【技术实现步骤摘要】
一种有源矩阵显示器件的制造方法
本申请实施例涉及显示领域,具体涉及一种有源矩阵显示器件的制造方法。
技术介绍
目前,基于发光二极管(LightEmittingDiode)形成像素单元进行显示的原理制造而成的显示器件受到越来越多的关注,其主要包括有机发光二极管(OLED)、小间距LED、迷你发光二极管(MiniLED)、微型发光二极管(MicroLED)和量子点发光二极管(QLED)等。此类基于LED的显示技术具有无需背光源且能自发光、功耗低、亮度高、寿命长、反应速度快等优点,逐渐广泛应用于手机、平板电脑、穿戴装置等中小尺寸显示屏幕上。现有的LED显示器件是电流驱动型发光器件,其驱动方式主要为以下两种:无源驱动和有源驱动,无源驱动方式可以降低列驱动信号频率,增加显示画面的亮度和质量。但仍然无法克服无源驱动方式的天生缺陷:连线庞杂,易串扰,像素选通信号无法保存等;有源驱动方式中每个LED像素单元有其对应的独立驱动电路,驱动电流由驱动晶体管提供,驱动能力更强可实现更大面积的驱动,有更好的亮度均匀性和对比度,可实现低功耗高效 ...
【技术保护点】
1.一种有源矩阵显示器件的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:/nS1:在衬底上设置有源矩阵显示控制模块以及在衬底表面与所述有源矩阵显示控制模块连接的阳极电极阵列;/nS2:在晶圆基底上外延生长半导体发光外延层;/nS3:根据所述阳极电极阵列的尺寸以及间距对所述半导体发光外延层进行刻蚀以形成半导体发光器件阵列;/nS4:将所述晶圆基底具有所述半导体发光器件阵列的一面与所述有源矩阵显示控制模块具有阳极电极的一面对准后进行键合,使得所述半导体发光器件阵列中的每个半导体发光器件与所述阳极电极一一对合连接;/nS5:剥离所述晶圆基底,将所述半导体发光器件阵列保留在所述有源矩阵显示控 ...
【技术特征摘要】
1.一种有源矩阵显示器件的制造方法,其特征在于,包括以下步骤:
S1:在衬底上设置有源矩阵显示控制模块以及在衬底表面与所述有源矩阵显示控制模块连接的阳极电极阵列;
S2:在晶圆基底上外延生长半导体发光外延层;
S3:根据所述阳极电极阵列的尺寸以及间距对所述半导体发光外延层进行刻蚀以形成半导体发光器件阵列;
S4:将所述晶圆基底具有所述半导体发光器件阵列的一面与所述有源矩阵显示控制模块具有阳极电极的一面对准后进行键合,使得所述半导体发光器件阵列中的每个半导体发光器件与所述阳极电极一一对合连接;
S5:剥离所述晶圆基底,将所述半导体发光器件阵列保留在所述有源矩阵显示控制模块的所述阳极电极阵列上;
S6:用不透光的介质材料填充所述半导体发光器件阵列之间的沟隙;
以及
S7:在所述半导体发光器件阵列表面设置阴极电极层,得到有源矩阵显示器件。
2.根据权利要求1所述的有源矩阵显示器件的制造方法,其特征在于,在步骤S3中在所述半导体发光外延层上间隔至少两个所述阳极电极位置进行刻蚀得到一种基色的半导体发光器件阵列。
3.根据权利要求2所述的有源矩阵显示器件的制造方法,其特征在于,在所述步骤S5和S6之间还包括:重复以上步骤S2-S5,将用于不同基色的半导体发光器件阵列依次先后键合在所述阳极电极阵列上制备出包括至少三种基色的半导体发光器件阵列。
4.根据权利要求3所述的有源矩阵显示器件的制造方法,其特征在于,先后依次键合的两个所述不同基色的半导体发光器件阵列的阵列厚度相同或逐渐增大。
5.根据权利要求3所述的有源矩阵显示器件的制造方法,其特征在于,所述至少三种基色包括红色、绿色和蓝色。
6.根据权利要求1所述的一种有源矩阵显示器件的制造方法,其特征在于,所述半导体发光器件阵列发出的单色光为短波长的光,在所述S7之后还包括:
S8:在所述阴极电极层上分别沉积至少两种基色的光致激发薄膜层,并刻蚀形成光致激发薄膜像素阵列。
7.根据权利要求6所述的有源矩阵显示器件的制造方法,其特征在于,所述光致激发薄膜层包括量子点层或荧光粉薄膜层。
8.根据权利要求1-7中任一所...
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