一种溅射环件安装孔位与开口区域的加工方法技术

本发明专利技术公开了一种溅射环件安装孔位与开口区域的加工方法，所述加工方法包括以下步骤：1：根据待加工溅射环尺寸在主体工装上加工出定位孔；2：在主体工装上加工出开口区域、倒角区域以及加工让刀区域；3：将待加工溅射环设置在主体工装和工装内撑之间，盖上紧固盖板，并通过主体工装、工装内撑和紧固盖板上预留的安装孔，将待加工溅射环紧固在加工工装上，在主体工装圆周方向上加工出孔位；4：在开口区域的两端进行固定，通过定位销对待加工溅射环进行定位；5：对开口区域的待加工溅射环加工出开口，使用圆弧成型刀完成开口区域的圆弧加工；6：松开螺栓、垫片和螺母，去除紧固盖板，取出工装内撑，取下溅射环，进行检验并包装备存。

A processing method for the installation hole position and opening area of sputtering ring

【技术实现步骤摘要】
一种溅射环件安装孔位与开口区域的加工方法
本专利技术涉及半导体溅射靶材加工
，特别是涉及溅射环件安装孔位与开口区域的加工方法。
技术介绍
在半导体溅射靶材生产过程中，通常会使用一些环件产品配合靶材一起使用，提高产品的良率，比如镀钛薄膜时，会使用钛环配合钛靶材一起使用，其中溅射环件需安装在工装上配合相应靶材使用，并且溅射环件均为非闭合环件，这就需要对溅射环件进行打孔，并将溅射环由闭合环件加工成非闭合环件。因溅射环件的特殊产品结构，导致环件内部无支撑受力点，且环件本身易发生变形，导致孔位加工后极易发生偏差，产品打孔后孔位会发生偏差导致无法安装，传统靶材的孔位加工及定位方式无法在此产品上进行应用，并且开口区域的加工受常规的三轴立、卧式机床限制，无法在机床上进行开口区域的机加操作。因此希望有一种溅射环件安装孔位与开口区域的加工方法能够解决现有技术中存在的孔位不准确无法安装至溅射工装，开口区域出现接刀纹，尺寸不一致导致开口区域滚花造成乱纹的问题。
技术实现思路
本专利技术公开了一种溅射环件安装孔位与开口区域的加工本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种溅射环件安装孔位与开口区域的加工方法，其特征在于，所述加工方法使用加工工装对溅射环进行固定，所述加工工装包括：主体工装、工装内撑、紧固盖板、定位销、垫片、螺母和螺栓；所述主体工装的底部设置有卡爪安装槽，沿圆周方向设置多个径向的孔位，在主体工装上沿轴向设置有开口区域、倒角区域以及加工让刀区域，主体工装的底部中心设置有安装孔；所述工装内撑呈圆柱体，设置有定位销孔，中心设置有安装孔；所述紧固盖板设置有开口和定位销孔，中心设置有安装孔；所述加工方法包括以下步骤：/n步骤一：根据带加工溅射环尺寸在主体工装上加工出定位孔；/n步骤二：定位孔加工完毕后，在主体工装上加工出开口区域、倒角区域以及加工让...

【技术特征摘要】
1.一种溅射环件安装孔位与开口区域的加工方法，其特征在于，所述加工方法使用加工工装对溅射环进行固定，所述加工工装包括：主体工装、工装内撑、紧固盖板、定位销、垫片、螺母和螺栓；所述主体工装的底部设置有卡爪安装槽，沿圆周方向设置多个径向的孔位，在主体工装上沿轴向设置有开口区域、倒角区域以及加工让刀区域，主体工装的底部中心设置有安装孔；所述工装内撑呈圆柱体，设置有定位销孔，中心设置有安装孔；所述紧固盖板设置有开口和定位销孔，中心设置有安装孔；所述加工方法包括以下步骤：
步骤一：根据带加工溅射环尺寸在主体工装上加工出定位孔；
步骤二：定位孔加工完毕后，在主体工装上加工出开口区域、倒角区域以及加工让刀区域；
步骤三：将待加工溅射环设置在主体工装和工装内撑之间，盖上紧固盖板，并通过主体工装、工装内撑和紧固盖板上预留的安装孔，使用螺栓、垫片和螺母将待加工溅射环紧固在加工工装上，在主体工装圆周方向上加工出孔位；
步骤四：在孔位加工完毕后，在开口区域的两端使用螺栓、垫片和螺母对孔位进行固定，通过定位销对待加工溅射环进行定位；
步骤五：对开口区域的待加工溅射环加工出开口，开口区域铣开后，使用圆弧成型刀完成开口区域的圆弧加工；
步骤六：完成加工，松开螺栓、垫片和螺母，去除紧固盖板，取出工装内撑，取下溅射环，进行检验并包装备存。


2.根据权利要求1所述的溅射环件安装孔位与开口区域的加工方法，其特征在于：所述主体工装整体呈阶梯圆台，在台阶的圆周位置设置有开口区域、倒角区域以及加工让刀区域，所述紧固盖板呈圆形。


3.根据权利要求1所述的溅射环件安装孔位与开口区域的加工方法，其特征在于：待加工溅射环物料的内径尺寸为φ277-φ278mm，宽...

【专利技术属性】
技术研发人员：王绍帅，薛宏宇，李玉鹏，夏乾坤，陈明，张延宾，万小勇，李勇军，
申请(专利权)人：有研亿金新材料有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11