一种ITO缺陷检测方法及系统技术方案

技术编号:23760827 阅读:37 留言:0更新日期:2020-04-11 17:23
本发明专利技术公开了一种ITO缺陷检测方法,步骤如下:S1:对ITO电路通电,使之发热;S2:对发热的ITO电路进行热成像,得到热成像图片;S3:对所述热成像图片进行处理,得到ITO电路图片;S4:依据所述ITO电路图片,检测所述ITO电路的缺陷。该ITO缺陷检测方法基于热成像对ITO缺陷进行检测,具有较高的检测精度。本发明专利技术还公开了一种ITO缺陷检测系统。

An ITO defect detection method and system

【技术实现步骤摘要】
一种ITO缺陷检测方法及系统
本专利技术涉及ITO检测领域,尤其涉及一种ITO缺陷检测方法及系统。
技术介绍
ITO是一种透明电极材料,常溅镀成膜于玻璃基板或塑料薄膜等透明衬底的表面上,然后通过刻蚀工艺制作成各种透明电路图案,主要用于生产显示屏和触摸屏等电子元件,是电子工业的基础材料。在ITO产品的制备及运输过程中,ITO电路常会出现各种缺陷,比如贴合偏移、划伤、划痕、端线、残缺等,需要将存在缺陷的ITO产品分拣出来。目前,ITO产品的缺陷检测主要依靠检测人员利用人眼进行观察和判断,工作量极大,检测人员因疲劳容易产生误判和漏判,而且每个人的视力、观察力和判断标准都不一致,没有统一的检测标准,无法做到标准化和快速化。尽管目前已经存在基于机器视觉对ITO缺陷进行检测的全自动光学检测系统,但是因ITO的高透特性,光学检测系统的摄像头所拍摄到的ITO电路图片中,ITO电路和透明衬底之间的灰度差异低,难以对ITO电路和透明衬底进行区分,检测精度不高,使用价值低。
技术实现思路
为了解决上述现有技术的不足,本专利技术提供本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种ITO缺陷检测方法,其特征在于,步骤如下:/nS1:对ITO电路通电,使之发热;/nS2:对发热的ITO电路进行热成像,得到热成像图片;/nS3:对所述热成像图片进行处理,得到ITO电路图片;/nS4:依据所述ITO电路图片,检测所述ITO电路的缺陷。/n

【技术特征摘要】
1.一种ITO缺陷检测方法,其特征在于,步骤如下:
S1:对ITO电路通电,使之发热;
S2:对发热的ITO电路进行热成像,得到热成像图片;
S3:对所述热成像图片进行处理,得到ITO电路图片;
S4:依据所述ITO电路图片,检测所述ITO电路的缺陷。


2.根据权利要求1所述的ITO缺陷检测方法,其特征在于,步骤S3如下:
S3.1:将所述热成像图片转换为灰度图片;
S3.2:对所述灰度图片进行二值化处理,得到二值化图片;
S3.3:对所述二值化图片进行边缘检测,得到图案边缘;
S3.4:将所述图案边缘作为所述ITO电路的边缘,生成电路图案,得到所述ITO电路图片。


3.根据权利要求2所述的ITO缺陷检测方法,其特征在于,在步骤S3.2中,进行二值化处理之前,还包括:获取二值化阈值。


4.根据权利要求3所述的ITO缺陷检测方法,其特征在于,所述二值化阈值已预先设置。


5.根据权利要求3所述的ITO缺陷检测方法,其特征在于,获取二值化阈值的步骤如下:
提取出所述灰度图片中的灰度最大值;<...

【专利技术属性】
技术研发人员:雷华森郑海明李锋
申请(专利权)人:信利光电股份有限公司
类型:发明
国别省市:广东;44

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