同时检测光致发光和散射光的缺陷检查装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种同时检测光致发光和散射光的缺陷检查装置，涉及一种利用光致发光来检测基板内部的缺陷且利用光致发光发生用入射光的散射来检测基板外部的缺陷的基板缺陷测量装置，本实用新型专利技术提供通过以能够在测量光致发光的过程中一同测量散射和/或反射光的方式构造光学系统而缩短测量时间的装置。

A defect detection device for simultaneous detection of photoluminescence and scattered light

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】同时检测光致发光和散射光的缺陷检查装置
本技术涉及一种利用光致发光(Photoluminescence)的基板缺陷测量装置，特别是涉及一种利用光致发光来检测基板内部的缺陷且利用光致发光发生用入射光的散射来检测基板外部的缺陷的基板缺陷测量装置。
技术介绍
如果通过施加大于利用光来观察的试样物质的带隙的能量而使电子从价带(Valenceband)激发到导带(Conductionband)，则在电子返回到价带的过程中发生光发光或光致发光(Photoluminescence)。对于光致发光来说，由于向试样照射光，因此不会对试样带来特殊处理或损伤，因此光致发光为在非破坏性地分析半导体等的物理性质的方面很有用的方法。当试样物质具有掺杂有杂质等的缺陷时，能够在带隙内形成能级，因此，电子在被激发时，可能被激发到位于导带下方的杂质能级，激发到导带的电子还有可能下降到位于价带上的杂质能级，或者还有可能从能量高的杂质的能级下降到能量低的杂质的能级。因此，如果进行光致发光分析，则能观察到与原料物质和杂质所构成的各种能级的再结合过程对应的能量的发光。半导本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种同时检测光致发光和散射光的缺陷检查装置，包括：/n发出环形光的光源；/n第一分光器，位于所述环形光的行进路径上，用于将所述环形光的路径变更为直角方向以使所述环形光沿试样方向行进，并且使发生在所述试样中的光致发光、散射光及环形反射光直行经过；/n物镜，用于汇聚由所述第一分光器变更路径后的环形光并发送到所述试样，并且将发生在所述试样中的光致发光、散射光及环形反射光以平行光发送到所述第一分光器；/n工作台，能够供由所述物镜汇聚后入射的环形光映射所述试样；/n第二分光器，用于使发生在所述试样中并经过所述物镜及所述第一分光器的光致发光、散射光及环形反射光的一部分直行经过，并且将除经过的所述一部分...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20161222 KR 10-2016-01765931.一种同时检测光致发光和散射光的缺陷检查装置，包括：
发出环形光的光源；
第一分光器，位于所述环形光的行进路径上，用于将所述环形光的路径变更为直角方向以使所述环形光沿试样方向行进，并且使发生在所述试样中的光致发光、散射光及环形反射光直行经过；
物镜，用于汇聚由所述第一分光器变更路径后的环形光并发送到所述试样，并且将发生在所述试样中的光致发光、散射光及环形反射光以平行光发送到所述第一分光器；
工作台，能够供由所述物镜汇聚后入射的环形光映射所述试样；
第二分光器，用于使发生在所述试样中并经过所述物镜及所述第一分光器的光致发光、散射光及环形反射光的一部分直行经过，并且将除经过的所述一部分以外的剩余部分的路径变更为直角方向；
图像检测器，用于对直行经过所述第二分光器的光致发光、散射光及环形反射光进行图像化；
环形光圈，用于阻断在所述第二分光器中路径被变更为直角方向后经过的环形反射光；
二向色镜，用于将经过所述光圈的光致发光的路径变更为直角方向，并且使散射光经过；
光致发光检测部，用于检测由所述二向色镜反射出的光致发光；以及
散射光检测部，用于检测经过所述二向色镜的散射光。


2.一种同时检测光致发光和散射光的缺陷检查装置，包括：
发出环形光的光源；
第一分光器，位于所述环形光的行进路径上，用于将所述光的路径变更为直角方向以使所述光沿试样方向行进，并且使发生在所述试样中的光致发光、散射光及环形反射光直行经过；
物镜，用于汇聚由所述第一分光器变更路径后的环形光并发送到试样，并且将发生在所述试样中的光致发光、散射光及环形反射光以平行光发送到所述第一分光器；
工作台，能够供由所述物镜汇聚后入射的环形光映射所述试样；
第二分光器，用于使发生在所述试样中并经过所述物镜及所述第一分光器的光致发光、散射光及环形反射光的一部分直行经过，并且将除经过的所述一部分以外的剩余部分的路径变更为直角方向；
图像检测器，用于对直行经过所述第二分光器的光致发光、散射光及环形反射光进行图像化；
倾斜状环形光圈，用于使在所述第二分光器中路径被变更为直角方向后经过的环形反射光沿直角方向反射；
二向色镜，用于将经过所述倾斜状环形光圈的光致发光的路径变更为直角方向，并且使散射光经过；
反射光检测部，用于检测由所述倾斜状环形光圈反射出的反射光；
光致发光检测部，用于检测由所述二向色镜反射出的光致发光；以及
散射光检测部，用于检测经过所述二向色镜的散射光。


3.根据权利要求1或2所述的同时检测光致发光和散射光的缺陷检查装置，其中，
所述光源通过使平行光经过同心圆狭缝来制作环形光。


4.一种同时检测光致发光和散射光的缺陷检查装置，包括：
第一光源，用于将引起光致发光的激发光发送到光源部二向色镜；
第二光源，用于沿与所述第一光源正交的方向将环形的非激发光发送到所述光源部二向色镜；
所述光源部二向色...

【专利技术属性】
技术研发人员：郑炫墩，金永凡，
申请(专利权)人：株式会社埃塔麦斯，
类型：新型
国别省市：韩国;KR