压电换能器、制备压电换能器的方法及电子设备技术

本发明专利技术涉及一种压电换能器、制备压电换能器的方法及电子设备。一种压电换能器，包括支撑结构以及设置于所述支撑结构上的压电振膜；所述压电振膜包括至少两个相邻的膜片且相邻的两个膜片之间具有缝隙；所述膜片的固定边由所述支撑结构支撑，所述膜片未固定的部分为自由端；其中，对于相邻的两个膜片，沿其中一个膜片的固定边指向所述其中一个膜片的自由端的方向为第一方向，所述其中一个膜片的自由端在所述第一方向上的末端与另一个膜片的固定边的相邻侧边相对设置。上述压电换能器、制备压电换能器的方法及电子设备能够改善传统压电换能器膜片间缝隙扩大的现象，尤其是在压电换能器为压电电声换能器时有利于降低其低频灵敏度的损失。

【技术实现步骤摘要】
压电换能器、制备压电换能器的方法及电子设备
本专利技术涉及电子
，特别是涉及一种压电换能器、制备压电换能器的方法及电子设备。
技术介绍
在制备压电换能器时，压电振膜制程中薄膜堆栈不易控制残余应力，使得全膜压电换能器应力无法释放，因此，会增加压电振膜刚性，进而导致压电换能器灵敏度下降。传统的解决方法是将压电振膜做成多个悬臂梁结构来释放残余应力，以提升压电换能器灵敏度。具体的，压电振膜包括至少两个膜片，膜片的一端固定于支撑结构上，另一端为自由端，支撑结构上开设有背腔以裸露各膜片的自由端，使得各膜片分别与支撑结构构成悬臂梁结构。但是，传统压电换能器中相邻两个膜片的自由端相对设置时，由于悬臂梁结构因残余应力释放造成出平面形变，使这两个相邻膜片间缝隙扩大，尤其是当压电换能器为压电电声换能器时，膜片间缝隙扩大容易使得声阻降低，带来压电电声换能器低频灵敏度的损失。
技术实现思路
基于此，有必要针对上述问题，提供一种压电换能器、制备压电换能器的方法及电子设备。一种压电换能器，包括支撑结构以及设置于所述支撑结构上的压电振本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种压电换能器，其特征在于，包括支撑结构以及设置于所述支撑结构上的压电振膜；所述压电振膜包括至少两个相邻的膜片且相邻的两个膜片之间具有缝隙；所述膜片的固定边由所述支撑结构支撑，所述膜片未固定的部分为自由端；/n其中，对于相邻的两个膜片，沿其中一个膜片的固定边指向所述其中一个膜片的自由端的方向为第一方向，所述其中一个膜片的自由端在所述第一方向上的末端与另一个膜片的固定边的相邻侧边相对设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种压电换能器，其特征在于，包括支撑结构以及设置于所述支撑结构上的压电振膜；所述压电振膜包括至少两个相邻的膜片且相邻的两个膜片之间具有缝隙；所述膜片的固定边由所述支撑结构支撑，所述膜片未固定的部分为自由端；
其中，对于相邻的两个膜片，沿其中一个膜片的固定边指向所述其中一个膜片的自由端的方向为第一方向，所述其中一个膜片的自由端在所述第一方向上的末端与另一个膜片的固定边的相邻侧边相对设置。


2.根据权利要求1所述的压电换能器，其特征在于，相邻的两个膜片的固定边之间形成夹角，所述夹角大于0度且小于180度。


3.根据权利要求2所述的压电换能器，其特征在于，相邻的两个膜片的固定边相互垂直。


4.根据权利要求2所述的压电换能器，其特征在于，所述膜片的数量为四个，四个膜片排成两行两列。


5.根据权利要求1所述的压电换能器，其特征在于，所述支撑结构包括基板以及设置于所述基板上的牺牲层，所述牺牲层与所述压电振膜相邻设置；
其中，所述基板和所述牺牲层上开设有背腔以裸露所述膜片的自由端。


6.根据权利要求5所述的压电换能器，其特征在于，所述背腔的截面为方形，所述膜片为矩形膜片。


7.根据权利要求1所述的压电换能器，其特征在于，各膜片自由端的形状和面积均相同。


8.根据权利要求1所述的压电换能器，其特征在于，所述压电振膜包括依次层叠设置于所述支撑结构上的第一电极层、压...

【专利技术属性】
技术研发人员：罗松成，陈昱辰，方维伦，
申请(专利权)人：共达电声股份有限公司，
类型：发明
国别省市：山东;37