【技术实现步骤摘要】
流速调节装置
本技术涉及流速调节领域，特别涉及一种流速调节装置。
技术介绍
诸多设备需要用到气体、流体等流体进行工作，并且需要使流体的流速设定在一定范围内。并且，在许多情况下，需要人工手动调节管路上的调节阀以调节流速。以半导体光刻制程为例，在涂胶、清洗、刻蚀等步骤中均会用到化学药液。目前对于化学药液设备端的流速调节方式采用人工手动方式调节流体管路上的调节阀，调节阀包括朝向操作人员设置的锁紧旋钮和调节旋钮，通常完成一次调节过程需要采取的操作如下：旋松锁紧旋钮；旋转调节旋钮以调节流速，直至流速达到目标值；旋紧锁紧旋钮。但是，该调节过程至少存在三个方面的问题：一个是由于流速调节阀十分灵敏，手动调节旋钮时的微小变化就容易引起流速值大的变化，导致微调的过程比较困难、耗时；另外一个是由于旋紧锁紧旋钮动作的影响，旋紧锁紧旋钮后实际流速值会与旋紧锁紧旋钮前所调节的流速目标值产生差异，在对流速精度要求高的场合，往往需要再次重复上述手动调节过程并再次验证调节流速值是否在要求范围内，验证过程甚至会重复多次，也导致流速调节的过程非常耗时；还...
【技术保护点】
1.一种流速调节装置，其特征在于，用于连接一流速调节阀以调节所述流速调节阀的开度，所述流速调节装置包括一齿轮传动结构，所述齿轮传动结构包括主动齿轮以及与所述主动齿轮传动连接的从动齿轮，所述主动齿轮的角速度大于所述从动齿轮的角速度，所述从动齿轮与所述流速调节阀连接。/n
【技术特征摘要】
1.一种流速调节装置，其特征在于，用于连接一流速调节阀以调节所述流速调节阀的开度，所述流速调节装置包括一齿轮传动结构，所述齿轮传动结构包括主动齿轮以及与所述主动齿轮传动连接的从动齿轮，所述主动齿轮的角速度大于所述从动齿轮的角速度，所述从动齿轮与所述流速调节阀连接。
2.如权利要求1所述的流速调节装置，其特征在于，所述齿轮传动结构为一级传动结构，所述主动齿轮和所述从动齿轮的轮齿啮合。
3.如权利要求1所述的流速调节装置，其特征在于，所述齿轮传动结构为二级传动结构，所述主动齿轮与所述从动齿轮之间设置有过渡齿轮，所述主动齿轮、所述过渡齿轮和所述从动齿轮的轮齿依次啮合，所述过渡齿轮的半径介于所述主动齿轮和所述从动齿轮的半径之间。
4.如权利要求1所述的流速调节装置，其特征在于，所述齿轮传动结构为二级传动结构，所述主动齿轮与所述从动齿轮之间同轴设置有第一过渡齿轮和第二过渡齿轮，所述第一过渡齿轮的半径大于所述第二过渡齿轮的半径，所述第一过渡齿轮和所述第二过渡齿轮的角速度相同，所述主动齿轮与所述第一过渡齿轮的轮齿啮合，所述第二过渡齿轮与所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：程晋文，陈家宏，
申请(专利权)人：合肥晶合集成电路有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽;34
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