【技术实现步骤摘要】
气体传感器本申请是申请日为2016年3月25日、申请号为201610174975.5以及专利技术名称为“气体传感器”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术描述了一种具有MEMS隔膜的气体传感器。实施例示出了利用MEMS（微机电系统）多晶片方案的PAS（光声传感器）模块。
技术介绍
亦称微机电系统的MEMS装置常常被用作传感器、譬如加速度传感器、压力传感器或声波传感器（麦克风）。所有这些MEMS装置都具有可移动元件、例如隔膜或悬臂，其中可移动元件的比如由于压力改变或加速度引起的移动可以以电容方式被检测。这样，MEMS装置的常见变型包括作为可移动元件的可移动电极以及固定电极，所述固定电极与可移动电极相对，使得两个电极之间的距离改变（由于可移动元件的移动造成）可以导致电容改变。迄今为止的气体传感器系统利用具有毫米至厘米范围内的尺寸的部件。因此，例如红外发射体之类的部件具有相对大的热质量，由此需要高功率来运行气体传感器。这使系统变得迟钝，并且仅仅容许非常小的占空比（英语：DutyCycle）。因此，限制了快速校准...
【技术保护点】
1.一种气体传感器（5），包括：/n传感器元件（10），其具有MEMS隔膜（25），其中MEMS隔膜（25）布置在第一衬底区域（40）中；/n测量室（15），其被构造用于容纳测量气体（50）；/n发射体元件（20），其被构造用于发射电磁辐射（55），其中电磁辐射（55）经过从发射体元件（20）出发具有测量室（15）的辐射路径（60）；/n其中发射体元件（20）和传感器元件（10）彼此固定地布置；/n其中气体传感器（5）包括根据多晶片方案由不同衬底的多个层构成的堆。/n
【技术特征摘要】
20150327 DE 202015002315.01.一种气体传感器（5），包括：
传感器元件（10），其具有MEMS隔膜（25），其中MEMS隔膜（25）布置在第一衬底区域（40）中；
测量室（15），其被构造用于容纳测量气体（50）；
发射体元件（20），其被构造用于发射电磁辐射（55），其中电磁辐射（55）经过从发射体元件（20）出发具有测量室（15）的辐射路径（60）；
其中发射体元件（20）和传感器元件（10）彼此固定地布置；
其中气体传感器（5）包括根据多晶片方案由不同衬底的多个层构成的堆。
2.根据权利要求1所述的气体传感器（5），
其中传感器元件（10）具有参考室（30），所述参考室（30）具有位于其中的参考流体（35），其中参考室（30）的腔体布置在第二衬底区域（45）中，其中第一和第二衬底区域（40，45）密封地封闭并且彼此连接；以及
其中电磁辐射（55）从发射体元件（20）经过从发射体元件（20）出发具有测量室（15）和参考室（30）的辐射路径（60），并且其中测量室（15）通过电磁辐射（55）可透过的层（65）在空间上与参考室（30）隔开。
3.根据前述权利要求之一所述的气体传感器（5），其中MEMS隔膜（25）被构造用于将电磁辐射（55）的存在于参考室（30）中的能量转换成输出信号。
4.根据前述权利要求之一所述的气体传感器（5），其中MEMS隔膜（25）被构造成，根据电磁辐射（55）的当前能量具有偏转。
5.根据前述权利要求之一所述的气体传感器（5），其中发射体元件（20）被构造用于以大于0.1Hz或大于0.5Hz或大于1Hz的频率脉冲式地发射电磁辐射（55）。
6.根据前述权利要求之一所述的气体传感器（5），其中发射体元件（20）包括第一和第二衬底区域（90，95），其中发射体元件的第一衬底区域（90）具有发射体单元（100），所述发射体单元（100）被构造用于发射电磁辐射（55），其中发射体元件的第二衬底区域（95）具有腔体（105），所述腔体（105）被构造用于最小化发射体元件（20）的热质量。
7.根据前述权利要求之一所述的气体传感器（5），其中发射体元件（20）的第一和第二衬底区域（90，95）密封封闭并且彼此连接。
8.根据前述权利要求之一所述的气体传感器（5），其中在辐射路径（60）中布置有荫罩（130），其中荫罩（130）被构造用于减少发射体元件（20）到MEMS隔膜（25）上的直接电磁辐射。
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【专利技术属性】
技术研发人员：A德赫，J胡贝尔，F约斯特，S科尔布，H托伊斯，W魏德迈尔，J韦伦施泰因，
申请(专利权)人：英飞凌科技股份有限公司，弗劳恩霍弗实用研究促进协会，
类型：发明
国别省市：德国;DE
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