制作空气脉冲产生元件的方法技术

本发明专利技术提供了一种制作空气脉冲产生元件的方法。所述方法包括提供包括振膜的薄膜层；在薄膜层与第一板体之间形成第一腔室；图案化薄膜层，以形成多个阀膜，其中振膜与阀膜由薄膜层所形成；在薄膜层与第二板体之间形成第二腔室；以及在第一板体与第二板体中形成多个通道。借此，可降低制作复杂度并提升良品率。

Method of making air pulse generator

【技术实现步骤摘要】
制作空气脉冲产生元件的方法
本公开涉及一种制作空气脉冲产生元件的方法，特别是涉及一种具有低制作复杂度与高良品率的制作空气脉冲产生元件的方法。
技术介绍
扬声器驱动器和背机壳是扬声器行业的两大设计挑战。传统扬声器驱动器很难覆盖整个音频频带，例如从20Hz到20KHz，这是因为薄膜位移与1/f2成比例，即D∝F2。另一方面，为了产生高保真度的声音，传统扬声器的背机壳的体积/尺寸需要足够大。为了克服上述设计挑战，申请人在美国申请号16/125,761中提出了一种空气脉冲产生元件和声音产生装置，其使用以脉冲速率产生的多个脉冲产生声音，其中脉冲速率高于最大可听到的频率，并且根据输入音频信号，所述多个脉冲可进行振幅调变。通过利用由周围环境和人耳结构引起的低通效应，可感受到对应于输入音频信号的声音。美国申请号16/125,761中的声音产生装置能够涵盖整个音频频带，并且其外壳体积/尺寸显著地减小。然而，美国申请号16/125,761中的空气脉冲产生元件需要3个不同的膜层来制作其阀膜及振膜，造成制作复杂度高，以致于良品率过低。因此，有必要降低空气产生元件的制作复杂度。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种制作空气脉冲产生元件的方法，以降低制作复杂度并提升良品率。根据一实施例，本专利技术揭露一种制作空气脉冲产生元件的方法。所述方法包括提供包括振膜的薄膜层；在薄膜层与第一板体之间形成第一腔室；图案化薄膜层，以形成多个阀膜，其中振膜与阀膜由薄膜层所形成；在薄膜层与第二板体之间形成第二腔室；以及在第一板体与第二板体中形成多个通道。在本专利技术制作空气脉冲产生元件的方法中，阀膜和振膜是由相同的薄膜层所形成，且致动器形成在薄膜层的同一表面上，因此可降低了制作复杂度，并改善了良品率。附图说明图1示出了根据本专利技术第一实施例的制作空气脉冲产生元件的方法的流程图。图2到图11示例性地示出了根据本专利技术第一实施例的制作空气脉冲产生元件的方法的不同阶段的结构。图12示出了根据本专利技术一些实施例通过使用相同光罩图案化可形变层与底部导电层的结构的示意图。图13示出了根据本专利技术一些实施例的振膜被刻蚀为具有凹槽的结构的示意图。图14示出了根据本专利技术第一实施例的空气脉冲产生元件的俯视示意图。图15示出沿着图14的剖线A-A’与剖线B-B’的剖视示意图图16示出了根据本专利技术第二实施例的空气脉冲产生元件的俯视示意图。图17示出沿着图16的剖线C-C’的剖视示意图。图18到图19示出了根据本专利技术第二实施例制作空气脉冲产生元件的方法示意图。图20到图21示出了根据本专利技术第二实施例的一变型实施例的制作空气脉冲产生元件的方法示意图。图22到图24示出了根据本专利技术第三实施例的制作空气脉冲产生元件的方法示意图。图25到图28示出了根据本专利技术第四实施例的制作空气脉冲产生元件的方法示意图。图29示出了根据本专利技术第一实施例的空气脉冲产生元件的俯视示意图。图30示出了沿着图29的剖线D-D’和剖线E-E’的剖视示意图。图31示出了根据本专利技术第四实施例的一变型实施例的空气脉冲产生元件的剖视示意图。图32示出了根据本专利技术第四实施例的另一变型实施例的空气脉冲产生元件的剖视示意图。图33示出了根据本专利技术第四实施例的又一变型实施例的空气脉冲产生元件的俯视示意图。图34示出了根据本专利技术第四实施例的再一变型实施例的空气脉冲产生元件的俯视示意图。图35示出了根据本专利技术第五实施例的声音产生装置的示意图。附图标记：100、400、600A、600B、600C、650、660空气脉冲产生元件102、402A、402B、502、602薄膜层102m、402m、502m、602m振膜102v阀膜104、204、304、404基板104a、104c保护层104b支撑基板106致动器106a振膜致动器106b阀膜致动器108、408、608底部导电层108a、408a、608a第一电极10A、10B结构110、410、610可形变层110a可形变区块112、116、636绝缘层112a、102p、402p、502p、636a、20p开口114、414、614顶部导电层114a、414a、614a第二电极114b、608b、614b导线116a绝缘区块118第一腔室120保护区块124第二腔室126、128通道129、432、434、632、634接合垫102a、102b、204a、204b、304a、304b表面122、206、218、220、222、320、322凹槽208、308突起块20A、20B、20C第一板体210对准标记212、214、312、314刻蚀停止层216光阻图案224、424、524第一接合剂30第二板体324第二接合剂402h、602h、20h通孔410a十字区块410b直条区块430弹性层524a接合区块524b密封区块602c连接区块638连通柱638a互连线638b导电球700声音产生装置S102、S104、S106、S108、S110、S112步骤具体实施方式为使本领域技术人员能更进一步了解本专利技术，以下特列举本专利技术的优选实施例，并配合附图详细说明本专利技术的构成内容及所欲达成的功效。须注意的是，附图均为简化的示意图，因此，仅显示与本专利技术有关的元件与组合关系，以对本专利技术的基本架构或实施方法提供更清楚的描述，而实际的元件与布局可能更为复杂。另外，为了方便说明，本专利技术的各附图中所示的元件并非以实际实施的数目、形状、尺寸做等比例绘制，其详细的比例可依照设计的需求进行调整。图1示出了根据本专利技术第一实施例的制作空气脉冲产生元件的方法的流程图，图2到图11示例性地示出了根据本专利技术第一实施例的制作空气脉冲产生元件的方法的不同阶段的结构。如图1所示，制作空气脉冲产生元件的方法包括以下步骤S102、S104、S106、S108、S110、S112，并且结合图2到图11详细描述于下文中。如图1和图2所示，在步骤S102中，提供薄膜层102。具体来说，首先提供基板104，并且薄膜层102可以是基板104的一部分。在本实施例中，薄膜层102可包括至少一个振膜102m，即薄膜层102的至少一部分可以作为振膜102m，且通过振膜102m的振荡，振膜102m可用于产生空气脉冲。在一实施例中，除了薄膜层102之外，基板104还可以包括依序堆迭的保护层104a、支撑基板104b、另一保护层104c和薄膜层102。保护层104a本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，包括：/n提供一薄膜层，其中所述薄膜层包括一振膜；/n在所述薄膜层上形成多个致动器；/n在所述薄膜层与一第一板体之间形成一第一腔室；/n图案化所述薄膜层，以形成多个阀膜，其中所述振膜与所述多个阀膜由所述薄膜层所形成；/n在所述薄膜层与一第二板体之间形成一第二腔室；以及/n在所述第一板体与所述第二板体之间形成多个通道。/n

【技术特征摘要】
20180819 US 62/719,694;20180903 US 62/726,319;20181.一种制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，包括：
提供一薄膜层，其中所述薄膜层包括一振膜；
在所述薄膜层上形成多个致动器；
在所述薄膜层与一第一板体之间形成一第一腔室；
图案化所述薄膜层，以形成多个阀膜，其中所述振膜与所述多个阀膜由所述薄膜层所形成；
在所述薄膜层与一第二板体之间形成一第二腔室；以及
在所述第一板体与所述第二板体之间形成多个通道。


2.如权利要求1所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，形成所述多个致动器包括形成多个第一电极、形成多个可形变区块以及形成多个第二电极，且所述可形变区块通过图案化同一可形变层所形成。


3.如权利要求2所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，所述可形变层是通过压电力、静电力、电磁力或电热力产生形变。


4.如权利要求2所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，所述可形变区块将所述多个第一电极与所述多个第二电极电隔离。


5.如权利要求1所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，形成所述多个致动器包括在所述振膜上形成一振膜致动器，以及在所述多个阀膜上形成多个阀膜致动器。


6.如权利要求1所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，
形成所述第一腔室包括通过一第一接合剂将所述第一板体与所述薄膜层的一第一表面接合；以及
形成所述第二腔室包括通过一第二接合剂将所述第二板体与所述薄膜层相对于所述第一表面的一第二表面接合。


7.如权利要求6所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，所述第一接合剂是在将所述第一板体与所述第一表面接合之前形成在所述第一板体上。


8.如权利要求6所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，所述第一接合剂是在将所述第一板体与所述第一表面接合之前形成在所述薄膜层上。


9.如权利要求8所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，图案化所述薄膜层包括在所述振膜中形成至少一个开口，且所述第一接合剂覆盖所述至少一个开口。


10.如权利要求1所述的制作空气脉冲产生元件的方法，其特征在于，提供所述薄膜层还包括提...

【专利技术属性】
技术研发人员：洪盟焜，罗炯成，张俊羿，
申请(专利权)人：知微电子有限公司，
类型：发明
国别省市：美国;US