腔室清洗机构制造技术

本发明专利技术公开了一种清洗腔室（２５）的方法和装置。刮刀（６５）可转动地安装在所述腔室（２５）内并且平行于所述腔室（２５）的纵轴。所述刮刀（６５）在所述腔室（２５）内沿圆周方向转动，刮擦该腔室（２５）的内表面（２６），以防止颗粒物质的聚集。一个环形齿轮组件为所述刮刀（６５）提供了安装支撑。一个气动操作推杆组件（８５）在所述腔室（２５）内沿圆周方向转动所述刮刀（６５）。所述环形齿轮组件和推杆组件不阻碍穿过所述腔室（２５）的一个直达路径。（*该技术在2019年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

技术介绍
本专利技术涉及一种清洁腔室的方法和装置。某些工业的生产或制造过程产生有毒废气。例如，与半导体生产有关的化学汽相沉积过程产生剧毒废气。而且，包括固体燃料部分燃烧的燃烧过程释放热废气。这些废气通常严重带有颗粒物质，在能够被处理并且释放到外界环境之前它们必须被清洁或者“洗涤”。通常，通过一个进气道将带有废气的颗粒导入一个洗涤室。这些颗粒物质倾向于粘附到所述腔室的内表面。已经专利技术了各种各样的方法和装置来克服或者至少延缓颗粒物质在洗涤腔室内表面上的聚集。参看附图说明图1a所示的现有技术，其表示一个腔室清洗机构。所述洗涤腔室(未示出)具有一个进气道1，其装有许多平行于进气道1纵轴的刮刀2。如图所示，这些刮刀2通过三个环3相互刚性连接起来。一个操作杆4在所述进气道1内穿过一个窄缝5延伸，并且被连接到所述环3中的中间一个环上。参看图1b所示的现有技术，操作杆4被连接到一个活塞杆6上，该活塞杆6由一个气动操作活塞7驱动。所述气动操作活塞7驱动操作杆4向后又向前，使得刮刀2在沿着进气道1的内表面往复运动过程中刮擦。在另一个实施例中，本专利技术涉及一种腔室清洗机构，其包括在腔室内平行于所述腔室纵轴安装至少一个刮刀的一个环形安装装置，和在所述腔室内沿圆周方向旋转所述刮刀的旋转装置。在又一个实施例中，本专利技术涉及一种腔室清洗机构，其包括在腔室内平行于所述腔室纵轴转动安装的至少一个刮刀。一个环形齿轮组件在所述腔室内支撑刮刀，以及一个推杆组件在该腔室内沿圆周方向转动所述刮刀。本专利技术的优点和特点包括下列一个或多个转动安装的刮刀用来清洁腔室内表面，以这样的方式安装和沿圆周转动所述刮刀的方法和装置，即，容许一个直达的未被阻碍的通道穿过所述腔室。通过下面的描述本专利技术的其它优点和特点将变得更加清楚。图1b是沿图1a中腔室清洗机构剖面线Ⅱ-Ⅱ截取的视图。图2表示一个废气洗涤室和一个清洗所述腔室的装置。图3表示按照图2所示实施例的刮刀和一个安装所述刮刀的齿轮组件。图4a是安装图2所示实施例的用于旋转所述刮刀的一个推杆组件侧视图。图4b是图4a所示推杆组件的顶视图。图4c是在完全组装后图4a所示推杆组件的侧视图。优选实施例详述参看图2，废气洗涤室由标记号10表示。洗涤室10具有一个将废气导入洗涤室10的进气道15。氧合器部分20将废气与氧气混合。具有一个内表面26和安装在热反应部分25内的加热件30的热反应部分25分解并氧化废气。废气通过在热反应室25内的一个直达的未被阻碍的远端开口离开热反应室25并进入一个洗涤部分35，其中喷射水40在所述废气上喷射水。第一入水口41给喷射水40供应水。一根排水管45从喷射水40将水排出用于处理和回注。废气穿过洗涤部分35并上升到一个冷却洗涤部分50进行冷却和进一步洗涤。喷射水55给所述废气喷射另外的水而提供进一步的洗涤。一个第二入水口56为喷射水55供应水。排水管45然后将水排出。废气通过出口60排出洗涤室10。刮刀65(其可以至少为一个)沿圆周方向刮擦热反应部分的内表面26，以防止颗粒物质的聚集。刮刀65优选为薄而窄，以便在废气中暴露出最小的刮刀65的表面积。图3表示出转动地安装刮刀65的一个环形齿轮组件。一个环形支架66、螺栓68和垫圈67将刮刀65连接起来以保持它们具有刚性并间隔开。刮刀65或者可被焊接到所述支架66。在环形壳体70的底部通过螺栓72将一个远端环形法兰盘71固定到该环形壳体70上。所述远端环形法兰盘71支撑一个远端环形轴承73，该轴承座设置在所述远端环形法兰盘71的顶部。远端环形轴承73支撑一个旋转安装在其上面的一个环形齿轮75。环形齿轮75具有一些薄片76，其适合于接收刮刀65。螺栓77和垫片78可靠地将刮刀65固定到环形齿轮75上。一个近端环形轴承79被安装在所述环形齿轮75上，以在转动过程中稳定并支撑环形齿轮75。通过螺栓81将一个近端环形法兰盘80固定到环形壳体70上，以盖住并关闭所述装置。管状延伸部分82从所述环形壳体70沿切向延伸，用来安装一个推杆90和杠杆95。上述环形齿轮组件的一个优点是除了支撑刮刀65外，其环形形状还允许一个直达的未被阻碍的通道让废气穿过热反应部分25而进入刮擦部分35。图4a示出一个转动刮刀65的推杆组件。一个气压缸85气动地驱动一个活塞86。气动驱动活塞86车有螺纹以配合一个推杆90并且驱动推杆90前后往复运动。推杆90具有一个从远端延伸的推杆顶部91，其适合于接收一杠杆95，用来啮合环形齿轮75。参看图4b，推杆顶部91具有一个接收轴销97的孔92。类似地杠杆95在近端具有一个接收轴销97的孔98。这样，通过将推杆孔92与杠杆孔98对齐并从其插入轴销97，推杆90和杠杆95可以以铰接方式连接。杠杆95也具有一个空腔96，其适合于接收从推杆顶部91延伸的弹簧93。如可在图4c中看到的那样，弹簧93用于将杠杆95向环形齿轮75偏置，以致杠杆95总是与环形齿轮75接触，由此便于杠杆95与环形齿轮75的配合。在操作中，废气如AsH3,CCL4,C2F6,CF4,GeH4,H2,PH3,NF3,SiH4和TEOS，通过出口15进入洗涤室10。所述废气不溶于水，且将穿过喷射水而实质上未起反应。处理所述废气的最有效的方法是通过控制的热分解和氧化的燃烧。这样，当废气进入洗涤室10时，它与氧气源(例如压缩空气)混合。然后，废气和氧气的混合物进入热反应部分25，其中，加热元件30加热所述混合物并将其热分解和氧化。被分解和氧化的混合物然后在洗涤部分35被洗涤，在冷却/洗涤部分50被冷却和进一步洗涤，并通过出口60被释放。可是，由于废气在热反应部分25内被分解和氧化，在所述废气内形成的颗粒物质倾向于粘附到热反应部分25的内表面26。为了防止颗粒物质的聚集，刮刀65平行于热反应部分25的纵轴可转动地安装，并且沿着圆周方向刮擦热反应部分25的内表面26。如上所述，刮刀65可靠地固定到环形齿轮75上，该齿轮由远端和近端环形轴承73和79可转动地安装并支撑。环形齿轮75通过推杆90和杠杆95的往复运动而转动(这样就旋转刮刀65)。杠杆95被弹簧93偏置而与环形齿轮75的齿啮合。然后气动驱动活塞86向前驱动推杆90。所述推杆90的向前运动通过杠杆95被传送到到环形齿轮75的齿上，并沿与环形齿轮75的圆周相切的方向推动所述齿轮齿，使得环形齿轮75转动一个等于所述齿轮齿运行距离的角距离。当向后拉动所述气动驱动活塞86时，推杆90和杠杆95也被向后拉动，使得杠杆95从环形齿轮75的当前齿脱离。当活塞86随后被向前驱动时，弹簧93使得杠杆95啮合环形齿轮75的下一个齿。然后由推杆90的向前运动将所述齿沿与环形齿轮75的圆周相切的方向推动，使得环形齿轮75再一次转动。随着气动操作活塞86的每一次向后和向前运动重复所述周期，以致于环形齿轮75因此而理所当然地沿圆周方向旋转，由此使得刮刀65也沿圆周方向旋转。本专利技术的一个优点是推杆组件的切向推动运动，连同齿轮组件的环形形状一起允许一个直达的未被阻碍的通道穿过热反应部分25和刮擦部分35。应当清楚，上述实施例仅仅是对本专利技术许多具体实施例中一部分的描述，本领域普通技术人员在不超出本专利技术保护范围的前提下，可以对本专利技术进行其它的设计布置。权本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种清洗具有至少一个安装到环形件上的刮刀的腔室的方法，该方法包括沿与所述环形件相切的方向将力施加到该环形件上的步骤，以使得该环形件沿圆周方向转动，由此使得刮刀作圆周转动，从而所述腔室的内表面被所述刮刀刮擦。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：蒂莫西L赫尔曼，
申请(专利权)人：高级技术材料公司，
类型：发明
国别省市：US[美国]