一种平衡热场的区熔线圈制造技术

技术编号:23845083 阅读:25 留言:0更新日期:2020-04-18 06:04
本实用新型专利技术提供了一种平衡热场的区熔线圈,包括线圈本体,所述线圈本体上表面的中心处向下设有一个环形槽,沿所述环形槽底部开口边缘处向下设有锥形槽,所述锥形槽的底端边缘处与线圈中心孔的边缘处连接在一起,且所述锥形槽的截面尺寸从上到下依次减小,所述线圈本体内部在环形槽的外围设有绕环形槽一圈的线圈水路,所述线圈水路在环形结构上对称设置有多个弧形的弯折部。本实用新型专利技术有益效果:在原有热场线圈结构的基础上,改变其内部循环水路走向,加大热场线圈循环水流量,在后期加工使用过程中能够根据水路走向改变线圈锯口位置,同时改变热场结构形状;通过改变线圈台阶结构,增加热场化料能力,达到拉晶过程中的热场稳定及线圈水温可控。

A kind of zone melting coil for balancing heat field

【技术实现步骤摘要】
一种平衡热场的区熔线圈
本技术属于区熔线圈
,尤其是涉及一种平衡热场的区熔线圈。
技术介绍
区熔悬浮法拉晶过程中,作为热场的核心备件,线圈是区熔单晶生长的重要组成部分,其作用是在单晶生长过程中为其提供稳定的热场,针对成晶的重要性不言而喻。但随着使用时间的增加,现有的区熔线圈结构如图1所示,在其反复的升温降温的循环后,热场线圈各部分会有明显的不可修复形变,其所产生的热场变得不稳定,影响成晶。
技术实现思路
有鉴于此,本技术旨在提出一种平衡热场的区熔线圈,以解决上述问题的不足之处。为达到上述目的,本技术的技术方案是这样实现的:一种平衡热场的区熔线圈,包括线圈本体,所述线圈本体为圆形板状结构,所述线圈本体中心处设有一个线圈中心孔,所述线圈本体上表面的中心处向下设有一个环形槽,沿所述环形槽底部开口边缘处向下设有锥形槽,所述锥形槽的底端边缘处与线圈中心孔的边缘处连接在一起,且所述锥形槽的截面尺寸从上到下依次减小,所述线圈本体内部在环形槽的外围设有绕环形槽一圈的线圈水路,所述线圈水路在环形结构上对称设置有多个弧形的弯折本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种平衡热场的区熔线圈,其特征在于:包括线圈本体,所述线圈本体为圆形板状结构,所述线圈本体中心处设有一个线圈中心孔,所述线圈本体上表面的中心处向下设有一个环形槽,沿所述环形槽底部开口边缘处向下设有锥形槽,所述锥形槽的底端边缘处与线圈中心孔的边缘处连接在一起,且所述锥形槽的截面尺寸从上到下依次减小,所述线圈本体内部在环形槽的外围设有绕环形槽一圈的线圈水路,所述线圈水路在环形结构上对称设置有多个弧形的弯折部,且所述线圈水路两端位于线圈本体上部且分别连接进水口和出水口。/n

【技术特征摘要】
1.一种平衡热场的区熔线圈,其特征在于:包括线圈本体,所述线圈本体为圆形板状结构,所述线圈本体中心处设有一个线圈中心孔,所述线圈本体上表面的中心处向下设有一个环形槽,沿所述环形槽底部开口边缘处向下设有锥形槽,所述锥形槽的底端边缘处与线圈中心孔的边缘处连接在一起,且所述锥形槽的截面尺寸从上到下依次减小,所述线圈本体内部在环形槽的外围设有绕环形槽一圈的线圈水路,所述线圈水路在环形结构上对称设置有多个弧形的弯折部,且所述线圈水路两端位于线圈本体上部且分别连接进水口和出水口。


2.根据权利要求1所述的一种平衡热场的区熔线圈,其特征在于:所述弯折部的内侧均朝向线圈中心...

【专利技术属性】
技术研发人员:刘琨郝大维楚占宾陈玉桥王克旭代常雷万静王遵义王聚安
申请(专利权)人:天津中环领先材料技术有限公司
类型:新型
国别省市:天津;12

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