一种基于爬行原理的压电旋转驱动平台制造技术

本发明专利技术涉及一种基于爬行原理的压电旋转驱动平台。该平台主要由两组压电驱动单元、弹簧垫片、转子、预紧螺母、螺钉轴、螺钉和底座组成，其中压电驱动单元包括压电叠堆、预紧楔块、薄壁式柔性铰链机构。两组薄壁式柔性铰链机构可实现寄生惯性运动；两个压电叠堆分别斜置安装在两个薄壁式柔性铰链机构内，通过两组薄壁式柔性铰链机构的寄生惯性运动实现转子的旋转驱动。本发明专利技术采用两组驱动单元，对两组电压进行时序控制，两组驱动单元交替工作，可消除回退现象，提高输出性能。该平台可实现高效旋转运动，可应用于精密超精密机械加工、微机电系统、微操作机器人、大规模集成电路制造、生物技术领域。

A piezoelectric rotating driving platform based on Creeping Principle

【技术实现步骤摘要】
一种基于爬行原理的压电旋转驱动平台
本专利技术涉及精密超精密加工、微纳操作机器人、微机电系统程领域，特别涉及一种基于爬行原理的压电旋转驱动平台。
技术介绍
具有微/纳米级定位精度的精密驱动技术是超精密加工与测量、光学工程、现代医疗、航空航天科技等高尖端科学
中的关键技术。为实现微/纳米级的输出精度，现代精密驱动技术的应用对驱动平台的精度提出了更高要求。传统的驱动平台输出精度低，整体尺寸大，无法满足现代先进科技技术中精密系统对微/纳米级高精度和驱动平台尺寸微小的要求。压电陶瓷驱动器具有体积尺寸小、位移分辨率高、输出负载大、能量转换率高等优点，能实现微/纳米级的输出精度，已经越来越多地被应用到微定位和精密超精密加工中。现有的寄生压电驱动平台运动中会出现回退现象，大大降低平台了的输出性能。因此，有必要设计一种能消除回退现象，提高压电驱动平台输出负载的高效压电驱动平台。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种基于爬行原理的压电旋转驱动平台，解决了现有技术存在的上述问题。本专利技术具有结构简单紧凑，输出精度高，输出刚度和输出本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种基于爬行原理的压电旋转驱动平台，包括两组压电驱动单元、弹簧垫片、转子、预紧螺母、螺钉轴、螺钉和底座，压电驱动单元包括预紧楔块、压电叠堆、薄壁式柔性铰链机构，其特征在于：所述平台利用寄生惯性原理采用两组驱动单元交替驱动实现旋转运动的精密驱动。压电叠堆斜置在薄壁式柔性铰链机构内，在电压控制下压电叠堆伸长，驱动柔性铰链机构做寄生惯性运动，同时提供了薄壁式柔性铰链机构与转子间的预紧力和转子旋转的驱动力。该平台通过对两组压电驱动单元时序控制，交替提供驱动电压，当只有一组压电驱动单元工作时，这组中的压电叠堆通电，压电叠堆缓慢伸长，通过驱动这组中的柔性铰链机构做寄生惯性运动推动转子旋转；当这组压电叠...

【技术特征摘要】
1.一种基于爬行原理的压电旋转驱动平台，包括两组压电驱动单元、弹簧垫片、转子、预紧螺母、螺钉轴、螺钉和底座，压电驱动单元包括预紧楔块、压电叠堆、薄壁式柔性铰链机构，其特征在于：所述平台利用寄生惯性原理采用两组驱动单元交替驱动实现旋转运动的精密驱动。压电叠堆斜置在薄壁式柔性铰链机构内，在电压控制下压电叠堆伸长，驱动柔性铰链机构做寄生惯性运动，同时提供了薄壁式柔性铰链机构与转子间的预紧力和转子旋转的驱动力。该平台通过对两组压电驱动单元时序控制，交替提供驱动电压...

【专利技术属性】
技术研发人员：万嫩，李建平，胡意立，
申请(专利权)人：浙江师范大学，
类型：发明
国别省市：浙江;33