【技术实现步骤摘要】
一种基于机器学习的离子束刻蚀速率优化匹配方法
本专利技术涉及离子束刻蚀加工
，特别是涉及一种基于机器学习的离子束刻蚀速率优化匹配方法。
技术介绍
离子束刻蚀加工技术作为一种新型的物理刻蚀技术，具有刻蚀速率可控性好、刻蚀材料广泛、方向性好以及图形分辨率高等优点，已经广泛应用于现代微电子器件的加工制造和研究中。在离子束刻蚀加工中，加工设备可以通过高能量的离子轰击工件上的待刻蚀区域，工件上待刻蚀区域的原子被轰击后，可以获得动能逸出，从而达到刻蚀目的。其中，加工设备在单位时间内去除材料的厚度即为离子束刻蚀速率。在目前的离子束刻蚀加工过程中，为了保证离子束刻蚀加工质量，离子束刻蚀速率一般较低，这会降低离子束刻蚀加工效率。离子束刻蚀加工的工艺参数可以影响离子束刻蚀速率，为了在保证离子束刻蚀加工质量的前提下确定最大的离子束刻蚀速率对应的最佳的工艺参数，提高离子束刻蚀设备的加工效率，工作人员可以人工调整离子束刻蚀加工的工艺参数，然后判断调整工艺参数后的离子束刻蚀速率是否提高。由于影响离子束刻蚀速率的工艺参数存在...
【技术保护点】
1.一种离子束刻蚀加工的工艺参数确定方法，其特征在于，所述方法包括：/n从预先设置的工艺参数数据集中获取工艺参数组；/n将每个所述工艺参数组输入离子束刻蚀速率预测模型，根据所述工艺参数组包括的工艺参数，确定每个所述工艺参数组对应的离子束刻蚀速率，其中，所述刻蚀速率预测模型包括工艺参数与离子束刻蚀速率之间的对应关系；/n将所述离子束刻蚀速率中大于所述预设离子束刻蚀速率的离子束刻蚀速率去除；/n确定所述离子束刻蚀速率中最大的离子束刻蚀速率对应的工艺参数组包括的工艺参数，作为目标工艺参数。/n
【技术特征摘要】
1.一种离子束刻蚀加工的工艺参数确定方法，其特征在于，所述方法包括：
从预先设置的工艺参数数据集中获取工艺参数组；
将每个所述工艺参数组输入离子束刻蚀速率预测模型，根据所述工艺参数组包括的工艺参数，确定每个所述工艺参数组对应的离子束刻蚀速率，其中，所述刻蚀速率预测模型包括工艺参数与离子束刻蚀速率之间的对应关系；
将所述离子束刻蚀速率中大于所述预设离子束刻蚀速率的离子束刻蚀速率去除；
确定所述离子束刻蚀速率中最大的离子束刻蚀速率对应的工艺参数组包括的工艺参数，作为目标工艺参数。
2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述工艺参数数据集包括多种工艺参数的参数集合，所述工艺参数组包括多种工艺参数；
所述从预先设置的工艺参数数据集中获取工艺参数组的步骤，包括：
基于预设采样间隔，对每种所述工艺参数的参数集合进行采样，得到每种所述工艺参数的抽样工艺参数；
对所述抽样工艺参数进行组合，得到所述工艺参数组。
3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述离子束刻蚀速率预测模型的训练方式，包括：
获取初始离子束刻蚀速率预测模型和多个工艺参数组样本；
确定每个所述工艺参数组样本对应的离子束刻蚀速率，作为每个所述工艺参数组样本的标定标签；
将所述工艺参数组样本输入所述初始离子束刻蚀速率预测模型，得到预测标签；
基于所述预测标签及对应的工艺参数组样本的标定标签，调整所述初始离子束刻蚀速率预测模型的参数，直到所述初始离子束刻蚀速率预测模型的迭代次数达到预设次数，或，所述初始离子束刻蚀速率预测模型输出的预测标签的准确度达到预设值，停止训练，得到所述离子束刻蚀速率预测模型。
4.根据权利要求1-3任一项所述的方法，其特征在于，所述工艺参数至少包括离子束入射能量、离子束流密度、射频功率、工作气体流量。
5.一种离子束刻蚀加工的工艺参数确定装置，其特征在于，所述装置包括：
工艺参数组获取模块，用于从预先设置的工艺参数数据集中获取工艺参数组；
刻蚀速率确定模块，用于将每个所述工艺参数组输入离子束刻蚀速率预测模型，根据所述工艺参数组包括的工艺参数，确定每个所述工艺参数组对应的离...
【专利技术属性】
技术研发人员：景晓军，黄海，杨威，刁克明，吴胜，任国庆，
申请(专利权)人：北京邮电大学，
类型：发明
国别省市：北京;11
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