【技术实现步骤摘要】
一种柔性卡套配管
本实用涉及配管
,更具体地说,本实用涉及一种柔性卡套配管。
技术介绍
精密真空泵是半导体行业所必需的真空源设备,真空泵系统工作中需要有效的温度控制以防止泵体内蒸汽冷凝,泵体工作时,泵体温度有持续上升的趋势,需要水冷系统结合温度检测信号实施闭环控制,以实现对温度的稳定控制。水冷系统一般由控制阀岛,温度检测开关,控制系统,管路及接头组成,其中,管路为通用性配件,用于连接泵体的接口点并确保可靠的密封,且需适应不同批次的泵体。现有技术中,配管多为塑料管路,由于塑料材质在较大温差下容易胀裂、老化等原因失效,故需要改为不锈钢卡套配管,但不锈钢管路基本为刚性,很难适应不同泵体的尺寸微量变化,无差别安装时,会对不锈钢管路产生损伤,从而导致不锈钢管路破裂。
技术实现思路
为了克服现有技术的上述缺陷,本实用的实施例提供一种柔性卡套配管,通过设置柔性机构,在管路的中间部位形状设置为U形,有效的提升了管路的柔性,由橡胶材料制成的防护层避免对管路产生磨损,定位板对第一移动块和第二移动块的移动轨迹 ...
【技术保护点】
1.一种柔性卡套配管,其特征在于:包括柔性机构(1);/n所述柔性机构(1)包括管路(2),所述管路(2)中部为U形设置,所述管路(2)中部两侧均设有定位防护板(3),所述定位防护板(3)表面设有滑孔(4),所述滑孔(4)与管路(2)滑动连接,所述定位防护板(3)一侧设有侧向抵块(5),所述滑孔(4)背面设有定位孔(6),所述定位孔(6)内部设有定位板(7),所述定位板(7)与定位孔(6)滑动连接,所述定位孔(6)横截面形状设置为长方形,所述定位板(7)两端均固定设有限位板(8),所述定位板(7)外侧套接设有第一移动块(9),所述第一移动块(9)一侧设有第二移动块(10), ...
【技术特征摘要】
1.一种柔性卡套配管,其特征在于:包括柔性机构(1);
所述柔性机构(1)包括管路(2),所述管路(2)中部为U形设置,所述管路(2)中部两侧均设有定位防护板(3),所述定位防护板(3)表面设有滑孔(4),所述滑孔(4)与管路(2)滑动连接,所述定位防护板(3)一侧设有侧向抵块(5),所述滑孔(4)背面设有定位孔(6),所述定位孔(6)内部设有定位板(7),所述定位板(7)与定位孔(6)滑动连接,所述定位孔(6)横截面形状设置为长方形,所述定位板(7)两端均固定设有限位板(8),所述定位板(7)外侧套接设有第一移动块(9),所述第一移动块(9)一侧设有第二移动块(10),所述第一移动块(9)和第二移动块(10)前侧面均固定设有限位块(11),所述限位块(11)两侧均固定设有防护层(12),所述防护层(12)由橡胶材料制成,所述定位防护板(3)另一侧固定设有螺纹定位壳(13),所述螺纹定位壳(13)外侧设有移动定位壳(14),所述移动定位壳(14)与螺纹定位壳(13)螺纹连接。
2.根据权利要求1所述的一种柔性卡套配管,其特征在于:所述管路...
【专利技术属性】
技术研发人员:雷晓宏,吴桐,
申请(专利权)人:北京通嘉宏盛科技有限公司,
类型:新型
国别省市:北京;11
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