【技术实现步骤摘要】
一种钳位机构及驱动器
本专利技术涉及驱动机构
,具体而言,涉及一种钳位机构及驱动器。
技术介绍
近年来,随着信息技术、精密测试技术的迅速发展,对具有微结构表面的大型光学器件(如微透镜阵列、微反射镜阵列、光栅)的需求不断增加。这些光学器件表面微结构的单元尺寸一般都在微米量级,而整个微结构表面尺寸却达到毫米或厘米量级。要想得到这些大型光学器件,不管是对其加而言,还是对其加工后表面形貌的测量而言,都需要大行程、高分辨率的精密定位系统,而作为这种精密定位系统的驱动器也必须具有大行程、高分辨率。目前,大行程、高分辨率精密定位系统的驱动方式主要有旋转驱动器,如尺蠖式旋转驱动器,相关技术中,尺蠖式旋转驱动机构通过位移放大机构进行钳位,而位移放大机构通常包括压电执行器,通过控制压电执行器的通断电,将压电执行器的输出位移转化为位移放大机构的位移输出部的位移,通过位移输出部的位移实现驱动器的钳位或释放,但目前,位移放大机构的位移输出稳定性往往不够,导致不能对驱动机构进行充分稳定的钳位。
技术实现思路
本专利技术解决的问题是如何 ...
【技术保护点】
1.一种钳位机构,其特征在于,包括主体(206)、设于所述主体(206)上的位移放大机构(201)、输出稳定机构(202)和钳位部(203),所述位移放大机构(201)的位移输出部(2011)连接所述钳位部(206);所述输出稳定机构(202)包括第一稳定臂(2021)和第二稳定臂(2023),所述第一稳定臂(2021)和所述第二稳定臂(2023)的一端连接所述钳位部(203),所述第一稳定臂(2021)和所述第二稳定臂(2023)的另一端连接所述主体(206),所述第一稳定臂(2021)和所述第二稳定臂(2023)相对所述钳位部(203)对称设置。/n
【技术特征摘要】
1.一种钳位机构,其特征在于,包括主体(206)、设于所述主体(206)上的位移放大机构(201)、输出稳定机构(202)和钳位部(203),所述位移放大机构(201)的位移输出部(2011)连接所述钳位部(206);所述输出稳定机构(202)包括第一稳定臂(2021)和第二稳定臂(2023),所述第一稳定臂(2021)和所述第二稳定臂(2023)的一端连接所述钳位部(203),所述第一稳定臂(2021)和所述第二稳定臂(2023)的另一端连接所述主体(206),所述第一稳定臂(2021)和所述第二稳定臂(2023)相对所述钳位部(203)对称设置。
2.根据权利要求1所述的钳位机构,其特征在于,所述位移放大机构(201)包括第一位移放大臂(2013)、第二位移放大臂(2014)、第一压电执行器(2016)和所述位移输出部(2011),所述第一位移放大臂(2013)和所述第二位移放大臂(2014)的一端连接所述位移输出部(2011),所述第一位移放大臂(2013)和/或所述第二位移放大臂(2014)的另一端连接有所述第一压电执行器(2016),所述第一位移放大臂(2013)和所述第二位移放大臂(2014)相对所述钳位部(203)对称设置。
3.根据权利要求2所述的钳位机构,其特征在于,所述第一压电执行器(2016)位于所述第一位移放大臂(2013)与所述第二位移放大臂(2014)之间,且所述第一压电执行器(2016)的两端分别与所述第一位移放大臂(2013)和所述第二位移放大臂(2014)连接。
4.根据权利要求2所述的钳位机构,其特征在于,所述第一稳定臂(2021)的横截面最小宽度大于所述第一位移放大臂(2013)的横截面最小宽度。
5.根据权利要求3所述的钳位机构,其特征在于,所述第一位移放大臂(2013)远离于所述钳位部(203)的一端与所述输出稳定机构(202)通过预紧件(205)抵接,和/或所述第二位移放大臂(2014)远离于所述钳位部(203)的一端与所述输出稳定机构(202)通过预紧件(205)抵接。
6.根据权利要求5所述的钳位机构,其特征在于,所述主体(206)上设置有第一连接部(2061),所述第一连接部(2061)适于连接旋转驱动机构(1)。
7.根据权利要求1-6任一所述的钳位机构,其特征在于,所述主体(206)连接有多个所述输出稳定机构(202),多个所述输出稳定机构(202)相对所述主体(206)的中心旋转对称设置,所述输出稳定机构(202)与所述主体(206)之间围成有容...
【专利技术属性】
技术研发人员:应志奇,张显,刘世勇,李小斌,武永德,
申请(专利权)人:宁波奥克斯电气股份有限公司,
类型:发明
国别省市:浙江;33
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