有微孔的钛或钛合金的氧化薄膜的制造方法技术

处理装置(1)具有处理槽(2)以及设置在该处理槽(2)内的阴极部件(4)和阳极部件(5)，上述阴极部件(4)和阳极部件(5)分别连接于直流电源(3)的负极和正极。在该处理装置1中，阳极部件(5)是被处理部件，其使用的是使用了钛或钛合金制薄膜制成的部件。将溶解了0.5重量％以下的氟化氢的化合物的氧化剂浓度为5g/L以上的硫酸溶液或电解硫酸液(S)装在该处理槽(2)内，以1～20A/dm

Manufacturing method of oxide film of titanium or titanium alloy with micropores

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】有微孔的钛或钛合金的氧化薄膜的制造方法
本专利技术涉及一种有微孔的钛或钛合金的氧化薄膜的制造方法，特别涉及适合于形成100nm以下的微孔的一种有微孔的钛或钛合金的氧化薄膜的制造方法。
技术介绍
钛或钛合金部件是具有高硬度和高强度的轻金属，而且具有耐腐蚀性强、延性高这样的优异特性，因此被广为使用。进一步，通过对钛以及钛合金部件实施阳极氧化处理而形成阳极氧化皮膜，从而不仅可实现着色、耐磨损性的提高、光催化剂功能，而且由于生物相容性高其用途还可延伸至医疗目的等。这种在钛或钛合金上形成阳极氧化皮膜的方法已知的有，例如，以钛或钛合金为阳极，在硫酸、磷酸、过氧化氢的混合液等电解液中进行电解处理的方法(例如专利文献1、专利文献2等)。根据这些文献，通过施加100V以上的高电压进行火花放电处理从而形成微孔，由此能够赋予光催化剂功能，去除有机化合物、细菌等有害物质。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特公平6-41640号公报；专利文献2：日本特公平8-984号公报。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种有微孔的钛或钛合金的氧化薄膜的制造方法，其中，以钛或钛合金制薄膜为阳极，在溶解了0.5重量％以下的氟化氢的化合物的硫酸溶液中、或在溶解了0.5重量％以下的氟化氢的化合物且氧化剂浓度为5g/L以上的电解硫酸液中，以1～20A/dm

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171012 JP 2017-1988301.一种有微孔的钛或钛合金的氧化薄膜的制造方法，其中，以钛或钛合金制薄膜为阳极，在溶解了0.5重量％以下的氟化氢的化合物的硫酸溶液中、或在溶解了0.5重量％以下的氟化氢的化合物且氧化剂浓度为5g/L以上的电解硫酸液中，以1～20A/dm2的电流密度进行电解处理。


2.根据权利要求1所述的有微孔的钛或钛合金的氧化薄膜的制造方法，其中，所述硫酸溶液或电解硫酸液的硫酸浓度为10重量％以上。


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【专利技术属性】
技术研发人员：吉村南美，永井达夫，
申请(专利权)人：栗田工业株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP