一种电阻型PM传感器，其原理基于多层陶瓷的传感技术。如图1所示，包括一氧化锆基片1’、氧化铝绝缘层2’、工作电极对3’、加热元件(未图示)和测温元件(未图示)，工作电极对3’由一对印刷在氧化锆基片1’上的工作电极3’构成，每个工作电极32’均具有复数个梳子状的电极齿322’，一所述工作电极32’的电极齿322’与另一所述工作电极32’的电极齿322’相向交叉设置，呈互相啮合的状态。再如图2所示，该电极初始电阻本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有过滤大颗粒物功能的颗粒物传感器芯片，其特征在于：包括：/n第一氧化铝基片；/n第二氧化铝基片，与所述第一氧化铝基片叠合；/n窄气道，位于所述第一氧化铝基片与所述第二氧化铝基片之间，并连通于外部，且高度小于或等于任两相邻电极齿之间的间距的一半；/n工作电极对，设于所述窄气道内，包括两个相向设置的工作电极，任一所述工作电极均具有复数个梳子状的电极齿，一所述工作电极的电极齿与另一所述工作电极的电极齿相向交叉设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种具有过滤大颗粒物功能的颗粒物传感器芯片，其特征在于：包括：
第一氧化铝基片；
第二氧化铝基片，与所述第一氧化铝基片叠合；
窄气道，位于所述第一氧化铝基片与所述第二氧化铝基片之间，并连通于外部，且高度小于或等于任两相邻电极齿之间的间距的一半；
工作电极对，设于所述窄气道内，包括两个相向设置的工作电极，任一所述工作电极均具有复数个梳子状的电极齿，一所述工作电极的电极齿与另一所述工作电极的电极齿相向交叉设置。


2.如权利要求1所述的一种具有过滤大颗粒物功能的颗粒物传感器芯片，其特征在于：所述窄...

【专利技术属性】
技术研发人员：张琛，洪旭，
申请(专利权)人：厦门海赛米克新材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：福建;35