【技术实现步骤摘要】
键合刷安装设备
本技术涉及晶圆生产制造加工设备领域，具体涉及一种键合刷安装设备。
技术介绍
在半导体晶圆的生产过程中，需要使用键合刷对晶圆进行清洗。由于键合刷直接与待清洗的晶圆直接接触，因此经常需要更换键合刷。在现有技术中，更换键合刷时，需要将键合刷的轴承上套设的软体刷部进行更换。在更换所述软体刷部时，首先需要将设置在机床上的键合刷的轴承拆下，然后用手将新替换的软体刷部套设到所述轴承上。然而，由于软体刷部在自然状态下的轴承放置孔较小，因此无法直接将软体刷部套设到所述轴承上，而是需要用手撑开所述软体刷部的轴承放置孔，再将撑开的软体刷部套设到所述轴承上，比较费时费力。且由于在安装过程中直接用手接触软体刷部，也会污染所述软体刷部表面，使得键合刷在投入使用之前还需要进行洗刷、清洗。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种键合刷安装设备，能够降低软键合刷的安装难度，提高软键合刷安装的成功率，减少安装时间。为解决上述技术问题，以下提供了一种键合刷安装设备，包括支撑单元，用于放置到键合刷的软体刷部的...
【技术保护点】
1.一种键合刷安装设备，其特征在于，包括支撑单元，用于放置到键合刷的软体刷部的轴承放置孔中，以撑开所述软体刷部的轴承放置孔，使所述软体刷部的轴承放置孔的孔径大于所述键合刷的轴承的直径。/n
【技术特征摘要】
1.一种键合刷安装设备，其特征在于，包括支撑单元，用于放置到键合刷的软体刷部的轴承放置孔中，以撑开所述软体刷部的轴承放置孔，使所述软体刷部的轴承放置孔的孔径大于所述键合刷的轴承的直径。
2.根据权利要求1所述的键合刷安装设备，其特征在于，所述支撑单元包括至少三根抽条，均用于放置到所述软体刷部的轴承放置孔中，以撑开所述键合刷的软体刷部的轴承放置孔，使所述轴承放置孔的孔径大于所述轴承的直径。
3.根据权利要求2所述的键合刷安装设备，其特征在于，还包括底座，所述支撑单元安装至所述底座。
4.根据权利要求3所述的键合刷安装设备，其特征在于，所述底座包括第一侧壁，所述抽条的第一端可拆卸地安装到所述第一侧壁。
5.根据权利要求4所述的键合刷安装设备，其特征在于，所...
【专利技术属性】
技术研发人员：沈明，徐瑶，
申请(专利权)人：上海新傲科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31
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