一种高精度晶体生长粉料给定控制装置制造方法及图纸

技术编号:23784163 阅读:27 留言:0更新日期:2020-04-14 22:55
本发明专利技术属于新材料技术领域,具体地来讲为一种高精度晶体生长粉料给定控制装置。该装置具有PWM调速电机,通过PWM调速电机的旋转轴承通过旋转摇臂连接一旋转‑直线运动轴承,通过旋转‑直线运动轴承带动直线运动定轴器上下运动使得振动往复活塞上下运动,所述振动往复活塞连接一振动杆,所述振动杆带动给料仓仓底的粉体给料筛网按照设定的振幅和频率振动向晶体生长炉内给料。通过对晶体生长原料供应机构进行精密的机械结构设计实现定量控制,通过实验分析,给料精度可达0.01克/秒,完全满足系统给料控制要求。

A high precision control device for crystal growth powder

【技术实现步骤摘要】
一种高精度晶体生长粉料给定控制装置
本专利技术属于新材料
,具体地来讲为一种高精度晶体生长粉料给定控制装置。
技术介绍
金红石单晶体因具有高的双折射率和化学稳定性,在制备光隔离器、光环形器、起偏器等器件中有不可替代的优势。像金红石等高温氧化物单晶体,传统上是使用传统焰熔法晶体生长炉生长的。在传统的焰熔法晶体生长炉给料原料控制中,主要采用丝杠调节振幅和控制电机转速来调节振动频率相结合的方法,只能根据经验和对晶体生长形态的观察来大致调节给料量,无法实现高精度定量给料,满足不了晶体生长自动给料的精度要求。在实际晶体生长控制过程中,双参数协调控制,不但会增加系统的控制难度,而且使统机械构造更加复杂,导致系统体积过大、造价过高、维护成本高,不利于设备的批量化生产。通过近五年的晶体生长实验,发现在控制晶体生长速度的给料环节上,往往以限定频率,改变振幅为主,频率加振幅的控制模式不但造成了系统控制结构利用率的浪费,而且为给料系统自动控制控制模式的建模造成障碍。另外,在使用传统的晶体生长炉,由于诸多生长工艺参数没有精确的控制,对晶体生长速度,生长形本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种高精度晶体生长粉料给定控制装置,其特征在于,该装置包括:控制器支撑件,所述控制器支撑件内安装有PWM调速电机,所述PWM调速电机的旋转轴承通过旋转摇臂连接一旋转-直线运动轴承,通过旋转-直线运动轴承带动直线运动定轴器上下运动,所述直线运动定轴器的端部伸出控制器壳体,在直线运动定轴器的端部安装有振动位移调节头;在晶体生长炉的上方设置给料仓,在所述给料仓竖直向端部对应直线运动定轴器的下方安装有振动往复活塞,直线运动定轴器的上下运动触动振动往复活塞使得振动往复活塞上下往复运动,所述振动往复活塞连接一振动杆,所述振动杆带动给料仓仓底的粉体给料筛网按照设定的振幅和频率振动向晶体生长炉内给料。/n

【技术特征摘要】
1.一种高精度晶体生长粉料给定控制装置,其特征在于,该装置包括:控制器支撑件,所述控制器支撑件内安装有PWM调速电机,所述PWM调速电机的旋转轴承通过旋转摇臂连接一旋转-直线运动轴承,通过旋转-直线运动轴承带动直线运动定轴器上下运动,所述直线运动定轴器的端部伸出控制器壳体,在直线运动定轴器的端部安装有振动位移调节头;在晶体生长炉的上方设置给料仓,在所述给料仓竖直向端部对应直线运动定轴器的下方安装有振动往复活塞,直线运动定轴器的上下运动触动振动往复活塞使得振动往复活塞上下往复运动,所述振动往复活塞连接一振动杆,所述振动杆带动给料仓仓底的粉体给料筛网按照设定的振幅和频率振动向晶体生长炉内给料。


2.按照权利要求1所述的装置,其特征在于,所述粉体给料筛网沿给料仓内壁按照给定...

【专利技术属性】
技术研发人员:赵琰赵韦仑张东唐坚董颖男毕孝国
申请(专利权)人:沈阳工程学院
类型:发明
国别省市:辽宁;21

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