位移传感器制造技术

本公开涉及一种位移传感器，提高位移信号相对于被测定物的位移的线性度。位移传感器(1)具备：线圈(2)，通过对线圈(2)提供交流电流来使线圈(2)产生交流磁场，生成与根据被测定物的位置的位移而在所述被测定物中感应出的涡流相应的输出；温度测量器(9)，其测量所述线圈(2)周边的实际温度；以及位移信号生成部(6)，其使用所述线圈(2)周边的温度为规定值时的所述线圈(2)的输出与根据所述线圈(2)的输出求出的表示被进行温度校正后的所述被测定物的位置的位移的校正位移信号之间的相关关系，输出与所述实际温度及所述线圈(2)的输出对应的校正位移信号，来作为表示所述被测定物的位置的位移的位移信号。

Displacement sensor

【技术实现步骤摘要】
位移传感器
本申请以日本专利申请(日本特愿2018-195357、申请日：2018/10/16)为基础、基于该申请享受优先权利益。通过参照该申请来包括该申请的全部内容。本专利技术涉及一种以非接触的方式检测与被测定物之间的距离即间隙的位移传感器。
技术介绍
利用线圈的位移传感器具备使交流电流流过线圈的振荡器，并且具备对由线圈的阻抗变化引起的信号变化进行检测的电路。振荡器的振荡信号在由整流器变换为直流信号之后，通过线性化器生成与同被测定物之间的间隙相应地线性地变化的信号(参照专利文献1、2)。已知线圈的阻抗根据温度而变化。因此，在专利文献1中，根据温度来对从具有线圈的振荡器输出的振荡信号的振幅电平进行校正。另外，在专利文献2中，以与温度相应的校正值来对线性化器的输出进行校正。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2015-137888号公报专利文献2：日本特开平8-271204号公报
技术实现思路
专利技术要解决的问题在专利文献1中，在由整流器进行整流之前本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种位移传感器，具备：/n线圈，通过对所述线圈提供交流电流来使所述线圈产生交流磁场，生成与根据被测定物的位置的位移而在所述被测定物中感应出的涡流相应的输出；/n温度测量器，其测量所述线圈周边的实际温度；以及/n位移信号生成部，其使用所述线圈周边的温度为规定值时的所述线圈的输出与根据所述线圈的输出求出的表示被进行温度校正后的所述被测定物的位置的位移的校正位移信号之间的相关关系，输出与所述实际温度及所述线圈的输出对应的校正位移信号，来作为表示所述被测定物的位置的位移的位移信号。/n

【技术特征摘要】
20181016 JP 2018-1953571.一种位移传感器，具备：
线圈，通过对所述线圈提供交流电流来使所述线圈产生交流磁场，生成与根据被测定物的位置的位移而在所述被测定物中感应出的涡流相应的输出；
温度测量器，其测量所述线圈周边的实际温度；以及
位移信号生成部，其使用所述线圈周边的温度为规定值时的所述线圈的输出与根据所述线圈的输出求出的表示被进行温度校正后的所述被测定物的位置的位移的校正位移信号之间的相关关系，输出与所述实际温度及所述线圈的输出对应的校正位移信号，来作为表示所述被测定物的位置的位移的位移信号。


2.根据权利要求1所述的位移传感器，其特征在于，
还具备插值处理部，该插值处理部根据至少一个温度下的所述线圈的输出与所述校正位移信号之间的相关关系，对与由所述温度测量器测量出的实际温度对应的校正位移信号进行插值，
所述位移信号生成部输出由所述插值处理部进行插值后的校正位移信号，来作为所述位移信号。


3.根据权利要求2所述的位移传感器，其特征在于，
所述插值处理部以使所述校正位移信号相对于所述线圈的输出的变化线性地变化的方式对所述相关关系进行插值来生成新的相关关系。


4.根据权利要求2或3所述的位移传感器，其特征在于，
所述插值处理部根据互不相同的至少两个温度下的所述线圈的输出与所述校正位移信号之间的相关关系，来生成处于所述两个温度之间的中间温度下的所述相关关系。


5.根据权利要求2或3所述的位移传感器，其特征在于，还具备：
基板，其安装有所述位移信号生成部；以及
基板温度测量器，其测量所述基板的温度，
所述插值处理部...

【专利技术属性】
技术研发人员：久保山丰，中野泰志，井上直也，川口真史，
申请(专利权)人：纳博特斯克有限公司，新光电机株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP