一种基于碳基柔性湿敏器件的露点测量方法技术

本发明专利技术公开一种基于碳基柔性湿敏器件的露点测量方法，该方法有三大步骤：步骤一：利用激光诱导的方法制备具有碳电极的柔性薄膜；步骤二：利用电纺的方式在步骤一所制备的柔性薄膜上喷涂氧化石墨烯，形成全碳基的柔性湿敏器件；步骤三：将全碳基的柔性湿敏器件与半导体制冷器相结合，通过主动控温的方式在湿敏器件表面产生结露，利用电极的电容量识别露点时刻并准确获得露点温度。该方法不仅可以准确获得露点温度，同时湿敏器件具有很好的抗腐蚀特性。

A dew point measurement method based on carbon based flexible humidity sensor

【技术实现步骤摘要】
一种基于碳基柔性湿敏器件的露点测量方法
本专利技术涉及机械工程、精密仪器与传感器领域，特别是涉及一种基于碳基柔性湿敏器件的露点测量方法。
技术介绍
湿度是一个重要的环境参数，它决定了大气中水蒸气的含量，影响自然的物理、化学和生物过程。例如，湿度影响热、电、光和气体传输的特性，并可能导致材料尺寸的变化、金属材料的腐蚀，甚至生物的生存。湿度测量与控制广泛应用于航空航天、微电子、原子能、石油化工、电力、气象、仓储等领域。鉴于湿度测量的重要性，许多国家不断更新其湿度测量标准。在众多的物理湿度表达式中，露点温度(DP)的测量是国际公认的最精确的湿度测量方法，国际上湿度的量值传递也都是通过露点实现的。目前对于腐蚀环境等一些比较特殊的环境的湿度的高精度测量还处于发展阶段，主要是受制于具有抗腐蚀并且可收缩程度大的核心湿敏器件。
技术实现思路
1、目的：本专利技术的目的是提供一种基于碳基柔性湿敏器件的露点测量方法，中间包括了基于碳基的柔性湿敏器件的制备方法、后续露点识别方法。本方法可以解决腐蚀等特殊环境下露点测量的难题。<br>2、技术方案：本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于碳基柔性湿敏器件的露点测量方法，其特征在于：该方法的具体步骤如下：/n步骤一：将聚酰亚胺胶带贴在硅基底上，利用二氧化碳激光器在聚酰亚胺胶带上烧灼出叉指状的碳电极，然后将液态的聚二甲硅氧烷(PDMS)浇在被烧灼后的聚酰亚胺胶带上，等待液态的PDMS凝固之后将其与聚酰亚胺胶带分离开，就得到了嵌入有叉指状电极的柔性PDMS；/n步骤二：将氧化石墨烯溶液利用电纺的方式均匀喷涂在有叉指状电极的柔性PDMS上，喷涂有氧化石墨烯溶液的碳电极和柔性PDMS共同形成了全碳基柔性湿敏器件；最后用导电银胶从电极两个引脚分别引出两根导线用于后续的驱动和测量；/n步骤三：组装具有主动控温功能的露点传感装置；...

【技术特征摘要】
1.一种基于碳基柔性湿敏器件的露点测量方法，其特征在于：该方法的具体步骤如下：
步骤一：将聚酰亚胺胶带贴在硅基底上，利用二氧化碳激光器在聚酰亚胺胶带上烧灼出叉指状的碳电极，然后将液态的聚二甲硅氧烷(PDMS)浇在被烧灼后的聚酰亚胺胶带上，等待液态的PDMS凝固之后将其与聚酰亚胺胶带分离开，就得到了嵌入有叉指状电极的柔性PDMS；
步骤二：将氧化石墨烯溶液利用电纺的方式均匀喷涂在有叉指状电极的柔性PDMS上，喷涂有氧化石墨烯溶液的碳电极和柔性PDMS共同形成了全...

【专利技术属性】
技术研发人员：聂晶，
申请(专利权)人：北京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：北京;11