一种低成本的芯片分切水刀制造技术

技术编号:23799701 阅读:91 留言:0更新日期:2020-04-15 10:20
本实用新型专利技术公开了一种低成本的芯片分切水刀,涉及芯片制造技术领域,包括主轴与机床,所述机床的顶端一侧设置有夹具主体,所述夹具主体的顶端一侧开设有多组避刀槽,所述夹具主体的内部两侧均开设有避空槽,所述主轴的外表面一侧固定安装有主轴固定螺纹杆,所述主轴固定螺纹杆的外壁套接有多组间隔圈,所述间隔圈的内部对应主轴固定螺纹杆的一侧贯穿开设有连接孔,所述每组间隔圈之间均设置的有刀片。本实用新型专利技术所述的一种低成本的芯片分切水刀,能够使得整体装置芯片制造成本更低,有效地提高整体装置的实用性,能够使得整体装置能够实现同时多组分切芯片使用,提高了该装置的工作效率,带来更好的使用前景。

A low cost chip cutting water jet

【技术实现步骤摘要】
一种低成本的芯片分切水刀
本技术涉及芯片制造
,具体是一种低成本的芯片分切水刀。
技术介绍
在半导体芯片制造过程中,需要对晶圆及其他芯片进行分切,在芯片进行封装后更常需要对封装体按照一定的尺寸进行分切,即用较薄的金刚石刀片,在加入冷却水进行切割,用这种方法切割出来的产品尺寸精度高,表面光洁度高。现有的水刀机在使用时存在一定的弊端,现有的市场上使用的水刀机,价格非常昂贵,即使一些使用气动装置的水刀切割机也是价格不菲,同时气动装置水刀切割机的缺陷是切削力小,转速不稳定,其次,现有的机头上只能安装一把刀片,根据输入的距离,由设备自动经过多次切割来完成某个产品的分切,从而较为不便,在使用的过程中,带来了一定的影响。因此,本领域技术人员提供了一种低成本的芯片分切水刀,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种低成本的芯片分切水刀,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种低成本的芯片分切水刀,包括主轴与机床,所述机床的顶端一侧设置有夹具主体,本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种低成本的芯片分切水刀,包括主轴(1)与机床(2),其特征在于,所述机床(2)的顶端一侧设置有夹具主体(3),所述夹具主体(3)的顶端一侧开设有多组避刀槽(4),所述夹具主体(3)的内部两侧均开设有避空槽(5),所述主轴(1)的外表面一侧固定安装有主轴固定螺纹杆(6),所述主轴固定螺纹杆(6)的外壁套接有多组间隔圈(7),所述间隔圈(7)的内部对应主轴固定螺纹杆(6)的一侧贯穿开设有连接孔(8),所述每组间隔圈(7)之间均设置的有刀片(9),所述主轴固定螺纹杆(6)的外壁靠近间隔圈(7)的一侧啮合有刀片固定螺母(10)。/n

【技术特征摘要】
1.一种低成本的芯片分切水刀,包括主轴(1)与机床(2),其特征在于,所述机床(2)的顶端一侧设置有夹具主体(3),所述夹具主体(3)的顶端一侧开设有多组避刀槽(4),所述夹具主体(3)的内部两侧均开设有避空槽(5),所述主轴(1)的外表面一侧固定安装有主轴固定螺纹杆(6),所述主轴固定螺纹杆(6)的外壁套接有多组间隔圈(7),所述间隔圈(7)的内部对应主轴固定螺纹杆(6)的一侧贯穿开设有连接孔(8),所述每组间隔圈(7)之间均设置的有刀片(9),所述主轴固定螺纹杆(6)的外壁靠近间隔圈(7)的一侧啮合有刀片固定螺母(10)。


2.根据权利要求1所述的一种低成本的芯片分切水刀,其特征在于,所述机床(2)的顶端一侧固定安装有多组连接块(11),所述夹具主体(3)的内部对应连接块(11)的一侧开设有连接槽(12),且连接块(11)的外直径比连接槽(12)的内直径略小。


3.根据权利要求2所述的一种低成本的芯片分切水刀,其特征在于,所述连接块(11)的内部一侧开设有放置槽(13),所述放置槽(13)的内部一侧设置有第一弹簧(14...

【专利技术属性】
技术研发人员:李金春
申请(专利权)人:深圳市康博思精密设备有限公司
类型:新型
国别省市:广东;44

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