【技术实现步骤摘要】
一种热电式自检测MEMS微波功率分配器及其制备方法
本专利技术涉及微波系统电子器件
，具体涉及一种热电式自检测MEMS微波功率分配器及其制备方法。
技术介绍
功率分配器是一种将一路输入信号能量分成两路或多路输出相等或不相等能量的器件。将多路信号能量合成一路输出的器件称为功率合成器。随着通讯和物联网行业发展，微波/毫米波器件的需求日益增加，特别是微波功率分配器作为一种微波功率分配与合成的器件，在微波系统中广泛应用。并且，对微波功率分配器的性能和可靠性提出了更高要求。通过对传统微波功率分配器的应用调研发现，它们在微系统组件中因装配焊接的问题会造成其性能劣化以及长期工作在较大微波功率下易导致隔离电阻的老化等问题，引起其输出不等分，甚至造成器件失效。因而，迫切需求一种具有在线自检测功能的微波功率分配器，即实时在线监测微波功率分配器的三个端口微波功率大小，且要求微型化、单片集成、无需要额外的功耗等。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术提供一种热电式自检测MEMS微波功率分配器及其制备方...
【技术保护点】
1.一种热电式自检测MEMS微波功率分配器，其特征在于，包括位于砷化镓衬底(3)上的微波功分器(1)以及三个MEMS微波功率传感器(2)；/n所述微波功分器(1)为“T”型对称结构，包括三个端口；/n每个所述MEMS微波功率传感器(2)通过CPW结构与所述微波功分器(1)的一个端口相连，所述MEMS微波功率传感器(2)用于测量三个所述端口处微波功率大小。/n
【技术特征摘要】
1.一种热电式自检测MEMS微波功率分配器，其特征在于，包括位于砷化镓衬底(3)上的微波功分器(1)以及三个MEMS微波功率传感器(2)；
所述微波功分器(1)为“T”型对称结构，包括三个端口；
每个所述MEMS微波功率传感器(2)通过CPW结构与所述微波功分器(1)的一个端口相连，所述MEMS微波功率传感器(2)用于测量三个所述端口处微波功率大小。
2.根据权利要求1所述的热电式自检测MEMS微波功率分配器，其特征在于，所述MEMS微波功率传感器(2)包括主线(21)、副线(22)、第二空气桥(23)、终端匹配电阻(24)和热电堆(25)；
所述主线(21)和所述副线(22)由所述CPW信号线(11)组成，所述主线(21)与所述微波功分器(1)的一端口相连接；所述主线(21)和所述副线(22)呈十字型交叠放置，在交叠处所述主线(21)的上方的所述副线(22)设有MEMS固支梁结构(221)；
所述终端匹配电阻(24)并联设置在所述副线(22)的两端口；
所述热电堆(25)设置在所述终端匹配电阻(24)旁，在所述终端匹配电阻(24)和所述热电堆(25)的热端下方有一衬底薄膜结构(4)；所述副线(22)两侧的地线(15)通过所述第二空气桥(23)互连。
3.根据权利要求2所述的热电式自检测MEMS微波功率分配器，其特征在于，
所述热电堆(25)包括金属热偶臂(251)、半导体热偶臂(252)、金属连接线(253)和直流输出压焊块(254)，所述金属热偶臂(251)、所述半导体热偶臂(252)以及所述金属连接线(253)采用欧姆接触连接，所述直流输出压焊块(254)与所述金属连接线(253)连接；
所述MEMS固支梁结构(221)位于所述副线(22)中部，所述MEMS固支梁结构(221)悬浮在所述主线(21)的上方；所述MEMS固支梁结构(221)包括MEMS固支梁(222)以及所述锚区(223)，所述锚区(223)设于所述MEMS固支梁(222)的两端；所述MEMS固支梁(222)下方的所述主线(21)上覆盖一层氮化硅绝缘介质层(4)。
4.根据权利要求3所述的热电式自检测MEMS微波功率分配器，其特征在于，所述微波功分器(1)还包括CPW信号线(11)、ACPS信号线(13)、第一空气桥(12)以及隔离电阻(14)；
所述微波功分器(1)的中间部分设有所述ACPS信号线(13)，所述端口通过所述CPW信号线(11)传输信号，所述ACPS信号线(13)与所述CPW信号线(11)电连接；
所述第一空气桥(12)横跨在所述微波功分器(1)的三个端口处所述CPW信号线(11)上方，所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：张志强，郑从兵，黄晓东，
申请(专利权)人：东南大学，
类型：发明
国别省市：江苏;32
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