一种排湿装置、空调设备及光刻机制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种排湿装置、空调设备及光刻机，所述排湿装置可拆卸设置于所述空调设备的进风口，所述排湿装置控制进入所述空调设备的空气的第一湿度，所述空调设备控制进入所述光刻机的空气的第二湿度。本实用新型专利技术提供的所述排湿装置可拆卸设置于所述空调设备的进风口，无需改变现有空调设备的结构，结构简单，成本低廉；而且易于操作实施，本实用新型专利技术提供的空调设备，能够控制进入光刻机的空气的湿度，开关空调设备能够保证光刻机内部的湿度维持恒定，使得空气湿度维持恒定，不存在跳变的情况，对所述光刻机内部部件起到保护作用。

A kind of dehumidification device, air conditioning equipment and photolithography machine

【技术实现步骤摘要】
一种排湿装置、空调设备及光刻机
本技术涉及半导体设备制造领域，尤其涉及一种排湿装置、空调设备及光刻机。
技术介绍
在传统的光刻机中，通常配有空调设备来对光刻机的环境进行恒定度和恒定湿度的控制，温度和湿度控制的主要目的在于稳定光刻机腔体内部光学部件的温度和湿度。尤其是对于预留排湿口的光刻机来说，当空调设备停止工作时，所排湿口用于保证所述光刻机腔体内部的环境湿度不会过高，从而对光刻机腔体内部的部件起到保护作用。然而，对于没有预留排湿口的光刻机来说，无法保证内部光学部件不会因为空调设备的工作停止从而受到污染。因此，对于没有预留排湿口的光刻机来说，在空调设备开启/停止工作瞬间，光刻机腔体内的空气湿度变化大，如附图1所示，正常情况下，光刻机腔体内的空气湿度为50％左右，而在开关空调设备的瞬时，所述光刻机腔体内的空气湿度出现异常时可达90％；如附图2所示，投影物镜头(设置于光刻机腔体内的重要光学部件之一)的脏污程度也临近警戒值3.8％，直逼停机清理的阈值4％，其中，在附图2中，纵坐标表示投影物镜脏污成都指标，单位为百分比，横坐标为数据点，即本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种排湿装置，用于空调设备，其特征在于，所述排湿装置可拆卸设置于所述空调设备的进风口，所述排湿装置控制进入所述空调设备的空气的第一湿度。/n

【技术特征摘要】
1.一种排湿装置，用于空调设备，其特征在于，所述排湿装置可拆卸设置于所述空调设备的进风口，所述排湿装置控制进入所述空调设备的空气的第一湿度。


2.根据权利要求1所述的排湿装置，其特征在于，当所述排湿装置设置于所述空调设备的进风口时，所述排湿装置处于工作状态。


3.根据权利要求1所述的排湿装置，其特征在于，所述空调设备包括湿度控制装置，所述排湿装置与所述湿度控制装置配合用于控制所述空调设备排出的空气的第二湿度。


4.根据权利要求3所述的排湿装置，其特征在于，当所述空调设备工作时，所述湿度控制装置处于工作状态；当所述空调设备闲置时，所述湿度控制装置处于闲置状态；
当所述空调设备将要关闭至下次开启之前，所述排湿装置处于工作状态。


5.根据权利要求4所述的排湿装置，其特征在于，当所述空调设备将要关闭时，移除所...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴天祺，陆捷，
申请(专利权)人：上海华力微电子有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31