包括亚波长反射器的光学滤波器和光谱仪以及电子装置制造方法及图纸

技术编号:23484479 阅读:49 留言:0更新日期:2020-03-10 12:24
公开了一种光学滤波器,包括:第一反射器和第二反射器,第一反射器包括基于第一规则以第一周期二维布置并间隔开的多个第一亚波长结构,第二反射器被设置为与第一反射器分开,第二反射器包括基于第二规则以第二周期二维布置并间隔开的多个第二亚波长结构。

Optical filters, spectrometers and electronic devices including subwavelength reflectors

【技术实现步骤摘要】
包括亚波长反射器的光学滤波器和光谱仪以及电子装置相关申请的相交引用本申请要求于2018年8月31日向美国专利商标局提交的美国临时专利申请No.61/725,850的优先权,并且要求于2019年1月11日向韩国知识产权局提交的韩国专利申请No.10-2019-0003948的优先权,该申请的公开通过全文引用合并于此。
本公开的示例实施例涉及一种包括亚波长反射器的光学滤波器和光谱仪以及包括光谱仪的电子装置。
技术介绍
用于改变入射光的透射/反射、偏振、相位、强度、路径等的光学器件用于各种光学领域。最近,不断地尝试通过使用具有亚波长形状尺寸的结构来实现微型化并具有各种光学特性的光学器件。亚波长结构也可以用于光谱仪中。通常通过将两个反射器分开一距离来实现谐振波长的谐振结构。作为用于谐振结构的反射器,可以使用分布式布拉格反射器,其中具有不同折射率的材料层被重复地堆叠至1/4波长的厚度,并且在这种情况下,可以增加堆叠的层数以增大折射率,并且通过调节反射器之间的距离来实现谐振波长,因此难以以超小尺寸实现所需谐振波长。专本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学滤波器,包括:/n第一反射器,包括基于第一规则以第一周期二维地布置并间隔开的多个第一亚波长结构;以及/n第二反射器,被设置成与所述第一反射器分开,所述第二反射器包括基于第二规则以第二周期二维地布置并间隔开的多个第二亚波长结构。/n

【技术特征摘要】
20190111 KR 10-2019-0003948;20180831 US 62/725,8501.一种光学滤波器,包括:
第一反射器,包括基于第一规则以第一周期二维地布置并间隔开的多个第一亚波长结构;以及
第二反射器,被设置成与所述第一反射器分开,所述第二反射器包括基于第二规则以第二周期二维地布置并间隔开的多个第二亚波长结构。


2.根据权利要求1所述的光学滤波器,其中,每个第一亚波长结构的折射率和每个第二亚波长结构的折射率高于围绕每个第一亚波长结构和每个第二亚波长结构的外围材料的折射率,并且
其中,每个第一亚波长结构的吸收系数和每个第二亚波长结构的吸收系数低于所述外围材料的吸收系数。


3.根据权利要求1所述的光学滤波器,其中,每个第一亚波长结构和每个第二亚波长结构包括电介质材料或半导体材料。


4.根据权利要求1所述的光学滤波器,其中,每个第一亚波长结构和每个第二亚波长结构具有圆柱形状或正多棱柱形状。


5.根据权利要求2所述的光学滤波器,还包括基板,所述基板的折射率低于每个第一亚波长结构的折射率,
其中,所述第一反射器设置在所述基板上。


6.根据权利要求5所述的光学滤波器,还包括第一材料层,所述第一材料层的折射率低于每个第二亚波长结构的折射率,
其中,所述第一材料层包封所述第一反射器。


7.根据权利要求6所述的光学滤波器,还包括第二材料层,所述第二材料层的折射率低于每个第一亚波长结构的折射率,
其中,所述第二材料层设置在所述第一材料层上并且包封所述第二反射器。


8.根据权利要求7所述的光学滤波器,其中,所述第一材料层和所述第二材料层包括相同的材料。


9.根据权利要求1所述的光学滤波器,其中,所述第一规则和所述第二规则相同。


10.根据权利要求1所述的光学滤波器,其中,每个第一亚波长结构和每个第二亚波长结构具有相同的形状。


11.根据权利要求10所述的光学滤波器,其中,所述多个第一亚波长结构和所述多个第二亚波长结构被布置为在所述第一反射器和所述第二反射器分开的方向上面向彼此。


12.根据权利要求1所述的光学滤波器,其中,所述多个第一亚波长结构和所述多个第二亚波长结构分别以正三角形栅格形式二维地布置。


13.根据权利要求1所述的光学滤波器,其中,所述多个第一亚波长结构和所述多个第二亚波长结构分别以方形栅格形式二维地布置。


14.根据权利要求1所述的光学滤波器,其中,所述多个第一亚波长结构和所述多个第二亚波长结构中的一种以正三角形栅格形式二维地布置,并且所述多个第一亚波长结构和所述多个第二亚波长结构中的另一种以方形栅格形式二维地布置...

【专利技术属性】
技术研发人员:白瓒郁赵庆相
申请(专利权)人:三星电子株式会社
类型:发明
国别省市:韩国;KR

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