基于图片处理的金属靶材表面缺陷的检测设备制造技术

本发明专利技术公开了一种基于图片处理的金属靶材表面缺陷的检测设备，包括：工业相机，用于采集靶材溅射面高清图像；同轴光源，光通过斜射金属靶材，反射出均匀平行光，斜射进入相机的镜片，通过亮场照明，用于呈现靶材溅射面刀纹图像；条形光源，发出平行光，垂直照射至金属靶材上，反射后垂直射入相机的镜片，通过暗场照明，用于呈现靶材溅射面划痕图像。本发明专利技术的有益效果为：其检测效率高，检测结果准确。能有效的检测出靶材表面是否存在刀纹和刮痕。

Detection equipment of metal target surface defects based on image processing

【技术实现步骤摘要】
基于图片处理的金属靶材表面缺陷的检测设备
本专利技术涉及靶材
，具体涉及一种基于图片处理的金属靶材表面缺陷的检测设备。
技术介绍
随着社会进入信息时代，人类生产生活对各类半导体芯片、液晶面板等产品的需求飞速增加，而溅射靶材是加工制造这些产品不可或缺的原材料之一。其中金属溅射靶材纯度往往到达99.9%-99.999%，合格的光滑表面具有超高精度、平面度、易反光、非接触等特性，全世界范围内只有少数若干家企业能够加工制造此类产品。溅射靶材的加工需要使用高精度数控车床和精密刀具，完成一个溅射靶材要对其十几个表面做几十次车床精细加工。由于车床调试好坏、刀具磨损、环境震动等问题，靶材加工良率并不能做到100%，经常存在瑕疵品，如表面存在深浅不一的刀纹以及划痕等缺陷。目前，金属表面检测方法主要有：光学机械法，杠杆测量法和电容电学法，以上方法为都为接触式测量，测量仪器需要与被测产品表面接触，而靶材的原材料为99%以上高纯度金属，其材质非常软，接触式测量方法容易对产品造成二次划伤；激光测距法，使用高精度激光对产品表面进行测量，该测试方法依赖于激光测本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于图片处理的金属靶材表面缺陷的检测设备，其特征在于，包括：/n工业相机，用于采集靶材溅射面高清图像；/n同轴光源，光通过斜射金属靶材，反射出均匀平行光，斜射进入相机的镜片，通过亮场照明，用于呈现靶材溅射面刀纹图像；/n条形光源，发出平行光，垂直照射至金属靶材上，反射后垂直射入相机的镜片，通过暗场照明，用于呈现靶材溅射面划痕图像。/n

【技术特征摘要】
1.一种基于图片处理的金属靶材表面缺陷的检测设备，其特征在于，包括：
工业相机，用于采集靶材溅射面高清图像；
同轴光源，光通过斜射金属靶材，反射出均匀平行光，斜射进入相机的镜片，通过亮场照明，用于呈现靶材溅射面刀纹图像；
条形光源，发出平行光，垂直照射至金属靶材上，反射后垂直射入相机的镜片，通过暗场照...

【专利技术属性】
技术研发人员：王莹，
申请(专利权)人：苏州微微视视觉科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏;32