驱动器线圈结构体及其制造方法技术

本发明专利技术提供一种驱动器线圈结构体的制造方法，该方法包括：在基板上布置包含聚酰亚胺的基底层的步骤；利用镀敷工艺在所述基底层上形成导电性微图案线圈的步骤；利用绝缘层填充所述微图案线圈之间空间的步骤；以及将所述基板从所述基底层分离并去除，从而形成用于摄像机自动调焦或者防手抖的驱动器线圈结构体的步骤。

Actuator coil structure and manufacturing method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】驱动器线圈结构体及其制造方法
本专利技术涉及驱动器线圈结构体及其制造方法，更具体地，涉及一种用于摄像机自动调焦及防手抖功能的驱动器线圈结构体及其制造方法。
技术介绍
随着电子技术的发展，如智能手机、平板电脑等移动设备正逐步大众化。然而，这种移动设备基本上安装有执行摄像机功能的摄像机模块。为了提高拍摄的方便性，移动设备中使用的摄像机模块普遍使用研发的如专业摄像机具有自动调焦功能的自动调焦摄像机模块。而且，为了提高图像拍摄品质，移动设备中使用的摄像机模块大部分情况下具有如专业摄像机的防手抖功能。
技术实现思路
技术问题本专利技术的目的在于，提供一种改善图像拍摄品质的同时可降低制造成本的、用于摄像机自动调焦及防手抖功能的驱动器线圈结构体及其制造方法。但是所述技术问题仅为示例性，本专利技术的范围不受限于此。技术方案为了解决所述问题，根据本专利技术的一方面，提供一种用于摄像机自动调焦及防手抖功能的驱动器线圈结构体的制造方法。所述驱动器线圈结构体的制造方法包括：在基板上布置包含聚酰亚胺的基底层的步骤；利用镀敷工艺在所述基底层上形成导电性微图案线圈的步骤；利用绝缘层填充所述微图案线圈之间的空间的步骤；以及将所述基板与所述基底层分离并去除，从而形成用于摄像机自动调焦或者防手抖的驱动器线圈结构体的步骤。在所述驱动器线圈结构体的制造方法中，所述形成微图案线圈的步骤可包括：将向作为顺时针方向和逆时针方向中任意选择的一个方向的第一方向延伸的、各亚微图案线圈形成多个层的步骤；以及形成用于将所述多个层的所述亚微图案线圈上下连接的过孔图案的步骤。在所述驱动器线圈结构体的制造方法中，各所述亚微图案线圈可具备2个以上的匝(turn)数且向所述第一方向延伸，所述多个层的亚微图案线圈全部向所述第一方向延伸且通过过孔图案(viapattern)连成一体。在所述驱动器线圈结构体的制造方法中，包括在所述基底层的至少一面上布置紫外线硬化型光反应性高分子物质层的步骤，从而在将所述基板与所述基底层分离的过程通过向所述基板照射紫外线来降低所述紫外线硬化型光反应性高分子物质层与所述基板间的粘合力，该基板为紫外线可透过的基板。在所述驱动器线圈结构体的制造方法中，所述布置基底层的步骤可包括具有在所述基底层的至少一面上利用涂布工艺形成的所述高分子物质层的基底层布置步骤。在所述驱动器线圈结构体的制造方法中，在所述基底层上利用镀敷工艺形成导电性的微图案线圈的步骤可包括：在所述基底层上利用溅镀工艺、真空蒸镀工艺或者无电解镀工艺形成籽晶层的第一步骤；在所述籽晶层上形成光刻胶图案的第二步骤；利用电镀工艺形成用于填充(filling)光刻胶图案之间的空间的导电性的微图案线圈的第三步骤；去除光刻胶图案的第四步骤；以及去除所述籽晶层中在所述微图案线圈之间露出的籽晶层部分的第五步骤。在所述驱动器线圈结构体的制造方法，在所述第五步骤之后，还可包括利用电镀工艺在导电性的微图案线圈上进一步形成镀层的步骤。为了解决所述问题，本专利技术提供一种用于摄像机自动调焦及防手抖功能的驱动器线圈结构体。所述驱动器线圈结构体具有包含聚酰亚胺的基底层；位于所述基底层上的导电性的微图案线圈；以及所述填充微图案线圈之间的空间的绝缘层，所述微图案线圈包括：多个层的亚微图案线圈，各所述亚微图案线圈向选自顺时针方向和逆时针方向中的任意一个方向的第一方向延伸；以及过孔图案，其用于将所述多个层的所述亚微图案线圈上下连接。在所述驱动器线圈结构体中，各所述亚微图案线圈可具备2个以上的匝(turn)数且向所述第一方向延伸，所述多个层的亚微图案线圈全部向所述第一方向延伸且通过过孔图案(viapattern)连成一体。在所述驱动器线圈结构体中，各亚微图案线圈可具有角部垂直弯折且反复的四边形形状。在所述驱动器线圈结构体中，各亚微图案线圈可具有角部倒角弯折且反复的多边形形状。专利技术效果根据如上所述构成的本专利技术一实施例，可实现一种改善图像拍摄品质的同时可降低制造成本的用于摄像机自动调焦及防抖动功能的驱动器线圈结构体及其制造方法。当然，本专利技术的范围不受限于所述效果。附图说明图1是包括用于摄像机自动调焦及防手抖功能的驱动器线圈的摄像机模块的示意图。图2是本专利技术一实施例涉及的用于摄像机自动调焦及防抖动功能的驱动器线圈结构体的示意图。图3a至图3o是依次图解本专利技术一实施例涉及的驱动器线圈结构体的制造方法的图。图4a是本专利技术一实施例涉及的驱动器线圈结构体中各层的微图案线圈及上下连接它们的过孔图案的连接结构的示意图。图4b是图解图4a中图示的相互上下相隔的多个层的微图案线圈处于重叠形态的示意图。图5a是本专利技术另一实施例涉及的驱动器线圈结构体中各层的微图案线圈及上下连接它们的过孔图案的连接结构的示意图。图5b是用于说明图5a图示的相互上下相隔的多个层的微图案线圈处于重叠状态的俯视图。图6a是使用四边形基板时各线圈形成的结构体的示意图，图6b是用于说明图6a中公开的结构体中脱层(delamination)后获得的线圈片材(coilsheet)的图。图7a是使用晶圆基板时各线圈形成的结构体的示意图，图7b是用于说明图7a中公开的结构体中脱层(delamination)后获得的线圈片材(coilsheet)的图。具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的优选实施例进行详细说明。本专利技术的实施例是为了能够更加完整地向本领域技术人员说明而提供的，以下实施例能够以各种不同的形态变形，本专利技术的范围不受限于以下实施例。相反这些实施例使本公开更加充分完整，而且是为了更加完整地向本领域技术人员传递本专利技术的技术思想而提供的。另外，为了便于说明并使说明的内容更加明确，附图中各层的厚度或者尺寸可被夸大。在说明书通篇中，如膜、区域或者基板的一个组成要素被叙述为“连接在”，“层叠在”或者“耦合在”另一组成要素“上”时，可解释为所述一个组成要素直接“连接在”、“层叠在”或者“耦合在”另一组成要素“上”，或者它们之间还可夹有其他组成要素。相反，一个组成要素被叙述为“直接位于”，“直接连接在”或者“直接耦合在”另一组成要素上时，可解释为它们之间没有其他组成要素。相同的附图标记指相同的组成要素。如本说明书中所使用的术语“和/或”包括对应列举的任意一个和一个以上的所有组合。本说明书中，第一、第二等术语用于说明各种部件、配件、区域、层等和/或部分组合，但是显而易见所述术语不是用于限定这些部件、配件、区域，层及/或部分组合。所述术语仅用于将一个部件、配件、区域、层等和/或部分与另一区域、层等和/或部分区分。因此，以下所述的第一部件、配件、区域、层或者部分在不超出本专利技术的技术思想的范围内也可以指第二部件、配件、区域、层或者部分。此外，相对位置术语如“上的”或者“上方的”及“下的”或者“下面的”如附图中所图示，用于说明某一组成要素与另一组成要素之间的关系。相对位置术语可理解为在附图本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种驱动器线圈结构体的制造方法，其特征在于，该方法包括：/n在基板上布置包含聚酰亚胺的基底层的步骤；/n利用镀敷工艺在基底层上形成导电性微图案线圈的步骤；/n利用绝缘层填充微图案线圈之间的空间的步骤；以及/n将基板从基底层分离并去除，从而形成用于摄像机自动调焦或者防手抖的驱动器线圈结构体的步骤。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170731 KR 10-2017-0096916;20171012 KR 10-2017-011.一种驱动器线圈结构体的制造方法，其特征在于，该方法包括：
在基板上布置包含聚酰亚胺的基底层的步骤；
利用镀敷工艺在基底层上形成导电性微图案线圈的步骤；
利用绝缘层填充微图案线圈之间的空间的步骤；以及
将基板从基底层分离并去除，从而形成用于摄像机自动调焦或者防手抖的驱动器线圈结构体的步骤。


2.如权利要求1所述的驱动器线圈结构体的制造方法，其特征在于，形成微图案线圈的步骤包括：
将向选自顺时针方向和逆时针方向中任意一个方向的第一方向延伸的、各亚微图案线圈形成多个层的步骤；以及
形成用于将多个层的亚微图案线圈上下连接的过孔图案的步骤。


3.如权利要求2所述的驱动器线圈结构体的制造方法，其特征在于，各所述亚微图案线圈具备2个以上的匝数且向所述第一方向延伸，多个层的亚微图案线圈全部向所述第一方向延伸且通过过孔图案连成一体。


4.如权利要求1所述的驱动器线圈结构体的制造方法，其特征在于，包括在基底层的至少一面上布置紫外线硬化型光反应性高分子物质层的步骤，从而在将基板从基底层分离的过程通过向基板照射紫外线来降低紫外线硬化型光反应性高分子物质层与基板间的粘合力，该基板为紫外线可透过的基板。


5.如权利要求4所述的驱动器线圈结构体的制造方法，其特征在于，布置基底层的步骤包括具有在基底层的至少一面上利用涂布工艺形成的高分子物质层的基底层布置...

【专利技术属性】
技术研发人员：朴钟翼，
申请(专利权)人：股份公司凯维肯，
类型：发明
国别省市：韩国;KR