【技术实现步骤摘要】
一种皮秒激光高功率增透膜
本技术涉及一种皮秒激光高功率增透膜，属于皮秒激光增透膜领域。
技术介绍
皮秒激光是一款脉宽为皮秒的激光器，具有皮秒级超短脉宽、重复频率可调、脉冲能量高等特点，在生物医学、光学参量振荡、生物显微成像等领域有着越来越广泛的应用，逐渐成为现代生物成像和分析系统中日益重要的工具。在光学元件中，由于元件表面的反射作用而使光能损失，为了减少元件表面的反射损失，常在光学元件表面镀层透明介质薄膜，这种薄膜就叫增透膜。现有的增透膜在皮秒激光应用上，多存在易烧膜，不耐用，抗激光损伤阈值低的情况。
技术实现思路
本技术提供一种皮秒激光高功率增透膜，通过对膜料的合理选择及结构的合理设计，使得到的膜层既有良好的光谱性能又有较好的机械稳性能和稳定性。为解决上述技术问题，本技术所采用的技术方案如下：一种皮秒激光高功率增透膜，包括基底层，基底层上交替沉积有Hf层和SiO2层，Hf层和SiO2层的层数相等。上述Hf为铪。申请人经研究发现，薄膜吸收激光能量产生热效应，使自...
【技术保护点】
1.一种皮秒激光高功率增透膜，其特征在于：包括基底层，基底层上交替沉积有Hf层和SiO
【技术特征摘要】
1.一种皮秒激光高功率增透膜，其特征在于：包括基底层，基底层上交替沉积有Hf层和SiO2层，Hf层和SiO2层的层数相等。
2.如权利要求1所述的皮秒激光高功率增透膜，其特征在于：Hf层和SiO2层的层数均为2-5层。
3.如权利要求1或2所述的皮秒激光高功率增透膜，其特征在于：包括基底层，基底层上依次沉积有第一Hf层、第一SiO2层、第二Hf层和第二SiO2层。
4.如权利要求3所述的皮秒激光高功率增透膜，其特征在于：第一Hf层的厚度小于第二Hf层的厚度；第一SiO2层的厚度大于第二SiO2层的厚度。
5.如权利要求4所述的皮秒激光高功率增透膜，其特征在于：第一Hf层的厚度小于第二SiO2层的厚度，第二Hf层的厚度介于第二SiO2层的厚度和第一SiO2层的厚度之间。
6.如权利要求5所述的皮...
【专利技术属性】
技术研发人员：李全民，王泽栋，朱敏，王国力，吴玉堂，
申请(专利权)人：南京波长光电科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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