一种气体激光谐振腔处理装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种气体激光器制造技术，特别是关于一种气体激光谐振腔处理装置。所述气体激光谐振腔处理装置使用金属接头(7)将真空管路(10)和排气阳极(5)连接，在谐振腔与装置间形成双通道，并在主管路上设置隔断阀(12)，实现谐振腔内毛细孔辉光放电清洗的同时工作气体在谐振腔毛细孔中连续流动。本实用新型专利技术气体激光谐振腔处理装置可在放电清洗过程中及时排出谐振腔内杂质，全面提升谐振腔内洁净度，增强气体激光器工作可靠性和稳定性，同时双排气阳极设计加强了结构和放电对称性，有利于优化激光器参数，具有较大的实际应用价值。

A gas laser resonator processing device

【技术实现步骤摘要】
一种气体激光谐振腔处理装置
本技术属于气体激光器制造技术，特别是涉及一种气体激光谐振腔处理装置。
技术介绍
气体激光器谐振腔内部通常具有毛细孔通道，且充有低气压的工作气体。在正常工作时，在电极之间施加高压，谐振腔内形成直流气体放电通道，激励并实现能级间粒子数反转进而产生激光。在气体激光器制造过程中需要对谐振腔进行放电清洗处理，用于清除腔内及吸附在谐振腔毛细孔管壁上的杂质，提升洁净度，从而保持内部工作气体成分稳定，确保激光器长期工作寿命和参数稳定。对气体激光谐振腔内部毛细孔的处理普遍采用直流辉光放电清洗方法，可以去除表面有机化合物等污染物，并通过轰击作用去除表面吸附杂质，置换浅表层气体，形成洁净的谐振腔。请参阅图1，其为一种环形气体激光谐振腔的结构，由腔体1、四个反射镜2构成谐振腔，内部有毛细孔6，再由阴极3、阳极4和排气阳极5与腔体密封，构成放电通道。其中，排气阳极5内部是中空结构，具备充排气功能，与外部独立真空处理装置连接。目前，现有谐振腔内部与外部真空处理装置处于单向连接状态，仅有排气阳极5一个通道，处理后的腔内部杂本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体激光谐振腔处理装置，其特征在于：包括构成主管路的充气源(8)、充气阀(11)、抽气泵(9)、抽气阀(13)和金属管路，以及构成谐振腔连接管路的进气阀(14)、出气阀(15)和两条真空管路(10)，其中，所述充气阀(11)连接充气源(8)，抽气阀(13)连接抽气泵(9)，且均通过金属管路相互连通，所述两条真空管路(10)与谐振腔上的两个排气阳极(5)分别连接，形成进气通道和排气通道，所述进气阀(14)、出气阀(15)分别设置在进气通道和排气通道上，所述进气通道和排气通道分别与主管路上的充气阀(11)和抽气阀(13)连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种气体激光谐振腔处理装置，其特征在于：包括构成主管路的充气源(8)、充气阀(11)、抽气泵(9)、抽气阀(13)和金属管路，以及构成谐振腔连接管路的进气阀(14)、出气阀(15)和两条真空管路(10)，其中，所述充气阀(11)连接充气源(8)，抽气阀(13)连接抽气泵(9)，且均通过金属管路相互连通，所述两条真空管路(10)与谐振腔上的两个排气阳极(5)分别连接，形成进气通道和排气通道，所述进气阀(14)、出气阀(15)分别设置在进气通道和排气通道上，所述进气通道和排气通道分别与主管路上的充气阀(11)和抽气阀(13)连通。


2.根据权利要求1所述的气体激光谐振腔处理装置，其特征在于：所述充气阀(11)和抽气阀(13)之间的管路上设置有隔断阀(12)。

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【专利技术属性】
技术研发人员：承军，陈泽学，杨劲，陈禹，张振辉，
申请(专利权)人：中国航空工业集团公司西安飞行自动控制研究所，
类型：新型
国别省市：陕西;61